Bài giảng Vài ứng dụng chính của màng quang học

(cid:86)(cid:192)(cid:73) (cid:7912)(cid:78)(cid:71)(cid:32)(cid:68)(cid:7908)(cid:78)(cid:71)(cid:32)(cid:67)(cid:72)(cid:205)(cid:78)(cid:72)(cid:32)(cid:67)(cid:7910)(cid:65)(cid:32)(cid:77)(cid:192)(cid:78)(cid:71)(cid:32)(cid:81)(cid:85)(cid:65)(cid:78)(cid:71)(cid:32)(cid:72)(cid:7884)(cid:67) (cid:86)(cid:192)(cid:73) (cid:7912)(cid:78)(cid:71)(cid:32)(cid:68)(cid:7908)(cid:78)(cid:71)(cid:32)(cid:67)(cid:72)(cid:205)(cid:78)(cid:72)(cid:32)(cid:67)(cid:7910)(cid:65)(cid:32)(cid:77)(cid:192)(cid:78)(cid:71)(cid:32)(cid:81)(cid:85)(cid:65)(cid:78)(cid:71)(cid:32)(cid:72)(cid:7884)(cid:67)

(cid:76)(cid:297)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:118)(cid:7921)(cid:99)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:97)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:237) (cid:76)(cid:297)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:118)(cid:7921)(cid:99)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:97)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:237)

(cid:76)(cid:297)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:118)(cid:7921)(cid:99)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:117)(cid:121)(cid:7873)(cid:110)(cid:32)(cid:113)(cid:117)(cid:97)(cid:44) (cid:76)(cid:297)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:118)(cid:7921)(cid:99)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:117)(cid:121)(cid:7873)(cid:110)(cid:32)(cid:113)(cid:117)(cid:97)(cid:44) (cid:112)(cid:104)(cid:7843)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:110)(cid:104)(cid:105)(cid:7879)(cid:116) (cid:112)(cid:104)(cid:7843)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:110)(cid:104)(cid:105)(cid:7879)(cid:116) (cid:76)(cid:297)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:118)(cid:7921)(cid:99)(cid:32)(cid:113)(cid:117)(cid:97)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:104)(cid:7885)(cid:99) (cid:8211) (cid:76)(cid:297)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:118)(cid:7921)(cid:99)(cid:32)(cid:113)(cid:117)(cid:97)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:104)(cid:7885)(cid:99) (cid:8211) (cid:99)(cid:104)(cid:7885)(cid:110)(cid:32)(cid:108)(cid:7885)(cid:99) (cid:99)(cid:104)(cid:7885)(cid:110)(cid:32)(cid:108)(cid:7885)(cid:99)

(cid:76)(cid:297)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:118)(cid:7921)(cid:99)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:117)(cid:121)(cid:7873)(cid:110)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:244)(cid:110)(cid:103) (cid:8211) (cid:76)(cid:297)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:118)(cid:7921)(cid:99)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:117)(cid:121)(cid:7873)(cid:110)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:244)(cid:110)(cid:103) (cid:8211) (cid:272)(cid:297)(cid:97)(cid:32)(cid:110)(cid:104)(cid:7899) (cid:113)(cid:117)(cid:97)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:104)(cid:7885)(cid:99) (cid:272)(cid:297)(cid:97)(cid:32)(cid:110)(cid:104)(cid:7899) (cid:113)(cid:117)(cid:97)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:104)(cid:7885)(cid:99) (cid:76)(cid:297)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:118)(cid:7921)(cid:99)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:117)(cid:121)(cid:7873)(cid:110)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:244)(cid:110)(cid:103) (cid:76)(cid:297)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:118)(cid:7921)(cid:99)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:117)(cid:121)(cid:7873)(cid:110)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:244)(cid:110)(cid:103)

(cid:77)(cid:192)(cid:78)(cid:71)(cid:32)(cid:80)(cid:72)(cid:7842)(cid:78)(cid:32)(cid:88)(cid:7840) (cid:81)(cid:85)(cid:65)(cid:78)(cid:71)(cid:32)(cid:72)(cid:7884)(cid:67) (cid:77)(cid:192)(cid:78)(cid:71)(cid:32)(cid:80)(cid:72)(cid:7842)(cid:78)(cid:32)(cid:88)(cid:7840) (cid:81)(cid:85)(cid:65)(cid:78)(cid:71)(cid:32)(cid:72)(cid:7884)(cid:67)

