Phún xạ magnetron DC

Báo cáo Vật lý: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng quang xúc tác TiO2 bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC không cân bằng tổng quan về màng TiO2, tính năng quang xúc tác, các thông số chế tạo màng TiO, xét nghiệm, kết luận - ứng dụng và hướng phát triển.

16p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 70 10   Download

Màng SnO2 pha tạp Ga (GTO) được chế tạo từ bia gốm hỗn hợp (SnO2 + Ga2O3) bằng phương pháp phún xạ magnetron DC trong khí nền Ar ở áp suất 4.10-3 torr. Ảnh nhiễu xạ tia X (XRD), phương pháp đo Hall Van Der Pauw và phổ truyền qua UV- Vis được sử dụng để khảo sát đặc trưng của màng. Mời các bạn cùng tham khảo kết quả nghiên cứu.

10p bautroibinhyen17 13-02-2017 38 4   Download

Màng ZnO:In được chế tạo trên đế thuỷ tinh bằng phương phún xạ magnetron dc từ bia gốm ZnO:In. Các bia gốm ZnO:In có nồng độ In2O3 thay đổi từ 1 đến 4% khối lượng. Màng có điện trở suất 1.79 x 10-3 Ωcm với độ dày màng khoảng 1µm ứng với bia gốm có 2%In2O3, nhiệt độ đế khoảng 240oC. Tất cả các màng ZnO:In đều có độ truyền qua trên 85% trong vùng ánh sáng khả kiến.

6p thorthor1234 24-05-2018 20 0   Download

Màng mỏng dẫn điện trong suốt ZnO có độ linh động điện tử cao được phủ trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC trong hỗn hợp khí argon và hydrogen (Ar + H2) ở nhiệt độ phòng.

8p hulk1234 01-06-2018 13 0   Download

Màng điện cực trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC phản ứng trên đế thủy tinh. Vật liệu bia là hợp kim Sn (tinh khiết 99,5%) pha Sb (5% khối lượng Sb). Quá trình tạo màng được thực hiện trong hỗn hợp khí Ar (tinh khiết 99,99%) và O2 (tinh khiết 99,999%). Hệ chân không tạo màng có thể đạt đến áp suất ban đầu khoảng 10-5torr. Nhiệt độ đế trong quá trình tạo màng được giữ ở các giá...

6p can_loc 22-07-2012 87 12   Download

Dưới đây là bài thuyết trình Phương pháp phún xạ Magnetron RF trong chế tạo màng mỏng. Mời các bạn tham khảo bài thuyết trình để nắm bắt được những nội dung về phương pháp phún xạ (khái niệm, hệ số phún xạ, phún xạ Magnetron); phún xạ Magnetron RF, khó khăn trong phương pháp RF, so sánh phún xạ Magnetron RF với DC.

34p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 74 9   Download

Bài viết nghiên cứu tính chất quang điện, cấu trúc tinh thể của màng SnO2 pha tạp antimony (Sb) được lắng đọng trên đế thạch anh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC từ bia gốm hỗn hợp SnO2 và Sb2O3.

11p sansan2 26-05-2018 31 1   Download

Màng quang xúc tác TiO2 được nghiên cứu và chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC không cân bằng trên đế kính ảnh có cấu trúc tinh thể anatase sớm ở 1850C. Những đặc trưng về cấu trúc, hình thái bề mặt, tính chất quang của màng được khảo sát qua phổ XRD, kết quả AFM và phổ UV –VIS. Tính năng quang xúc tác của màng được xác định qua khả năng tẩy Methylene Blue (MB) dưới ánh sáng đen (UVA). Kết quả cho những màng TiO2 có bậc tinh thể cao và diện tích hiệu dụng bề mặt lớn; tính năng quang xúc tác của các mẫu mạnh hơn khi tăng dòng phún xạ hay ủ nhiệt.

8p loki1234 24-05-2018 31 0   Download

Bài viết trình bày màng mỏng điện sắc Vanadium pentoxide (V2O5) đã được chế tạo thành công bằng phương pháp phún xạ magnetron DC từ bia kim loại Vanadium (độ tinh kiết 99,5 %) trong môi trường khí hoạt tính (O2+Ar). Đặc biệt, màng đã có khả năng hình thành pha tinh thể V2O5 ngay cả ở nhiệt đế thấp (nhiệt độ phòng). Tính chất quang học của màng được khảo sát bằng phổ truyền qua – hấp thu.

10p thorthor1234 24-05-2018 23 0   Download

Màng TiO2 được các nhà khoa học quan tâm do khả năng ứng dụng của nó rất to lớn trong cuộc sống. Trong những năm vừa qua, có khá nhiều các công trình khoa học nghiên cứu chế tạo màng bằng các phương pháp khác nhau. Phòng thí nghiệm Kỹ Thuật Cao thuộc trường ĐH KHTN – ĐHQG Tp.HCM, lần đầu tiên nghiên cứu chế tạo màng TiO2 bằng phương pháp phún xạ magnetron rf. Tính chất quang của màng được xác định bằng phép đo UV-VIS. Cấu trúc màng và bề mặt màng được xác định bằng phép đo nhiễu xạ tia X và phép đo AFM.

