Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2 ĐI N T TR NG THÁI R N
ắ
ấ ẫ ị
ẫ ạ ấ ệ ử ạ ậ ệ 2.1 V t li u đi n t tr ng thái r n ị ế 2.2 Mô hình liên k t hóa tr ự ị ể ệ 2.3 Dòng đi n d ch và s d ch chuy n trong ch t bán d n ấ 2.4 Pha t p ch t trong ch t bán d n
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
1
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ậ ệ
ệ ử ạ
ắ
2.1 V t li u đi n t
tr ng thái r n
ẫ ệ và bán d nẫ .
ệ ạ 3 lo i: ạ cách đi nệ , d n đi n ệ ố ơ ả ể ở ấ t các lo i này là đi n tr su t
ơ Tham s c b n đ phân bi ρ: đ n v là cm.Ω ị
ệ ấ Ch t cách đi n:
ấ ẫ ệ Ch t d n đi n:
>ρ 105 cmΩ <ρ 103 cm.Ω ộ ụ ươ ữ ệ ấ Ví d , kim c
6
Ω ượ ố ệ ấ ở l ng t ấ ng, m t trong nh ng ch t cách đi n có ch t ặ cm. M t ấ ấ ớ su t r t l n, 10 t nh t, có đi n tr
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
2
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ấ ẫ ệ ố ồ ộ ệ ấ khác, đ ng nguyên ch t, m t ch t d n đi n t t, có đi n tr ở
6 cm.Ω
ấ ỉ su t ch 3×10
ấ ở ấ ệ ế ẫ ả ộ
ể ề ấ ẫ ữ ệ ệ ơ ữ Các ch t bán d n chi m toàn b kho ng đi n tr su t gi a ể ch t d n đi n và cách đi n; h n n a, có th đi u khi n
ệ ở ấ ằ ể ạ ấ
đi n tr su t b ng cách thêm các t p ch t vào tinh th bán d n.ẫ
Ả
B NG 2.1
ạ
ấ
ắ
ệ Phân lo i ch t r n theo đi n
ệ
d nẫ Ch tấ
Đi n d n ( cm)Ω ẫ
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
3
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ẫ
Cách đi nệ Bán d nẫ ệ D n đi n
105 < ρ 103 < ρ < 105 ρ < 103
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
4
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ẫ ấ ượ ạ ừ ộ ơ ả đ c t o thành t ạ m t lo i Các ch t bán d n c b n
ử ộ ố ầ nguyên t ủ ả (c t IV c a b ng nguyên t tu n hoàn)
ươ ng)
Cácbon (kim c Silic Germani Thi cế ợ ẫ ấ ượ ạ ấ đ c t o ra t ừ ự ế ợ s k t h p Các ch t bán d n h p ch t:
ử ặ ộ ộ ủ c a các nguyên t trong c t III và V ho c c t II và VI. Các
ạ ườ ượ ề ậ ấ ẫ ợ lo i này th ng đ c đ c p là bán d n h p ch t IIIV (3
5) hay IIVI (26).
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
5
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ư ề ầ ấ ợ ỷ Cũng có nhi u h p ch t 3 thành ph n nh : thu ngân catmi
ố telua, gali nhôm asen, gali Indi asen và gali indi ph tpho.
ẫ ượ ử ụ ấ Các ch t bán d n đ c s d ng:
Germani, silic.
ố gali asenic (GaAs), indi ph tphua (InP), silic cácbua
ể ấ ợ ươ Đang tìm hi u: các h p ch t kim c ơ ng, bo nit rít, silicon
cácbua và silicon germani (SiGe).