(cid:80)(cid:104)(cid:7843)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:113)(cid:117)(cid:97)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:104)(cid:7885)(cid:99)(cid:32)(cid:107)(cid:104)(cid:244)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7881)(cid:32)(cid:273)(cid:432)(cid:7907)(cid:99)(cid:32)(cid:104)(cid:105)(cid:7875)(cid:117)(cid:32)(cid:273)(cid:417)(cid:110)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:117)(cid:7847)(cid:110) (cid:7903) (cid:118)(cid:249)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:107)(cid:104)(cid:7843) (cid:80)(cid:104)(cid:7843)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:113)(cid:117)(cid:97)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:104)(cid:7885)(cid:99)(cid:32)(cid:107)(cid:104)(cid:244)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7881)(cid:32)(cid:273)(cid:432)(cid:7907)(cid:99)(cid:32)(cid:104)(cid:105)(cid:7875)(cid:117)(cid:32)(cid:273)(cid:417)(cid:110)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:117)(cid:7847)(cid:110) (cid:7903) (cid:118)(cid:249)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:107)(cid:104)(cid:7843) (cid:107)(cid:105)(cid:7871)(cid:110)(cid:44)(cid:32)(cid:109)(cid:224) (cid:99)(cid:243) (cid:116)(cid:104)(cid:7875) (cid:109)(cid:7903) (cid:114)(cid:7897)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:115)(cid:97)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:118)(cid:249)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:116)(cid:7917) (cid:110)(cid:103)(cid:111)(cid:7841)(cid:105)(cid:44)(cid:32)(cid:104)(cid:7891)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:110)(cid:103)(cid:111)(cid:7841)(cid:105) (cid:8230) (cid:107)(cid:105)(cid:7871)(cid:110)(cid:44)(cid:32)(cid:109)(cid:224) (cid:99)(cid:243) (cid:116)(cid:104)(cid:7875) (cid:109)(cid:7903) (cid:114)(cid:7897)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:115)(cid:97)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:118)(cid:249)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:116)(cid:7917) (cid:110)(cid:103)(cid:111)(cid:7841)(cid:105)(cid:44)(cid:32)(cid:104)(cid:7891)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:110)(cid:103)(cid:111)(cid:7841)(cid:105) (cid:8230)

(cid:86)(cid:224)(cid:105) (cid:7913)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:100)(cid:7909)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:7911)(cid:97)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103) (cid:86)(cid:224)(cid:105) (cid:7913)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:100)(cid:7909)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:7911)(cid:97)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103) (cid:40)(cid:83)(cid:105)(cid:108)(cid:118)(cid:101)(cid:114)(cid:41) (cid:40)(cid:83)(cid:105)(cid:108)(cid:118)(cid:101)(cid:114)(cid:41)

(cid:86)(cid:224)(cid:105) (cid:7913)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:100)(cid:7909)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:7911)(cid:97)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103) (cid:86)(cid:224)(cid:105) (cid:7913)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:100)(cid:7909)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:7911)(cid:97)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103) (cid:40)(cid:83)(cid:105)(cid:108)(cid:118)(cid:101)(cid:114)(cid:41) (cid:40)(cid:83)(cid:105)(cid:108)(cid:118)(cid:101)(cid:114)(cid:41)

(cid:86)(cid:224)(cid:105) (cid:7913)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:100)(cid:7909)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:7911)(cid:97)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103) (cid:86)(cid:224)(cid:105) (cid:7913)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:100)(cid:7909)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:7911)(cid:97)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103) (cid:40)(cid:83)(cid:105)(cid:108)(cid:118)(cid:101)(cid:114)(cid:41) (cid:40)(cid:83)(cid:105)(cid:108)(cid:118)(cid:101)(cid:114)(cid:41)

Các chức năng và đặc điểm chính:

Có khả năng giữ năng lượng hồng ngoại trong đêm và độ •

truyền qua của màng khá tốt.

Khi kết hợp với một số chất, màng có độ bền với tia cực tím, •

có khả năng chống thấm dột cao, có khả năng khuếch tán và giữ lại

lượng nhiệt từ mặt trời vào ban đêm.