7p loki1234 24-05-2018 46 1   Download

TÓM TẮT MỤC ĐÍCH, NỘI DUNG NGHIÊN CỨU − Màng dẫn điện trong suốt được lắng đọng trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC từ bia gốm ( ZnO + 2% WtAl2O3 ). Tính chất điện quang và cấu trúc tinh thể của màng được khảo sát chi tiết theo nhiệt độ đế Ts, áp suất Ar và vị trí đế x. Đã nhận được kết quả tối ưu với ρ~3.7. 10-4 Ω, độ truyền qua vùng khả kiến T≥ 85%, độ phản xạ hồng ngọai R ≥ 85%. − Màng mỏng NiOx được chế tạo bằng phương...

4p gauhaman123 18-11-2011 81 5   Download

Màng Titanium nitride (TiN) được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC trên đế thủy tinh. Trong công trình này, chúng tôi nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đế, thế phún xạ ngưỡng theo tỉ lệ khí N 2 Ar , áp suất phún xạ và khỏang cách bia - đế lên tính chất cấu trúc, điện và quang của màng. Các tính chất của màng được nghiên cứu bằng cách sử dụng phương pháp đo nhiễu xạ tia X, phương pháp bốn mũi dò,...

10p can_loc 22-07-2012 95 23   Download

Hơn nửa thế kỷ qua , vật liệu và linh kiện mảng mỏng đã được chế tạo và ứng dụng thực tiễn , và ngày nay nó đang đóng vai trò trung tâm trong nhiều lĩnh vực khoa học, kỹ thuật cũng như đời sống.

104p conchokon 24-09-2012 81 19   Download

Màng quang xúc tác TiO2 được nghiên cứu và chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC không cân bằng trên đế kính ảnh có cấu trúc tinh thể anatase sớm ở 1850C. Những đặc trưng về cấu trúc, hình thái bề mặt, tính chất quang của màng được khảo sát qua phổ XRD, kết quả AFM và phổ UV –VIS.

8p phalinh19 22-08-2011 60 12   Download

Al2O3 được ứng dụng rộng rãi làm chất gây xúc tác dưới dạng gốm xốp hoặc dạng màng mỏng. Nó có thể được tạo ra bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng từ bia kim loại hoặc trực tiếp từ bia oxide. Mục tiêu của bài viết này là mô phỏng để xác định các điều kiện thích hợp nhằm phún xạ màng Al2O3 từ vật liệu Al kim loại bằng hệ phún xạ mangetron RF và DC.

7p phalinh19 20-08-2011 49 10   Download

Màng Titanium nitride (TiN) được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC trên đế thủy tinh. Trong công trình này, chúng tôi nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đế, thế phún xạ ngưỡng theo tỉ lệ khí N2 Ar , áp suất phún xạ và khỏang cách bia - đế lên tính chất cấu trúc, điện và quang của màng. Các tính chất của màng được nghiên cứu bằng cách sử dụng phương pháp đo nhiễu xạ tia X, phương pháp bốn mũi dò, phổ truyền qua quang học.

10p loki1234 24-05-2018 28 0   Download

Màng Titanium nitride (TiN) được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC trên đế thủy tinh. Trong công trình này, chúng tôi nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ đế, thế phún xạ ngưỡng theo tỉ lệ khí N 2 Ar , áp suất phún xạ và khỏang cách bia - đế lên tính chất cấu trúc, điện và quang của màng.

10p phalinh19 22-08-2011 65 11   Download

Những kết quả nghiên cứu về màng TiO2-xNx được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC không cân bằng cho thấy có khả năng quang xúc tác dưới ánh sáng khả kiến. Đặc trưng của màng được cho bởi phổ X-ray, phổ UV-vis. Nồng độ nitơ trong màng được xác định bằng phương pháp EDX.

6p phalinh19 22-08-2011 65 10   Download

Như đã biết, bột và màng TiO2 đã được nghiên cứu rộng rãi để làm vật liệu quang xúc tác. Nó có khả năng quang xúc tác lớn, độ bền hoá học cao, không độc hại và giá thành rẻ. Vì vậy, người ta đã tập trung nghiên cứu nó vào mục đích ứng dụng như làm mất mùi, tự làm sạch không khí và nước, và chống khuẩn.

5p loki1234 24-05-2018 22 1   Download

Đề tài khảo sát ảnh hưởng của chiều dày màng lên cấu trúc, hình thái học và tính chất đảo điện trở thuận nghịch của màng mỏng CrOx được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron cao áp một chiều (Dc-sputtering). Các kết quả khảo sát phổ tán xạ Raman và phổ dao động hồng ngoại FTIR cho thấy màng mỏng CrOx lắng đọng ở nhiệt độ phòng có thành phần hợp thức đa pha, gồm Cr2O3, CrO2, Cr8O21...

9p baoanhlib 24-01-2017 43 2   Download