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
6
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ế
ị 2.2 Mô hình liên k t hoá tr
ử ế ớ ể ạ Các nguyên t có th liên k t v i nhau theo các d ng vô
ị ơ ấ ể. Các ch t không đ nh hình
, đa tinh thể hay đ n tinh th ổ ể ậ ự ấ ị đ nh hình t ng th có c u trúc không có tr t t
ề ể ể ấ ầ ỏ
ấ ữ ấ ẫ ở ỉ , trong khi đa ế tinh th có r t nhi u các tinh th nh . Tuy nhiên, h u h t ấ ơ ch t đ n ủ các tính ch t h u ích c a ch t bán d n ch có
ể ấ ở ộ ầ ả tinh th nguyên ch t. Silic c t IV b ng tu n hoàn – có
ở ỏ ố b n electron v ngoài cùng.
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
7
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ướ
ề ớ
ặ ỗ ố
ạ
L
i silicon 2 chi u v i liên
T o ra c p l
tr ng –
ế
ị
k t hoá tr dùng chung.
Ở
electron khi phá v liênỡ
Ậ
Ả
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
8
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ệ ộ ầ
ệ ố
ế
nhi
t đ g n 0 tuy t đ i, 0K,
ị k t hoá tr
ấ ả
t
t c các liên k t đ
ế ượ ấ c l p
ủ
ỏ
ầ
đ y, các v ngoài c a nguyên
ầ
ử t
silic đ y hoàn toàn.
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
9
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ậ ộ ượ ả M t đ electron đ c gi ằ i phóng b ng v i ậ ộ ạ ớ m t đ h t
ệ ượ ằ ị c xác đ nh b ng các mang đi n nguyên ch t
ấ ủ ấ ni (cm3), đ ố tính ch t c a nguyên t và nhi ệ ộ t đ :
2
3
(cid:0) (cid:0)
n
BT
exp
(cid:0) (cid:0) (cid:0) (cid:0) cm6 (2.2.1)
E G kT
(cid:0) (cid:0)
5 eV/K
ượ ả Trong đó EG = năng l ng gi ằ ẫ i phóng bán d n tính b ng
eV (electron Vôn) ố ệ ộ ệ ố ằ k = h ng s Boltzmann, 8.62 × 10 T = nhi t đ tuy t đ i, K
Ậ
Ả
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
10
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
31
ố ụ ộ ố , 1.08 × 10
ớ B = tham s ph thu c vào nguyên t K3.cm6 v i Si.
ượ ả ượ ỏ ng nh nh t đ ấ ể EG là năng l Năng l ng gi i phóng
ậ ẽ ả ế ỡ ị phá v liên k t hoá tr , do v y s gi i phóng các electron đ
ệ ả ệ ị ủ ượ ẫ d n đi n. B ng 2.3 li t kê các giá tr c a năng l ng gi ể ả i
ủ ấ ẫ ề phóng c a nhi u ch t bán d n.
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
11
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
Ả B NG 2.3
ẫ ấ ả i Ch t bán d n
ượ ng gi Năng l phóng EG (eV)
(kim 5.47
Cácbon ươ c ng) Silic Germani Thi cế Gali asenic Gali nit rítơ ố Indi ph tphua 1.12 0.66 0.082 1.42 3.49 1.35
Ậ
Ả
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
12
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
Bo nit rítơ Silic cácbua Cátmi selenic 7.50 3.26 1.70
ậ ộ ẫ ể M t đ electron d n đi n do ) đ ệ (ho c t
ể ượ ớ ằ b ng bi u t ng n (electron/cm
ậ ề ậ ế n = ni. Thu t ng
ấ ặ ộ ủ ậ ệ ễ ặ ự ượ c bi u di n 3), và v i ch t nguyên ch t ấ ấ ữ nguyên ch tấ đ c p đ n các tính ch t ấ ấ ni là m t tính ch t chung c a v t li u nguyên ch t. M c dù
ủ ừ ụ ư ẫ ấ ộ bên trong c a t ng ch t bán d n, nh ng nó ph thu c vào
nhi ệ ộ t đ .
