intTypePromotion=1

Kết quả bước đầu nghiên cứu công nghệ chế tạo cửa sổ kim cương trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng

Chia sẻ: Lê Thị Na | Ngày: | Loại File: PDF | Số trang:3

0
81
lượt xem
3
download

Kết quả bước đầu nghiên cứu công nghệ chế tạo cửa sổ kim cương trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng

Mô tả tài liệu
  Download Vui lòng tải xuống để xem tài liệu đầy đủ

Màng kim cương được nuôi trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng công suất 1,3KV. Nhiệt độ của đế là 700 độ C áp suất buồng phản ứng là 50 Torr, thời gian nuôi kéo dài 5g. Mâm tạo màng kim cương là bột kim cương được lắng đọng trên đế Si bằng phương pháp rung siêu âm. Kết quả cho thấy vai trò quan trọng của quá trình tạo màng kim cương rất quan trọng. Ảnh đo SEM chỉ ra rằng màng kim cương mọc trên đế Si được rửa sạch sau khi rung siêu âm với bột kim cương có độ đồng đều về các hạt tốt hơn. Cửa sổ kim cương đã được chế tạo bằng cách ăn mòn ướt để Si có diện tích cỡ 1cm với chiều dày khoảng 15Mm. Các phép đo về cấu trúc và tính chất quang của cửa sổ kim cương sẽ được trình bày trong bài viết này.

Chủ đề:
Lưu

Nội dung Text: Kết quả bước đầu nghiên cứu công nghệ chế tạo cửa sổ kim cương trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng

ADSENSE
ADSENSE

CÓ THỂ BẠN MUỐN DOWNLOAD

 

Đồng bộ tài khoản
2=>2