Handbook of Micro and Nano Tribology P16

Chia sẻ: Hung Nhat | Ngày: | Loại File: PDF | Số trang:36

0
54
lượt xem
13
download

Handbook of Micro and Nano Tribology P16

Mô tả tài liệu
  Download Vui lòng tải xuống để xem tài liệu đầy đủ

The advances in silicon photolithographic process technology since 1960s have led to the development of microcomponents or microdevices, known as microelectromechanical systems

Chủ đề:
Lưu

Nội dung Text: Handbook of Micro and Nano Tribology P16

Đồng bộ tài khoản