Ậ
Ả
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
13
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ộ ạ ứ ượ ạ ệ M t h t mang đi n th hai cũng đ ế c t o ra khi liên k t
ị ị ệ ỡ
ẽ ể ạ ế ỏ ị ộ hoá tr b phá v . Khi m t electron có đi n tích – 1.602 × 1019C tách ra kh i liên k t hoá tr , nó s đ l ằ q b ng – ộ i m t
ậ ủ ấ ế ỗ ố trong c u trúc liên k t trong lân c n c a nguyên t ử tr ng l
ẹ ỗ ố ệ ụ ệ silic m . L tr ng có đi n tích hi u d ng là + q.
ộ ừ ể ấ ế ạ M t electron t liên k t bên c nh có th l p vào l ỗ
ộ ỗ ố ớ ở ị ạ ố tr ng này, và t o ra m t l tr ng m i
ỗ ố ị ể trình này cho phép l ể tr ng d ch chuy n qua tinh th . L v trí khác. Quá ỗ
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
14
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ộ ạ ư ệ ể ố ị tr ng d ch chuy n nh là m t h t có đi n tích + q. M t đậ ộ
3).
ỗ ố ượ ể ễ ằ l tr ng đ c bi u di n b ng ch /cmỗ ữ p (l
ư ậ ệ ạ ượ ạ ộ Nh v y, hai h t đi n tích đ ế c t o ra khi m t liên k t
ộ ỗ ố ộ ỡ ị b phá v : m t electron và m t l tr ng.
ớ n = ni = p V i silic (2.2.2)
2 in
ủ ỗ ố và tích c a electron và l tr ng là (2.2.3)
pn (cid:0) ấ
2.3 có khi ch t bán d n Tích pn trong công th c 2.ứ ẫ ở tr ngạ
ằ ả ấ ế ọ ệ . (K t qu r t quan tr ng này đ ượ c thái cân b ng nhi t
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
15
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ạ ằ ệ dùng sau này). Trong tr ng thái cân b ng nhi ấ t, các tính ch t
ụ ỉ ệ ộ ủ ộ ộ ch ph thu c vào nhi
ố ươ nhân t kích thích khác. Ph ị t đ T, không ch u tác đ ng c a các 2.3 không áp d ngụ ng trình 2.
ạ ộ ẫ ế cho các bán d n ho t đ ng n u có các kích thích bên ngoài
ư nh dòng, áp hay quang.
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
16
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ị
ở
ệ ộ
Tính giá tr theo lý thuy t
ủ ế ni c a silicon
nhi
t đ tiêu
chu n.ẩ
Ụ Ấ Ạ Ệ VÍ D 2.1 TÍNH H T MANG ĐI N NGUYÊN CH T
Ề
ệ ộ
ở
nhi
Đ BÀI:
Ờ
ữ ệ
t đ phòng(300K). ươ
ng trình
L I GI I
Tính giá tr ị ni c a silicon ủ Ả : D li u và thông tin đã bi
ế Ph t:
ị
ả
2.2.1 xác đ nh
ni, B, và k. EG = 1.12 eV theo b ng 2.3.
ậ ộ ạ
ế : m t đ h t mang đi n
ệ ni.
ư Ch a bi
t
ươ
ươ
: Tính ni theo ph
ng trình 2.
2.1.
Ph
ng pháp
Ậ
Ả
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
17
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ả
ở
ệ ộ
ế : T = 300K
nhi
t đ phòng.
Gi
thi
t
Phân tích:
31
3
6
K
K
08.1
10
(
cm .
)(
300
)
exp
2 ni
12.1 5 eV
K
eV K /
62.8(
10
)(
300
)
19
6
(cid:0) (cid:0) (cid:0) (cid:0) (cid:0) (cid:0) (cid:0) (cid:0) (cid:0) (cid:0) (cid:0) (cid:0) (cid:0)
hay ni = 6.73 × 109/cm3
(cid:0) (cid:0)
cm
52.4
10
/
ả ể ơ ả ni ậ Đ đ n gi n, trong các phép tính sau, ta dùng
2 ni Th o lu n: = 1010/cm3 ử
ở ệ ộ ố nhi
ướ ể ả nguyên t ộ ủ ớ ậ t đ phòng đ i v i silic. M t đ c a 22/cm3. Từ i tinh th kho ng 5 × 10 silic trong l
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
18
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ấ ở ụ ệ ộ ví d này chúng ta th y nhi ộ t đ phòng m t liên k t b ế ị
13.
