Upload
Nâng cấp VIP
Trang chủ »Kỹ Thuật - Công Nghệ »
Điện - Điện tử
9 trang
136 lượt xem
9
0

Hệ thống vi cơ điện tử MEMS và ứng dụng

Bài viết này trình bày tổng quan về vi cơ điện tử MEMS, một lĩnh vực khoa học liên ngành dựa trên nền tảng của ngành vi điện tử và vi chế tạo. Các linh kiện MEMS hiện nay được sử dụng rộng rãi trong xã hội như cảm biến gia tốc, cảm biến góc, cảm biến áp suất, cảm biến sinh học,...

viv2711
27/10/2020

Vi cơ điện tử

Vi chế tạo

Linh kiện MEMS

Cảm biến gia tốc

Cảm biến góc

Cảm biến áp suất

Share
/
9
Có thể bạn quan tâm
Thiết kế, chế tạo thiết bị đo dao động kết cấu công trình sử dụng cảm biến gia tốc MEMS
Thiết kế, chế tạo thiết bị đo dao động kết cấu công trình sử dụng cảm biến gia tốc MEMS
10 trang
Cơ cấu vi tay gắp khuếch đại chuyển vị kiểu tự khóa dẫn động bằng các vi chấp hành tĩnh điện răng lược
Cơ cấu vi tay gắp khuếch đại chuyển vị kiểu tự khóa dẫn động bằng các vi chấp hành tĩnh điện răng lược
9 trang
Khôi phục dữ liệu cho hệ thống giám sát sức khỏe công trình cầu sử dụng mô hình mạng tích chập đồ thị và mạng bộ nhớ ngắn dài hạn
Khôi phục dữ liệu cho hệ thống giám sát sức khỏe công trình cầu sử dụng mô hình mạng tích chập đồ thị và mạng bộ nhớ ngắn dài hạn
15 trang
Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật điều khiển và tự động hóa: Nghiên cứu cải thiện độ nhạy của cảm biến từ trường dựa trên nguyên lý sóng âm bề mặt có kết hợp với vật liệu từ
Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật điều khiển và tự động hóa: Nghiên cứu cải thiện độ nhạy của cảm biến từ trường dựa trên nguyên lý sóng âm bề mặt có kết hợp với vật liệu từ
185 trang
Phát triển vi chấp hành điện nhiệt kiểu dầm chữ V để dẫn động vi động cơ quay một chiều
Phát triển vi chấp hành điện nhiệt kiểu dầm chữ V để dẫn động vi động cơ quay một chiều
8 trang
Luận văn Thạc sĩ Kỹ thuật điện tử: Thiết kế và thi công vòng đeo tay đếm buớc chân dựa trên thuật toán decsion tree
Luận văn Thạc sĩ Kỹ thuật điện tử: Thiết kế và thi công vòng đeo tay đếm buớc chân dựa trên thuật toán decsion tree
148 trang
Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu: Nghiên cứu thiết kế, mô phỏng và khảo sát hoạt động của một số kênh dẫn sóng plasmonic dạng nêm
Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu: Nghiên cứu thiết kế, mô phỏng và khảo sát hoạt động của một số kênh dẫn sóng plasmonic dạng nêm
132 trang
Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật viễn thông: Nghiên cứu phát triển bộ lọc hốc cộng hưởng đồng trục siêu cao tần
Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật viễn thông: Nghiên cứu phát triển bộ lọc hốc cộng hưởng đồng trục siêu cao tần
145 trang
Đề tài: Hệ thống esp trên xe Mercedes benz
Đề tài: Hệ thống esp trên xe Mercedes benz
71 trang
Luận văn Thạc sĩ Kinh tế: Giải pháp hoàn thiện quản trị nguồn nhân lực tại Công ty Cổ phần Vi Cơ Điện Tử
Luận văn Thạc sĩ Kinh tế: Giải pháp hoàn thiện quản trị nguồn nhân lực tại Công ty Cổ phần Vi Cơ Điện Tử
