intTypePromotion=3
Array
(
    [0] => Array
        (
            [banner_id] => 140
            [banner_name] => KM1 - nhân đôi thời gian
            [banner_picture] => 964_1568020473.jpg
            [banner_picture2] => 839_1568020473.jpg
            [banner_picture3] => 620_1568020473.jpg
            [banner_picture4] => 994_1568779877.jpg
            [banner_picture5] => 
            [banner_type] => 8
            [banner_link] => https://tailieu.vn/nang-cap-tai-khoan-vip.html
            [banner_status] => 1
            [banner_priority] => 0
            [banner_lastmodify] => 2019-09-18 11:11:47
            [banner_startdate] => 2019-09-11 00:00:00
            [banner_enddate] => 2019-09-11 23:59:59
            [banner_isauto_active] => 0
            [banner_timeautoactive] => 
            [user_username] => sonpham
        )

)

Bài thuyết trình Các phương pháp thực nghiệm: Phương pháp bốc bay

Chia sẻ: Lavie Lavie | Ngày: | Loại File: PDF | Số trang:75

0
55
lượt xem
5
download

Bài thuyết trình Các phương pháp thực nghiệm: Phương pháp bốc bay

Mô tả tài liệu
  Download Vui lòng tải xuống để xem tài liệu đầy đủ

Bài thuyết trình Các phương pháp thực nghiệm: Phương pháp bốc bay giới thiệu về phương pháp PVD, bốc bay nhiệt điện trở, yêu cầu của hệ bốc bay, nguồn vật liệu làm nguồn nhiệt bốc bay, nguồn bốc bay nhiệt chùm điện tử và một số nội dung khác.

Chủ đề:
Lưu

Nội dung Text: Bài thuyết trình Các phương pháp thực nghiệm: Phương pháp bốc bay

  1. CÁC PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY NGƯỜI TRÌNH BÀY: Lê Trấn
  2. Phương pháp PVD  Lắng động hơi vật lý (PVD) là quá trình màng mỏng vật liệu hình thành trên đế theo những bước sau: 1. Vật liệu cần lắng đọng, được chuyển thành hơi bởi phương tiện vật lý 2. Hơi được chuyển ngang qua vùng áp suất thấp từ nguồn đến đế 3. Hơi ngưng tụ trên đế và hình thành nên màng.
  3. Lắng đọng hơi vật lý (PVD) Chuyển Pha khí Pha khí Ngưng tụ Bốc bay Pha ngöng tuï Pha ngöng tuï (loûng vaø raén) (raén)
  4. PVD  PVD types are:  Bốc bay  Nhiệt bốc bay  Bốc bay chùm điện tử  Phún xạ  Phún xạ DC  Phún xạ RF  Phún xạ phản ứng  Phún xạ magnetron  MBE (bay hơi chùm phân tử)
  5. Bốc bay nhiệt điện trở
  6. Bốc bay nhiệt điện trở Vật liệu được đốt nóng để duy trì trạng thái hơi. Thực hiện dưới chân không cao (10-7torr) Ưu điểm  Màng có thể lắng đọng ở tốc độ cao 0.1  2 nm/s  Nguyên tử bay bơi năng lượng thấp (0.1 eV)  Tạp bẩn và khí dư thấp  Không gây nhiệt cho đế  Đơn giản, không đắt  Nhiều vật liệu khác nhau (Au, Ag, Al, Sn, Cr, Ti, Cu…)  Có thể đạt nhiệt độ 1800oC  Dòng đốt đặc trưng 200  300 A  Sử dụng W, Ta hay Mo làm nguồn nhiệt
  7. Bốc bay nhiệt điện trở Giới hạn  Khoù kieåm soaùt hôïp chaát  Beà daøy maøng khoâng ñoàng ñeàu  Khoù laéng ñoïng nhöõng hoác saâu  Söï hình thaønh hôïp kim vôùi nguoàn vaät lieäu  Taïp do khí nhaõ töø daây nhieät ñieän trôû  Khoâng thích hôïp cho boác bay phaûn öùng
  8. Yêu cầu của hệ bốc bay Chân không  10-6 torr Nước giải nhiệt Nguồn đốt Buồng chân không Lá chắn kiểm soát thời gian bắt đầu và kết thúc Tốc độ bốc bay được đặt trước bởi nhiệt độ của nguồn Nguồn điện Hoặc dòng cao hoặc thế cao 1  10 KW
  9. Nguồn vật liệu làm nguồn nhiệt bốc bay Nguoàn nhieät Nhieät ñoä noùng chaûy(oC) W 3380 Ta 3000 Mo 2620 Graphit C 3700 BN 2500 Al2O3 2030
  10. Các dạng nguồn nhiệt A E B F G C H D
  11. Các dạng nguồn nhiệt
  12. Bốc bay nhiệt điện trở Nó liên quan đến ngưng tụ hơi (e.g. Au or Al ) trên một cái đế làm nguội Quá trình lắng đọng màng. 1. Sự chuyển vật liệu bốc bay từ pha rắn sang lỏng rồi thành hơi do nhiệt điện trở 2. Sự di chuyển của nguyên tử từ nguồn đến đế. 3. Nguyên tử hấp phụ và định vị trên đế – kết tụ 4. Tinh thể hóa màng bằng các thông số quá trình. 5. Phát triển thành màng liên tục Sự ảnh hưởng của chân không trong quá trình tạo màng 1. Quảng đường tự do trung bình của nguyên tử hơi tăng khi chân không tăng 2. Tạp của màng hay mức độ tạp giảm với chân không cao
  13. Nguồn bốc bay nhiệt chùm điện tử
  14. Nguồn bốc bay nhiệt chùm điện tử
  15. Tính chaát cuûa boác bay chuøm ñieän töû Phức tạp hơn bốc bay nhiệt nhưng đa năng Có thể đạt nhiệt độ trên 3000oC Sử dụng nồi bốc bay với đáy bằng Cu Tốc độ lắng động 1  10 nm/s Vật liệu bốc bay - Mọi thứ mà nhiệt điện trở sử dụng - Cộng với các kim loại sau: - Ni, Pt, Ir, Rh, Ti, V, Zr, W, Ta, Mo - Al2O3, SiO, SiO2, SnO2, TiO2, ZrO2
  16. Ưu điểm cuûa boác bay chuøm ñieän töû Có thể làm nóng chảy vật liệu mà không gây tạp bẩn Hợp kim có thể lắng đọng mà không gây phân ly Thích hợp cho bốc bay phản ứng
  17. Nguồn bốc bay nhiệt chùm điện tử
  18. Nguồn bốc bay nhiệt chùm điện tử

CÓ THỂ BẠN MUỐN DOWNLOAD

AMBIENT
Đồng bộ tài khoản