ỡ ở phá v ả kho ng 10
Ậ
Ả
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
19
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ự ị
ể
ệ
ấ
ị
2.3 Dòng đi n d ch và s d ch chuy n trong ch t bán
d nẫ
ệ ị
Dòng đi n d ch ệ ả ủ ệ Đi n tr su t ở ấ ρ và ngh ch đ o c a nó ị ấ σ ẫ đi n d n su t
ả ậ ẫ ệ ệ ườ mô t dòng đi n trong v t d n khi có đi n tr ng.
ể ệ ệ ạ ườ ị Các h t mang đi n d ch chuy n theo đi n tr ạ ng và t o
ọ ị ệ dòng đi n d ch ệ ra dòng đi n g i là .
ậ ộ ệ ị ượ ị c đ nh nghĩa là: j đ M t đ dòng đi n d ch
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
20
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
(2.3.1) j = Qv (C/cm3)(cm/s) = A/cm2
trong đó
ệ ệ ằ ng đi n tích đo b ng j = m t đ dòng đi n d ch, l
ộ ượ ệ t di n. ệ ng đi n tích trong m t dung
ượ l
ệ ệ ườ ậ ộ ị ộ ế ộ ể Ampe chuy n đ ng qua m t ti ượ ậ ộ ệ Q = m t đ đi n tích, l ị ơ ng đ n v . ậ ố v = v n t c đi n tích trong đi n tr ng.
Ậ
Ả
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
21
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ị S ự d ch
ế ằ ệ ẽ ể ạ chuy nể Chúng ta bi ộ t r ng các h t mang đi n s chuy n đ ng
ướ ườ ệ ừ ự ộ theo h ng trong tr ng đi n t ể . S chuy n đ ng này
ượ ọ ệ ể ị ượ ọ đ c g i là d ch chuy n, và dòng đi n này đ c g i là dòng
ệ ệ ạ ị ươ ị ể đi n d ch. Các h t mang đi n d
ướ ủ ệ ườ ệ h ng c a đi n tr ạ ng, trong khi các h t mang đi n âm l ng d ch chuy n theo ạ i
ướ ượ ạ ớ ệ ườ ể ị d ch chuy n theo h ng ng i v i đi n tr c l ng.
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
22
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ườ ộ ị ủ ể ấ ạ ố Trong tr ng th p, t c đ d ch chuy n c a h t mang
ỉ ệ ớ ệ ệ ằ đi n v (cm/s) t l v i đi n tr ố ỉ ệ ng ườ E (V/cm), h ng s t l
ượ ọ ệ ố ị đ c g i là ể μ: h s d ch chuy n
(2.3.2)
ố ộ ỗ ố ệ ố ị ể ủ , 1350 cm2/Vs v iớ vn = –μnE và vp = μpE ố ộ ủ trong đó vn = t c đ c a electron (cm/s) vp = t c đ l tr ng (cm/s) μn = h s d ch chuy n c a electron
Si
ệ ố ị ể ủ ỗ ố , 500 cm2/Vs v iớ μp = h s d ch chuy n c a l tr ng
Si.
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
23
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ế ỗ ố ể ấ ị Trên lý thuy t, các l tr ng d ch chuy n qua c u trúc liên
ể ự ư ị ị ế k t hoá tr , nh ng các electron d ch chuy n t
ể ậ ườ ủ ỗ ố ể ị tinh th . Do v y th ng chuy n d ch c a l do qua các ơ tr ng ít h n
ủ ể ị chuy n d ch c a electron.
