Xem 1-11 trên 11 kết quả Beam lithography
  • Tuyển tập báo cáo các nghiên cứu khoa học quốc tế ngành hóa học dành cho các bạn yêu hóa học tham khảo đề tài: Polystyrene negative resist for high-resolution electron beam lithography

    pdf6p dauphong12 08-02-2012 25 5   Download

  • Today, an individual would be hard-pressed to find any science field that does not employ methods and instruments based on the use of fine focused electron and ion beams. Well instrumented and supplemented with advanced methods and techniques, SEMs provide possibilities not only of surface imaging but quantitative measurement of object topologies, local electrophysical characteristics of semiconductor structures and performing elemental analysis.

    pdf198p cucdai_1 22-10-2012 39 12   Download

  • Hiện nay mật độ bóng bán dẫn trên một chíp ngày một tăng nên ngoài kỹ thuật quang khắc còn nhiều kỹ thuật khác cho phép khắc lên trên lớp cảm quang những chi tiết với độ phân giải và mức độ tinh vi tốt hơn rất nhiều như kỹ thuật e-beam lithography (kỹ thuật khắc dùng chùm điện tử), hoặc tia X.

    pdf7p cinny05 28-01-2011 98 27   Download

  • Electron beam lithography (EBL) là thuật ngữ chỉ công nghệ tạo các chi tiết trên bề mặt (các phiến Si...) có kích thước và hình dạng giống như thiết kế bằng cách sử dụng chùm điện tử có năng lượng cao làm biến đổi các chất cản quang phủ trên bề mặt phiến. EBL là một công cụ phổ biến trong công nghệ nanô để tạo ra các chi tiết, các linh kiện có kích thước nhỏ với độ chính xác cực cao....

    ppt15p khunglongi 03-10-2012 58 21   Download

  • Tham khảo sách 'recent advances in nanofabrication techniques and applications', kỹ thuật - công nghệ, hoá học - dầu khí phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả

    pdf362p cucdai_1 14-10-2012 41 12   Download

  • Tham khảo sách 'scanning electron microscopy_3', khoa học tự nhiên, vật lý phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả

    pdf206p cucdai_1 22-10-2012 58 10   Download

  • Tham khảo sách 'scanning electron microscopy_1', khoa học tự nhiên, vật lý phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả

    pdf224p cucdai_1 22-10-2012 47 10   Download

  • Tham khảo sách 'scanning electron microscopy_4', khoa học tự nhiên, vật lý phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả

    pdf214p cucdai_1 22-10-2012 46 8   Download

  • Metal nanoparticles are certain to be the building blocks of the next generation of electronic, optoelectronic and chemical sensing devices. The physical limits imposed by top-down methods such as photo- and electron- beam lithography dictate that the synthesis and assembly of functional nanoscale materials will become the province of chemists.

    pdf348p xrzc1-1 18-09-2013 50 7   Download

  • Wang et al. Nanoscale Research Letters 2011, 6:367 http://www.nanoscalereslett.com/content/6/1/367 NANO EXPRESS Open Access Freestanding HfO2 grating fabricated by fast atom beam etching Yongjin Wang1,2*, Tong Wu2, Yoshiaki Kanamori2 and Kazuhiro Hane2 Abstract We report here the fabrication of freestanding HfO2 grating by combining fast atom beam etching (FAB) of HfO2 film with dry etching of silicon substrate. HfO2 film is deposited onto silicon substrate by electron beam evaporator.

    pdf5p dauphong13 09-02-2012 15 3   Download

  • To maximize the extent of the photonic bandgap in a finite-height photonic-crystal (PhC) slab one can increase the fill-factor in the PhC lattice. Among the realistic choices of possible 2D lattices, high fill- factor triangular lattices of cylindrical holes in a high index dielectric, namely silicon, are by far the most commonly used. In this paper, we present a method for fabrication of very high fill-factor PhC devices in silicon-on-insulator (SOI) substrates using electron-beam lithography and high-aspect-ratio reactive-ion etching (RIE).

    pdf12p quynho77 13-11-2012 18 0   Download

Đồng bộ tài khoản