iv
2.2.4 Bốc bay nhiệt sử dụng bột kim loại In với hệ chân không 8.10-3 torr ..... 39
2.3. Chế tạo cảm biến tự đốt nóng trên cơ sở mạng dây nano In2O3 và mạng dây
nano In-SnOx ....................................................................................................40
2.4. Nghiên cứu hình thái vật liệu ......................................................................40
2.5. Hệ đo và phương pháp đo tính chất nhạy khí của cảm biến .........................41
2.5.1. Hệ đo tính chất nhạy khí .......................................................................... 41
2.5.2. Kỹ thuật đo tính chất nhạy khí cảm biến dây nano In2O3 tự đốt nóng ....... 42
Kết luận chương 2 .............................................................................................44
CHƯƠNG 3: HÌNH THÁI VÀ ĐẶC TRƯNG NHẠY KHÍ CỦA VẬT LIỆU
DÂY NANO IN2O3 ............................................................................................ 46
3.1.Hình thái và đặc tính nhạy khí của dây nano In2O3 sử dụng thuật bẫy hơi với
bột nguồn In2O3 .................................................................................................46
3.2.Hình thái và đặc tính nhạy khí của dây In2O3 sử dụng kỹ thuật bẫy hơi với bột
nguồn kim loại In ..............................................................................................52
3.3. Hình thái và đặc tính nhạy khí của dây In2O3 sử dụng kỹ thuật bẫy hơi và
điều khiển luồng khí với bột In ..........................................................................56
3.4. Hình thái và đặc tính nhạy khí của dây In2O3 sử dụng bột kim loại In với hệ
chân không 8.10-3 torr ........................................................................................60
3.5. Nghiên cứu điều kiện tối ưu của dây nano In2O3 nhằm ứng dụng cho cảm
biến khí .............................................................................................................66
Kết luận chương 3: ............................................................................................69
CHƯƠNG 4: NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ NÂNG CAO HIỆU QUẢ CẢM
BIẾN DÂY NANO IN2O3 TỰ ĐỐT NÓNG ....................................................... 71
4.1. Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí tự đốt nóng trên cơ sở dây In2O3 .............72
4.1.1. Hình thái của cảm biến dây nano In2O3 tự đốt nóng ................................. 72
4.1.2. Đặc tính cảm biến khí .............................................................................. 77
4.2. Nâng cao hiệu quả cảm biến khí In2O3 tự đốt nóng bằng cách pha tạp Sn ....86
4.2.1. Ảnh hưởng của nhiệt độ và tỉ lệ Sn/In đến hình thái và cấu trúc dây
In2O3/SnO2 ........................................................................................................ 87
