SEM là loại kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh lớn với độ phân giải cao của bề mặt mẫu vật bằng cách sử dụng 1 chùm điện tử hẹp quét bề mặt mẫu. SEM đầu tiên được phát minh bởi nhà khoa học Zworykin vào năm 1942