109 trang
Tóm tắt luận án Tiến sĩ: Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
Tóm tắt luận án Tiến sĩ: Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
24 trang
Luận văn Thạc sĩ Công nghệ kỹ thuật Điện tử, truyền thông: Nghiên cứu thiết kế, mô phỏng và thử nghiệm cảm biến góc nghiêng hai chiều cấu trúc hai pha lỏng – khí
Luận văn Thạc sĩ Công nghệ kỹ thuật Điện tử, truyền thông: Nghiên cứu thiết kế, mô phỏng và thử nghiệm cảm biến góc nghiêng hai chiều cấu trúc hai pha lỏng – khí
56 trang
Luận văn Thạc sĩ Công nghệ kỹ thuật Điện tử, Truyền thông: Nghiên cứu thuật toán cây quyết định sử dụng phân tích ngưỡng kép cho ứng dụng phân loại hành vi của bò
Luận văn Thạc sĩ Công nghệ kỹ thuật Điện tử, Truyền thông: Nghiên cứu thuật toán cây quyết định sử dụng phân tích ngưỡng kép cho ứng dụng phân loại hành vi của bò
47 trang
Luận văn Thạc sĩ Công nghệ kỹ thuật Điện tử, Truyền thông: Thực thi hệ thống IPS trên điện thoại thông minh
Luận văn Thạc sĩ Công nghệ kỹ thuật Điện tử, Truyền thông: Thực thi hệ thống IPS trên điện thoại thông minh
65 trang
Luận văn Thạc sĩ Công nghệ kỹ thuật Điện tử, Truyền thông: Nghiên cứu thuật toán học máy áp dụng cho hệ thống giám sát và nhận dạng hành vi trên bò
Luận văn Thạc sĩ Công nghệ kỹ thuật Điện tử, Truyền thông: Nghiên cứu thuật toán học máy áp dụng cho hệ thống giám sát và nhận dạng hành vi trên bò
58 trang
Đồ án tốt nghiệp Kỹ thuật điện tử truyền thông: Thiết kế và thi công thiết bị nhận dạng chuyển động của đầu tích hợp cảm biến gia tốc cho việc điều khiển xe lăn
Đồ án tốt nghiệp Kỹ thuật điện tử truyền thông: Thiết kế và thi công thiết bị nhận dạng chuyển động của đầu tích hợp cảm biến gia tốc cho việc điều khiển xe lăn
103 trang
Tóm tắt Luận án tiến sĩ Vật lý: Nghiên cứu xây dựng hệ cảm biến góc nghiêng dựa trên cấu trúc kiểu tụ điện
Tóm tắt Luận án tiến sĩ Vật lý: Nghiên cứu xây dựng hệ cảm biến góc nghiêng dựa trên cấu trúc kiểu tụ điện
27 trang
Đề cương môn học Vi điều khiển (Micro¬controller)
Đề cương môn học Vi điều khiển (Micro¬controller)
11 trang
Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự do
Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự do
153 trang
Tóm tắt Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự do
Tóm tắt Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự do
27 trang

Giới thiệu

Về chúng tôi

Việc làm

Quảng cáo

Liên hệ

Chính sách

Thoả thuận sử dụng

Chính sách bảo mật

Chính sách hoàn tiền

DMCA

Hỗ trợ

Hướng dẫn sử dụng

Đăng ký tài khoản VIP

Zalo/Tel:

093 303 0098

Email:

support@tailieu.vn

Phương thức thanh toán

Layer 1

Theo dõi chúng tôi

Facebook

Youtube

TikTok

Chịu trách nhiệm nội dung: Nguyễn Công Hà. ©2025 Công ty TNHH Tài Liệu trực tuyến Vi Na.
Địa chỉ: 54A Nơ Trang Long, P. Bình Thạnh, TP.HCM - Điện thoại: 0283 5102 888 - Email: info@tailieu.vn
Giấy phép Mạng Xã Hội số: 670/GP-BTTTT cấp ngày 30/11/2015