Tìm hi u v khái ni m, S l c v s ể ề ệ ơ ượ ề ự
ra đ i c a kính hi n vi đi n t quét ờ ủ ể ệ ử
(SEM), 1 s hình nh SEM v v t li u ố ả ề ậ ệ
thép
Sinh viên th c hiên: Nguy n Th Liênự ễ ị
Giaó viên h ng d n: Th.S Nguy n Th Ng c ướ ẫ ễ ị ọ
Linh
Đ I H C KHOA HOCẠ Ọ
KHOA HÓA H CỌ
Khái ni mệ
Kính hi n vi đi n t ể ệ ử
quét(Scanning Electron
Microscope- SEM)
Là m t lo i kính hi n vi ộ ạ ể
đi n t có th t o ra nh v i ệ ử ể ạ ả ớ
đ phân gi i cao c a b m t ộ ả ủ ề ặ
m u v t b ng cách s d ng ẫ ậ ằ ử ụ
m t chùm đi n t h p quét ộ ệ ử ẹ
trên b m t m u. ề ặ ẫ
Thi t b kính hi n vi đi n t quét ế ị ể ệ ử
Jeol 5410 LV t i Trung tâm Khoa ạ
h c V t li u, Đ i h c Qu c gia Hà ọ ậ ệ ạ ọ ố
N iộ
II. S l c v kính hi n vi đi n t quét ơ ượ ề ể ệ ử
SEM
Hình 1: Zworykin(1889-1982)-
nhà bác h c ng i Ngaọ ườ
Vào năm 1942 là m t ộ
thi t b g m m t súng ế ị ồ ộ
phóng đi n t theo chi u ệ ử ề
t d i lên, ba th u kính ừ ướ ấ
tĩnh đi n và h th ng ệ ệ ố
các cu n quét đi n t ộ ệ ừ
đ t gi a th u kính th ặ ữ ấ ứ
hai và th ba, và ghi ứ
nh n chùm đi n t th ậ ệ ử ứ
c p b ng m t ng nhân ấ ằ ộ ố
quang đi nệ.
D. McMullan
C. W. Oatley
Năm 1948, C. W.
Oatley phát tri nể
kínhhi nviđi nt ể ệ ử
quét trên mô hình
này và công b ố
trong lu n án ti nậ ế
sĩc aD.McMullanủ
v i chùm đi n t ớ ệ ử
h p có đ phânẹ ộ
gi i đ n 500ả ế
Angstrom.
Hình nh SEMả
Hình1: nh SEM c a các thành ph n làm thépẢ ủ ầ