ĐẠI HỌC QUỐC GIA THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH
TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN
[\
LÊ TRẤN
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG GƯƠNG
NÓNG TRUYỀN QUA BẰNG PHƯƠNG
PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC
LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ
THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH – 2009
ĐẠI HỌC QUỐC GIA THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH
TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN
[\
LÊ TRẤN
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG GƯƠNG
NÓNG TRUYỀN QUA BẰNG PHƯƠNG PHÁP
PHÚN XẠ MAGNETRON DC
CHUYÊN NGÀNH: QUANG HỌC
MÃ SỐ: 1.02.18
LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ
NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC
GS TS NGUYỄN HỬU CHÍ
PGS. TS TRẦN TUẤN
THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH - 2009
LỜI CAM ĐOAN
Tôi xin cam đoan luận án này là công trình nghiên cứu của riêng tôi và các cộng
sự làm việc dưới sự hướng dẫn của tôi. Các số liệu, kết quả nêu trong luận án này là
trung thực và chưa được công bố trong bất kỳ công trình nào mà tôi không tham
gia.
ii
LỜI CẢM ƠN
Tôi xin chân thành cảm ơn ban chủ nhiệm Khoa Vật Lý, ban giám hiệu trường
đã tạo mọi điều kiện thủ tục cho tôi hoàn thành luận án này.
Tôi xin chân thành cảm ơn GS.TS. Nguyễn Hửu Chí, người đã tận tình hướng
dẫn và định hướng cho tôi thực hiện công trình nghiên cứu này. Thầy là người đã
dạy cho tôi sự nghiêm túc trong khoa học. Thầy đã luôn ủng hộ tôi hoàn thành bản
luận án.
Tôi xin chân thành cảm ơn PGS.TS. Trần Tuấn, người đã tận tình hướng dẫn,
ủng hộ và động viên tôi hoàn thành bản luận án.
Tôi xin chân thành cảm ơn PGS.TS. Lê Văn Hiếu, thầy đã luôn quan tâm nhắc
nhở, động viên tôi sớm hoàn thành luận án.
Tôi xin chân thành cảm ơn các bạn Trần Quang Trung, Trần Cao Vinh, Cao Thị
Mỹ Dung, Lê Thụy Thanh Giang, Nguyễn Đăng Khoa, Tạ Thị Kiều Hạnh, Phạm
Kim Ngọc đã tận tình giúp đỡ, cộng tác trong công việc đo đạc.
Tôi xin chân thành cảm ơn anh Trần Quang Trung, Lê Vũ Tuấn Hùng, Lê Văn
Ngọc, Lâm Quang Vinh, Vũ Thị Hạnh Thu, Nguyễn Đức Hảo và Thầy Văn Hồng
Khôi, cùng tất cả thầy cô đồng nghiệp trong bộ môn luôn luôn quan tâm tôi trong
thời gian thực hiện luận án này.
Tôi xin chân thành cảm ơn quý thầy trong hội động chấm luận án tiến sĩ cấp cơ
sở, đã nhận xét và đóng góp những ý kiến quí báu để luận án này hoàn chỉnh hơn.
Tôi xin chân thành cảm ơn cộng sự Đào Vĩnh Ái đã đóng góp cho đề tài này.
Con xin gửi lời cảm ơn sâu sắc đến cha mẹ, những người đã luôn bên cạnh con,
mong cho con thành đạt trong cuộc sống.
Lê Trấn.
i
DANH MỤC CÁC TỪ VIẾT TẮT
A Độ hấp thụ
Ag Bạc
Ar Argon
AZO Màng dẫn điện trong suốt ZnO pha tạp Al
DC Một chiều
FCC Lập phương tâm mặt
HOMO Quỹ đạo phân tử bị chiếm đóng cao nhất
ITO Oxít indium pha tạp oxít thiếc
L Độ mất mát
LOMO Quỹ đạo phân tử không bị chiếm đóng thấp nhất
MB Methylene blue
N Nguyên tử nitơ
N2 Phân tử nitơ
NHE Thang đo thế oxy hóa khử của hydro
NIR Sự tái phún xạ ion âm
O2 Oxy
RMS Độ gồ ghề bề mặt
R Phản xạ
rf Radio frequency
S Độ tán xạ
T Truyền qua
Ti Titan
TiN Nitrite titan
TCO Transparent conductive oxide: Oxide dẫn điện trong suốt
Texture Cơ chế phát triển mặt tinh thể
ABS Độ phân hủy methylene blue