Phún xạ magnetron DC

Luận án nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện trong suốt ZnO pha tạp nhôm (AZO); nghiên cứu tính chất quang và điện của màng TiN, nghiên cứu tính chất quang xúc tác của màng TiO2; mô phỏng lý thuyết bài toán tổng quát hệ màng đa lớp từ lý thuyết Fresnel; nghiên cứu chế tạo màng đa lớp TiO2/TiN/TiO2... Mời các bạn cùng tham khảo.

170p capheviahe28 01-03-2021 27 5   Download

Báo cáo Vật lý: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng quang xúc tác TiO2 bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC không cân bằng tổng quan về màng TiO2, tính năng quang xúc tác, các thông số chế tạo màng TiO, xét nghiệm, kết luận - ứng dụng và hướng phát triển.

16p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 132 15   Download

Dưới đây là bài thuyết trình Phương pháp phún xạ Magnetron RF trong chế tạo màng mỏng. Mời các bạn tham khảo bài thuyết trình để nắm bắt được những nội dung về phương pháp phún xạ (khái niệm, hệ số phún xạ, phún xạ Magnetron); phún xạ Magnetron RF, khó khăn trong phương pháp RF, so sánh phún xạ Magnetron RF với DC.

34p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 162 15   Download

Hơn nửa thế kỷ qua , vật liệu và linh kiện mảng mỏng đã được chế tạo và ứng dụng thực tiễn , và ngày nay nó đang đóng vai trò trung tâm trong nhiều lĩnh vực khoa học, kỹ thuật cũng như đời sống.

104p conchokon 24-09-2012 126 23   Download

TÓM TẮT MỤC ĐÍCH, NỘI DUNG NGHIÊN CỨU − Màng dẫn điện trong suốt được lắng đọng trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC từ bia gốm ( ZnO + 2% WtAl2O3 ). Tính chất điện quang và cấu trúc tinh thể của màng được khảo sát chi tiết theo nhiệt độ đế Ts, áp suất Ar và vị trí đế x. Đã nhận được kết quả tối ưu với ρ~3.7. 10-4 Ω, độ truyền qua vùng khả kiến T≥ 85%, độ phản xạ hồng ngọai R ≥ 85%. − Màng mỏng NiOx được chế tạo bằng phương...

4p gauhaman123 18-11-2011 128 7   Download