
TR NG Đ I H C KHOA H C T NHIÊN TP H CHÍ MINHƯỜ Ạ Ọ Ọ Ự Ồ
KHOA V T LÝẬ
B MÔN V T LÝ NG D NGỘ Ậ Ứ Ụ
SEMINAR:
PHÁT X L NH(KÍNH HI N VI STM)Ạ Ạ Ể
GVHD: PGS.TS LÊ VĂN HI UẾ
H c viên: HOÀNG VĂN ANHọ

Th c m c xin liên h : ắ ắ ệ
thanhlam1910_2006@yahoo.com


KÍNH HI N VI ĐI N T XUYÊN H M Ể Ệ Ử Ầ
(STM)
1.NGUYÊN LÝ HO T Đ NGẠ Ộ
2.C U T O C A STMẤ Ạ Ủ
•H c khíệ ơ
•H ch ng rungệ ố
•H đi u khi n ph n h iệ ề ể ả ồ
•Đ u dò STMầ
3. NG D NGỨ Ụ

L ch sị ử
Kính hiển vi điện tử xuyên hầm được phát triển tại
IBM Zürich năm 1981 bởi Gerd Binning và Heinrich
Rohrer và sau đó hai người đoạt giải Nobel vật lý
năm 1986 do phát minh ra kính hiển vi này.
Gerd Binning Heinrich Rohrer