Có khả năng diệt khuẩn •

Chi phí rất cạnh tranh, tiết kiệm năng lượng. •

(cid:104)(cid:116)(cid:116)(cid:112)(cid:58)(cid:47)(cid:47)(cid:119)(cid:119)(cid:119)(cid:46)(cid:101)(cid:45)(cid:109)(cid:105)(cid:108)(cid:105)(cid:109)(cid:46)(cid:99)(cid:111)(cid:109)(cid:47)(cid:101)(cid:110)(cid:103)(cid:108)(cid:105)(cid:115)(cid:104)(cid:47)(cid:104)(cid:116)(cid:109)(cid:108)(cid:47)(cid:80)(cid:114)(cid:111)(cid:100)(cid:117)(cid:99)(cid:116)(cid:115)(cid:95)(cid:65)(cid:103)(cid:47)(cid:80)(cid:114)(cid:111)(cid:100)(cid:117)(cid:99)(cid:116)(cid:115)(cid:95)(cid:65)(cid:103)(cid:95)(cid:48)(cid:49)(cid:46)(cid:104)(cid:116)(cid:109)

(cid:75)(cid:104)(cid:7843)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:225)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7871) (cid:75)(cid:104)(cid:7843)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:225)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7871) (cid:116)(cid:7841)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:225)(cid:112)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:250)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:116)(cid:7841)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:225)(cid:112)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:250)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:77)(cid:97)(cid:103)(cid:110)(cid:101)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:32)(cid:82)(cid:70) (cid:77)(cid:97)(cid:103)(cid:110)(cid:101)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:32)(cid:82)(cid:70)

(cid:84)(cid:46)(cid:83)(cid:117)(cid:122)(cid:117)(cid:107)(cid:105)(cid:32)(cid:97)(cid:32)(cid:44)(cid:89)(cid:46)(cid:65)(cid:98)(cid:101)(cid:32)(cid:97)(cid:44)(cid:32)(cid:42)(cid:44)(cid:77)(cid:46)(cid:75)(cid:97)(cid:119)(cid:97)(cid:109)(cid:117)(cid:114)(cid:97)(cid:32)(cid:97)(cid:32)(cid:44)(cid:75)(cid:46)(cid:83)(cid:97)(cid:115)(cid:97)(cid:107)(cid:105)(cid:32)(cid:97)(cid:32)(cid:44)(cid:84)(cid:46)(cid:83)(cid:104)(cid:111)(cid:117)(cid:122)(cid:117)(cid:98) (cid:84)(cid:46)(cid:83)(cid:117)(cid:122)(cid:117)(cid:107)(cid:105)(cid:32)(cid:97)(cid:32)(cid:44)(cid:89)(cid:46)(cid:65)(cid:98)(cid:101)(cid:32)(cid:97)(cid:44)(cid:32)(cid:42)(cid:44)(cid:77)(cid:46)(cid:75)(cid:97)(cid:119)(cid:97)(cid:109)(cid:117)(cid:114)(cid:97)(cid:32)(cid:97)(cid:32)(cid:44)(cid:75)(cid:46)(cid:83)(cid:97)(cid:115)(cid:97)(cid:107)(cid:105)(cid:32)(cid:97)(cid:32)(cid:44)(cid:84)(cid:46)(cid:83)(cid:104)(cid:111)(cid:117)(cid:122)(cid:117)(cid:98) (cid:44)(cid:75)(cid:46)(cid:75)(cid:97)(cid:119)(cid:97)(cid:109)(cid:97)(cid:116)(cid:97)(cid:98) (cid:44)(cid:75)(cid:46)(cid:75)(cid:97)(cid:119)(cid:97)(cid:109)(cid:97)(cid:116)(cid:97)(cid:98) (cid:75)(cid:105)(cid:116)(cid:97)(cid:109)(cid:105)(cid:32)(cid:73)(cid:110)(cid:115)(cid:116)(cid:105)(cid:116)(cid:117)(cid:116)(cid:101)(cid:32)(cid:111)(cid:102)(cid:32)(cid:84)(cid:101)(cid:99)(cid:104)(cid:110)(cid:111)(cid:108)(cid:111)(cid:103)(cid:121) (cid:75)(cid:105)(cid:116)(cid:97)(cid:109)(cid:105)(cid:32)(cid:73)(cid:110)(cid:115)(cid:116)(cid:105)(cid:116)(cid:117)(cid:116)(cid:101)(cid:32)(cid:111)(cid:102)(cid:32)(cid:84)(cid:101)(cid:99)(cid:104)(cid:110)(cid:111)(cid:108)(cid:111)(cid:103)(cid:121)

