Luận án Tiến sĩ Khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng nền CuO và ZnO định hướng ứng dụng trong linh kiện điện tử
Đề tài đã nghiên cứu các công nghệ chế tạo các lớp màng mỏng ô-xít bán dẫn nền ZnO và CuO; sử dụng hoàn toàn công nghệ sol-gel kết hợp quay phủ để chế tạo các màng mỏng bán dẫn loại n, bán dẫn loại p và các linh kiện điện tử thử nghiệm; nghiên cứu và tối ưu hóa quy trình chế tạo các màng mỏng bán dẫn loại n, màng mỏng bán dẫn loại p và màng mỏng làm điện cực,... Mời các bạn cùng tham khảo.