Phún xạ magnetron DC

Bài viết này tập trung nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện trong suốt SnO2 pha tạp Ta (TTO) đƣợc lắng đọng ở các nhiệt độ đế khác nhau. Màng TTO đƣợc lắng đọng trên đế thạch anh bằng phƣơng pháp phún xạ magnetron DC. Cấu trúc tinh thể và tính chất quang và điện của màng đƣợc khảo sát bằng giản đồ nhiễu xạ tia X, phổ truyền qua Uv-Vis và phép đo Hall. Mời các bạn cùng tham khảo!

7p tunelove 12-06-2021 22 0   Download

Bài viết bàn về lớp phủ CrN được lắng đọng trên nền thép SKD61 bằng phương pháp phún xạ xung một chiều magnetron trên thiết bị chân không B30 VTD; sử dụng nguồn xung DC giữ ổn định ở 320W; đế thép SKD61 được thiên áp ở 150V.

5p quenchua12 10-05-2021 17 0   Download

Luận án nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện trong suốt ZnO pha tạp nhôm (AZO); nghiên cứu tính chất quang và điện của màng TiN, nghiên cứu tính chất quang xúc tác của màng TiO2; mô phỏng lý thuyết bài toán tổng quát hệ màng đa lớp từ lý thuyết Fresnel; nghiên cứu chế tạo màng đa lớp TiO2/TiN/TiO2... Mời các bạn cùng tham khảo.

170p capheviahe28 01-03-2021 13 1   Download

Bài viết tập trung nghiên cứu chế tạo vật liệu ZnO có cấu trúc nano bằng phương pháp phún xạ magnetron DC, sau đó biến tính hạt nano Ag lên bề mặt ZnO bằng phương pháp phún xạ magnetron DC, từ đó có thể đánh giá đế SERS ZnO/Ag qua chất thử Rhodamine 6G ở nồng độ thấp. Kết quả thu được hệ số khuếch đại EF>106 .

7p kethamoi9 01-12-2020 35 1   Download

Bài viết tổng hợp màng TiO2 bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC trên các loại đế thủy tinh, Silic, ITO. Khảo sát một số tính chất đặc trưng của màng nhằm đưa ra điều kiện tốt nhất để chế tạo lớp đệm định hướng cho sự phát triển của thanh nano TiO2 bằng phương pháp thủy nhiệt.

7p vichoji2711 04-05-2020 34 1   Download

Bài viết nghiên cứu ảnh hưởng ủa tỉ lệ pha tạp lên cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng HIGZO. Để nắm chi tiết nội dung nghiên cứu mời các bạn cùng tham khảo bài viết.

6p kequaidan3 03-03-2020 37 1   Download

Màng mỏng SnO được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC với bia phún xạ kim loại thiếc và khí phản ứng oxi, nhiệt độ đế (Ts) thay đổi từ 150o C đến 300o C trong suốt quá trình phún xạ. Khi nhiệt độ đế thay đổi từ 150o C đến 300o C thì có sự xuất hiện các pha ngoại lai β-Sn và SnO2 trong cấu trúc màng SnO. Các đặc trưng của màng SnOx được đánh giá thông qua phổ UV-Vis, giản đồ nhiễu xạ tia X (XRD), hiệu ứng Hall, hình thái bề mặt bằng ảnh AFM.

8p teanas 06-11-2019 48 1   Download

Bài viết nghiên cứu tính chất quang điện, cấu trúc tinh thể của màng SnO2 pha tạp antimony (Sb) được lắng đọng trên đế thạch anh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC từ bia gốm hỗn hợp SnO2 và Sb2O3.

11p sansan2 26-05-2018 59 1   Download

Màng SnO2 pha tạp Ga (GTO) được chế tạo từ bia gốm hỗn hợp (SnO2 + Ga2O3) bằng phương pháp phún xạ magnetron DC trong khí nền Ar ở áp suất 4.10-3 torr. Ảnh nhiễu xạ tia X (XRD), phương pháp đo Hall Van Der Pauw và phổ truyền qua UV- Vis được sử dụng để khảo sát đặc trưng của màng. Mời các bạn cùng tham khảo kết quả nghiên cứu.

10p bautroibinhyen17 13-02-2017 65 4   Download

Đề tài khảo sát ảnh hưởng của chiều dày màng lên cấu trúc, hình thái học và tính chất đảo điện trở thuận nghịch của màng mỏng CrOx được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron cao áp một chiều (Dc-sputtering). Các kết quả khảo sát phổ tán xạ Raman và phổ dao động hồng ngoại FTIR cho thấy màng mỏng CrOx lắng đọng ở nhiệt độ phòng có thành phần hợp thức đa pha, gồm Cr2O3, CrO2, Cr8O21...

9p baoanhlib 24-01-2017 66 3   Download

Báo cáo Vật lý: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng quang xúc tác TiO2 bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC không cân bằng tổng quan về màng TiO2, tính năng quang xúc tác, các thông số chế tạo màng TiO, xét nghiệm, kết luận - ứng dụng và hướng phát triển.

16p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 111 12   Download

Dưới đây là bài thuyết trình Phương pháp phún xạ Magnetron RF trong chế tạo màng mỏng. Mời các bạn tham khảo bài thuyết trình để nắm bắt được những nội dung về phương pháp phún xạ (khái niệm, hệ số phún xạ, phún xạ Magnetron); phún xạ Magnetron RF, khó khăn trong phương pháp RF, so sánh phún xạ Magnetron RF với DC.

34p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 142 13   Download

Hơn nửa thế kỷ qua , vật liệu và linh kiện mảng mỏng đã được chế tạo và ứng dụng thực tiễn , và ngày nay nó đang đóng vai trò trung tâm trong nhiều lĩnh vực khoa học, kỹ thuật cũng như đời sống.

104p conchokon 24-09-2012 110 20   Download

TÓM TẮT MỤC ĐÍCH, NỘI DUNG NGHIÊN CỨU − Màng dẫn điện trong suốt được lắng đọng trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC từ bia gốm ( ZnO + 2% WtAl2O3 ). Tính chất điện quang và cấu trúc tinh thể của màng được khảo sát chi tiết theo nhiệt độ đế Ts, áp suất Ar và vị trí đế x. Đã nhận được kết quả tối ưu với ρ~3.7. 10-4 Ω, độ truyền qua vùng khả kiến T≥ 85%, độ phản xạ hồng ngọai R ≥ 85%. − Màng mỏng NiOx được chế tạo bằng phương...

4p gauhaman123 18-11-2011 103 5   Download