Tuy nhiên các tính chất trên thường bị hạn chế do Ag kém bền trong môi

Ag là vật liệu rất quan trọng trong các linh kiện điện tử và quang học do • có độ phản xạ rất cao trong vùng khả kiến ( 97.7%, (cid:61548)=600nm) và có điện trở thấp nhất trong hầu hết các vật liệu kim loại • trường, dễ bị oxi hóa bởi các hợp chất sulfide và độ bền cơ học thấp. • Để khắc phục người ta thường pha tạp vào một số kim loại như Ti, Cu, Pd …

Động lực của quá trình nghiên cứu Động lực của quá trình nghiên cứu

Khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đế đến tính chất quang của màng • Ag và màng Ag pha tạp Pd-Cu (nhằm cải thiện tính bền với môi trường, độ ẩm và độ cứng cơ học)

Hướng nghiên cứu Hướng nghiên cứu

(cid:75)(cid:104)(cid:7843)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:225)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7871) (cid:75)(cid:104)(cid:7843)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:225)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7871) (cid:116)(cid:7841)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:225)(cid:112)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:250)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:116)(cid:7841)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:225)(cid:112)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:250)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:77)(cid:97)(cid:103)(cid:110)(cid:101)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:32)(cid:82)(cid:70) (cid:77)(cid:97)(cid:103)(cid:110)(cid:101)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:32)(cid:82)(cid:70)

Màng được chế tạo theo phương pháp phún xạ Magnetron RF Sử dụng các nguyên vật liệu có độ tinh khiết cao (99.99%) Sử dụng đế thủy tinh chiu nhiệt Corning Áp suất khí phún xạ 5mTorr

• • • •

Cấu trúc màng được khảo sát bằng phổ XRD với bước sóng CuK(cid:61537) Hình thái bề mặt được quan sát bởi phổ SEM

• • • Độ phản xạ được đo bằng hệ chiếu sáng gồm 6 sợi quang học và 1 sợi sử dụng làm đầu thu liên kết với detector CCD.

Các phương tiện nghiên cứu Các phương tiện nghiên cứu

(cid:75)(cid:104)(cid:7843)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:225)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7871) (cid:75)(cid:104)(cid:7843)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:225)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7871) (cid:116)(cid:7841)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:225)(cid:112)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:250)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:116)(cid:7841)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:225)(cid:112)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:250)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:77)(cid:97)(cid:103)(cid:110)(cid:101)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:32)(cid:82)(cid:70) (cid:77)(cid:97)(cid:103)(cid:110)(cid:101)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:32)(cid:82)(cid:70)

I. Nghiên cứu cấu trúc màng và hình thái bề mặt

Màng định hướng tốt và ưu tiên ở Màng định hướng tốt và ưu tiên ở

• • mặt [111] mặt [111]

Không có hiệu ứng nào đặc biệt Không có hiệu ứng nào đặc biệt • • do nhiệt độ đế sinh ra, ngoài việc làm do nhiệt độ đế sinh ra, ngoài việc làm tăng cường các đỉnh phổ tăng cường các đỉnh phổ

Phổ XRD của màng Ag-Pd-Cu Phổ XRD của màng Ag-Pd-Cu

• • cũng có dạng tương tự cũng có dạng tương tự

Kích thước hạt được tính theo Kích thước hạt được tính theo

• • công thức Sherrer công thức Sherrer

a/ Cấu trúc màng Ag

(cid:75)(cid:104)(cid:7843)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:225)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7871) (cid:75)(cid:104)(cid:7843)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:225)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7871) (cid:75)(cid:104)(cid:7843)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:225)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7871) (cid:116)(cid:7841)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:225)(cid:112)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:250)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:116)(cid:7841)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:225)(cid:112)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:250)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:116)(cid:7841)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:225)(cid:112)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:250)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:77)(cid:97)(cid:103)(cid:110)(cid:101)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:32)(cid:82)(cid:70) (cid:77)(cid:97)(cid:103)(cid:110)(cid:101)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:32)(cid:82)(cid:70) (cid:77)(cid:97)(cid:103)(cid:110)(cid:101)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:32)(cid:82)(cid:70)

Kích thước hạt cả hai màng đều tăng Kích thước hạt cả hai màng đều tăng

Bề mặt các màng khá phẳng ở nhiệt độ Bề mặt các màng khá phẳng ở nhiệt độ

Tuy nhiên bề mặt màng Ag so với APC Tuy nhiên bề mặt màng Ag so với APC

• • theo nhiệt độ đế theo nhiệt độ đế Màng APC có kích thước hạt bé hơn Màng APC có kích thước hạt bé hơn • • màng Ag, nguyên nhân do sự khuếch tán bề màng Ag, nguyên nhân do sự khuếch tán bề mặt và lớn lên của tinh thể chịu sự ảnh mặt và lớn lên của tinh thể chịu sự ảnh hưởng của chất pha tạp. hưởng của chất pha tạp.

