Phương pháp phún xạ Magnetron RF

Tách điện cao, bền cơ, nhiệt và hóa. Hợp chất này được nhiều nhà khoa học quan tâm nghiên cứu bằng các phương pháp khác nhau. Phòng thí nghiệm kỹ thuật cao thuộc trường ĐH KHTN − ĐHQG Tp Hồ Chí Minh lần đầu tiên nghiên cứu chế tạo thành công màng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ magnetron rf. Tính chất quang của màng được xác định bằng phép đo

11p nhatro75 22-07-2012 129 22   Download

Dưới đây là bài thuyết trình Phương pháp phún xạ Magnetron RF trong chế tạo màng mỏng. Mời các bạn tham khảo bài thuyết trình để nắm bắt được những nội dung về phương pháp phún xạ (khái niệm, hệ số phún xạ, phún xạ Magnetron); phún xạ Magnetron RF, khó khăn trong phương pháp RF, so sánh phún xạ Magnetron RF với DC.

34p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 74 9   Download

Màng TiO2 được các nhà khoa học quan tâm do khả năng ứng dụng của nó rất to lớn trong cuộc sống. Trong những năm vừa qua, có khá nhiều các công trình khoa học nghiên cứu chế tạo màng bằng các phương pháp khác nhau. Phòng thí nghiệm Kỹ Thuật Cao thuộc trường ĐH KHTN – ĐHQG Tp.HCM, lần đầu tiên nghiên cứu chế tạo màng TiO2 bằng phương pháp phún xạ magnetron rf. Tính chất quang của màng được xác định bằng phép đo UV-VIS. Cấu trúc màng và bề mặt màng được xác định bằng phép đo nhiễu xạ tia X và phép đo AFM.

7p loki1234 24-05-2018 46 1   Download

Đề tài Vật lý: Nghiên cứu chế tạo màng WO3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron bao gồm những nội dung về một số tính chất của vật liệu điện sắc WO3, thực nghiệm và phương pháp (chế tạo màng WO3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF.

32p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 38 7   Download

Màng ZnO-Ga được tạo từ bia ZnO pha tạp 4.4% nguyên tử (at.) Ga với bề dày khoảng 600nm, bằng phương pháp phún xạ magnetron RF ở nhiệt độ phòng, có điện trở suất ρ ~ 4.6 x 10-4 Ωcm và độ truyền qua T ≈ 85% trong vùng phổ khả kiến. Tại nhiệt độ phòng, phổ nhiễu xạ cho thấy màng có tính tinh thể tốt với định hướng (002) mạnh. Cách bố trí bia-đế song song trong quá trình phún xạ cho thấy tính chất màng ít bị ảnh hưởng bởi sự bắn phá của các hạt...

5p can_loc 27-07-2012 79 10   Download

Màng TiO2 được các nhà khoa học quan tâm do khả năng ứng dụng của nó rất to lớn trong cuộc sống. Trong những năm vừa qua, có khá nhiều các công trình khoa học nghiên cứu chế tạo màng bằng các phương pháp khác nhau. Phòng thí nghiệm Kỹ Thuật Cao thuộc trường ĐH KHTN – ĐHQG Tp.HCM, lần đầu tiên nghiên cứu chế tạo màng TiO2 bằng phương pháp phún xạ magnetron rf. Tính chất quang của màng được xác định bằng phép đo UV-VIS. Cấu trúc màng và bề mặt màng được xác định bằng phép đo...

7p phalinh19 19-08-2011 81 20   Download

Bài thuyết trình Vật lý ứng dụng: Màng điện sắc và ứng dụng tập trung làm rõ về vật liệu điện sắc, hiệu ứng điện sắc, chế tạo màng WO3 bằng phương pháp phún xạ magnetron RF, tính chất và ứng dụng của màng điện sắc.

19p maiyeumaiyeu10 17-09-2016 47 5   Download

Màng ZnO-Ga được tạo từ bia ZnO pha tạp 4.4% nguyên tử (at.) Ga với bề dày khoảng 600nm, bằng phương pháp phún xạ magnetron RF ở nhiệt độ phòng, có điện trở suất ρ ~ 4.6 x 10-4 Ωcm và độ truyền qua T ≈ 85% trong vùng phổ khả kiến. Tại nhiệt độ phòng, phổ nhiễu xạ cho thấy màng có tính tinh thể tốt với định hướng (002) mạnh.

5p phalinh19 20-08-2011 51 9   Download

Al2O3 được ứng dụng rộng rãi làm chất gây xúc tác dưới dạng gốm xốp hoặc dạng màng mỏng. Nó có thể được tạo ra bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng từ bia kim loại hoặc trực tiếp từ bia oxide. Mục tiêu của bài viết này là mô phỏng để xác định các điều kiện thích hợp nhằm phún xạ màng Al2O3 từ vật liệu Al kim loại bằng hệ phún xạ mangetron RF và DC.

7p phalinh19 20-08-2011 49 10   Download

Màng WO3 được lắng đọng bằng phương pháp phún xạ magnetron RF trên lớp phủ ITO(400) của thủy tinh. Thực nghiệm cho thấy rằng hướng phát triển của mạng tinh thể WO3 phụ thuộc vào độ dày của lớp ITO. Trong bài báo này sự phụ thuộc đó sẽ được thảo luận sâu hơn. Keywords: WO3(200) plan, WO3/ITO/glass, WO3 structure. 1. GIỚI THIỆU

8p can_loc 24-07-2012 50 10   Download