Phản ứng magnetron dc

Màng Titanium nitride (TiN) được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC trên đế thủy tinh. Trong công trình này, chúng tôi nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đế, thế phún xạ ngưỡng theo tỉ lệ khí N 2 Ar , áp suất phún xạ và khỏang cách bia - đế lên tính chất cấu trúc, điện và quang của màng. Các tính chất của màng được nghiên cứu bằng cách sử dụng phương pháp đo nhiễu xạ tia X, phương pháp bốn mũi dò,...

10p can_loc 22-07-2012 72 22   Download

Màng Titanium nitride (TiN) được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC trên đế thủy tinh. Trong công trình này, chúng tôi nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đế, thế phún xạ ngưỡng theo tỉ lệ khí N 2 Ar , áp suất phún xạ và khỏang cách bia - đế lên tính chất cấu trúc, điện và quang của màng.

10p phalinh19 22-08-2011 48 11   Download

Những kết quả nghiên cứu về màng TiO2-xNx được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC không cân bằng cho thấy có khả năng quang xúc tác dưới ánh sáng khả kiến. Đặc trưng của màng được cho bởi phổ X-ray, phổ UV-vis. Nồng độ nitơ trong màng được xác định bằng phương pháp EDX.

6p phalinh19 22-08-2011 43 9   Download

Màng điện cực trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC phản ứng trên đế thủy tinh. Vật liệu bia là hợp kim Sn (tinh khiết 99,5%) pha Sb (5% khối lượng Sb). Quá trình tạo màng được thực hiện trong hỗn hợp khí Ar (tinh khiết 99,99%) và O2 (tinh khiết 99,999%). Hệ chân không tạo màng có thể đạt đến áp suất ban đầu khoảng 10-5torr. Nhiệt độ đế trong quá trình tạo màng được giữ ở các giá...

6p can_loc 22-07-2012 69 12   Download

Màng quang xúc tác TiO2 được nghiên cứu và chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC không cân bằng trên đế kính ảnh có cấu trúc tinh thể anatase sớm ở 1850C. Những đặc trưng về cấu trúc, hình thái bề mặt, tính chất quang của màng được khảo sát qua phổ XRD, kết quả AFM và phổ UV –VIS.

8p phalinh19 22-08-2011 40 11   Download

Al2O3 được ứng dụng rộng rãi làm chất gây xúc tác dưới dạng gốm xốp hoặc dạng màng mỏng. Nó có thể được tạo ra bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng từ bia kim loại hoặc trực tiếp từ bia oxide. Mục tiêu của bài viết này là mô phỏng để xác định các điều kiện thích hợp nhằm phún xạ màng Al2O3 từ vật liệu Al kim loại bằng hệ phún xạ mangetron RF và DC.

7p phalinh19 20-08-2011 41 10   Download