ẫ
ấ
ấ
ạ
2.4 Pha t p ch t trong ch t bán d n
ấ ạ ậ Thu t ng (doped ấ ữ ch t bán d n pha t p ch t ẫ
semiconductor).
Ậ
Ả
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
24
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ệ ệ ấ ạ ổ ở ấ Vi c pha t p ch t cho phép thay đ i đi n tr
ấ ộ ả ị ượ ỗ ố kho ng r t r ng và xác đ nh đ c electron hay l su t trong ẽ tr ng s
ể ượ ề ở ấ ệ đi u khi n đ c đi n tr su t.
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
25
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ạ ấ
T p ch t cho trong silic ấ ạ ằ ộ trong silic n m trong c t V, có năm T p ch t cho
ị ở ớ electron hoá tr l p ngoài cùng.
ượ ấ ố Các nguyên t ố ườ th ng đ c dùng nh t là ph t pho, asen
và antimon.
Ậ
Ả
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
26
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
27
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ộ
ẵ
ừ
ử
Hình 2.4.1 M t electron s n có t
nguyên t
ố cho ph t
pho
ộ ử ế ử Khi m t nguyên t cho thay th nguyên t silic trong
ướ ể ố l ư i tinh th , nh trong hình 2. 4.1, thì b n trong năm
ở ớ ấ ẽ ấ ế electron
ị ẽ ấ ấ ệ ể ả tr , s m t r t ít nhi i phóng thêm electron đ t năng đ gi
ử ẽ ằ ệ ỗ cho s iôn hoá b ng cách t ẫ d n đi n. M i nguyên t
ệ ẽ ổ ộ l p ngoài cùng s l p vào c u trúc liên k t hoá ể ự ỏ b ễ ể q và bi u di n ộ m t electron s có m t đi n tích t ng là +
ố ị ệ ộ ướ m t đi n tích c đ nh trong l ể i tinh th .
Ậ
Ả
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
28
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ấ ạ ậ T p ch t nh n trong silic
Ậ
Ả
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
29
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ỗ ố ế ị Hình 2.4.2 a) ch tr ng liên k t hoá tr do nguyên t ử
ỗ ố ậ ượ ạ nh n Bo, b) L tr ng đ c t o sau khi nguyên t ử Bo
ậ nh n electron,
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
30
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ỗ ố ể ị ướ c) L tr ng d ch chuy n trong l i silic.
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
31
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ạ ấ ằ ộ ậ trong silic n m trong c t III và có ít Các t p ch t nh n
ộ ớ ở ớ ạ ơ h n m t electron so v i silic ấ l p ngoài cùng. T p ch t
ơ ả ạ ậ ư nh n c b n là Bo, nh minh ho trong hình 2.
ẽ ộ ỉ ở ớ ch có ba electron
4.2a. Do Bo ỗ ố l p ngoài cùng, nên s có m t ch tr ng ị ễ ế ầ ộ ấ trong c u trúc liên k t. M t electron g n đó d dàng d ch
ỗ ố ỗ ố ộ ở ấ ạ vào ch tr ng này và t o m t ch tr ng khác c u trúc liên
ỗ ố ộ ỗ ố ể ể ễ ị ế k t. Ch tr ng d ch chuy n này bi u di n m t l tr ng có
ể ị ể ướ ư ượ th d ch chuy n trong l i, nh đ
ỗ ố ể ơ ả ượ 2.4.2 b và c, và l tr ng có th đ n gi n đ ạ c minh ho trong hình ư ộ c coi nh m t
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
32
Ệ Ử Ạ
Ắ
BÀI 2. ĐI N T TR NG THÁI R N
ỗ ử ạ ấ ượ ệ ạ h t có đi n tích + q. M i nguyên t t p ch t đ c iôn hoá
ệ ậ ổ ằ b ng cách nh n electron có đi n tích t ng là – q và không
ướ ư ể ị d ch chuy n trong l i, nh trong hình 2. 4.2 b.
Ả
Ậ
Ỹ
Ệ Ử BÀI GI NG K THU T ĐI N T
33