Non-Destructive Resonant Frequency Measurement on MEMS Actuators

Chia sẻ: Nhan Nguyen | Ngày: | Loại File: PDF | Số trang:7

0
50
lượt xem
11
download

Non-Destructive Resonant Frequency Measurement on MEMS Actuators

Mô tả tài liệu
  Download Vui lòng tải xuống để xem tài liệu đầy đủ

Resonant frequency measurements provide useful insight into the repeatability of MicroElectroMechanical Systems (MEMS) manufacturing processes. Several techniques are available for making this measurement.

Chủ đề:
Lưu

Nội dung Text: Non-Destructive Resonant Frequency Measurement on MEMS Actuators

Đồng bộ tài khoản