• • phòng phòng • • trở nên gồ ghề hơn khi tăng nhiệt độ đế trở nên gồ ghề hơn khi tăng nhiệt độ đế Khi bề mặt màng tương đối phẳng, kích Khi bề mặt màng tương đối phẳng, kích • • thước hạt nằm trong khoảng nhỏ hơn 50nm. thước hạt nằm trong khoảng nhỏ hơn 50nm.

b/ Hình thái bề mặt:

(cid:75)(cid:104)(cid:7843)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:225)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7871) (cid:75)(cid:104)(cid:7843)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:225)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7871) (cid:75)(cid:104)(cid:7843)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:225)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7871) (cid:116)(cid:7841)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:225)(cid:112)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:250)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:116)(cid:7841)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:225)(cid:112)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:250)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:116)(cid:7841)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:225)(cid:112)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:250)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:77)(cid:97)(cid:103)(cid:110)(cid:101)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:32)(cid:82)(cid:70) (cid:77)(cid:97)(cid:103)(cid:110)(cid:101)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:32)(cid:82)(cid:70) (cid:77)(cid:97)(cid:103)(cid:110)(cid:101)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:32)(cid:82)(cid:70)

Khi nhiệt độ đế càng tăng độ phản xạ càng giảm Khi nhiệt độ đế càng tăng độ phản xạ càng giảm

• Độ phản xạ của màng Ag cao nhất khi đế ở nhiệt độ phòng • Độ phản xạ của màng Ag cao nhất khi đế ở nhiệt độ phòng • • • Độ phản xạ bắt đầu giảm trong vủng khả kiến • Độ phản xạ bắt đầu giảm trong vủng khả kiến

Trong vùng nhiệt độ dưới 150oC, độ phản xạ của màng APC Trong vùng nhiệt độ dưới 150oC, độ phản xạ của màng APC • • bé hơn so với Ag (95%<98%) tuy nhiên vẫn tốt hơn so với Al bé hơn so với Ag (95%<98%) tuy nhiên vẫn tốt hơn so với Al (91%) (91%) Trong vùng nhiệt độ trên 200oC, độ phản xạ của cả hai Trong vùng nhiệt độ trên 200oC, độ phản xạ của cả hai • • đều giảm, tuy nhiên màng APC có độ phản xạ khá cao so với đều giảm, tuy nhiên màng APC có độ phản xạ khá cao so với Ag, nguyên nhân có thể do bề mặt của màng phẳng và ít gồ Ag, nguyên nhân có thể do bề mặt của màng phẳng và ít gồ ghề hơn như đã nói ở phần cấu trúc. ghề hơn như đã nói ở phần cấu trúc.

Nghiên cứu tính chất quang:

(cid:75)(cid:104)(cid:7843)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:225)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7871) (cid:75)(cid:104)(cid:7843)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:225)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116)(cid:32)(cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:65)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:7871) (cid:116)(cid:7841)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:225)(cid:112)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:250)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:116)(cid:7841)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:225)(cid:112)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:250)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:7841) (cid:77)(cid:97)(cid:103)(cid:110)(cid:101)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:32)(cid:82)(cid:70) (cid:77)(cid:97)(cid:103)(cid:110)(cid:101)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:32)(cid:82)(cid:70)

Màng Ag và APC được chế tạo bằng phương pháp phún xạ

•

Magnetron RF có độ phản xạ khá tốt 98% và 95%

Màng APC có bề mặt phẳng, ít gồ ghề và kích thước hạt nhỏ hơn so

•

với màng Ag khi tăng nhiệt độ đế.

• Độ phản xạ của màng APC vẫn còn tương đối cao trong vùng nhiệt

độ đế trên 200oC trong khi độ phản xạ của màng Ag bắt đầu giảm mạnh

từ 150oC

Kết luận: Kết luận: