MÀNG CƠ
GVHD: PGS.TS Lê Văn Hiếu
HVTH : Châu ThịMỹUyên
Nguyễn VũNguyên
SEMINAR
Màng cứng
Màng có độ cứng lớn
Chịu mài mòn cao
Hệsốma sát thấp
Độ bám dính cao
Các vật liệu tạo màng
Các phương pháp tạo màng
Phương pháp lắng đọng hơi
PVD:
Phún xạ
Bốc bay
CVD
Phương pháp phun nhiệt
Phương pháp PVD
Vật liệuđược chuyển thành hơi nhờ
các tác nhân vật lý như nhiệtđộ,
electron, ion
Áp dụng đối với nhiều vật liệu vô cơ:
kim loại, hợp kim, hợp chất và hỗn hợp
cũng như một sốhợp chất hữucơ.
Gồm hai loại:
Phún xạ
Bốc bay