ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ
Bùi Thanh Tuấn
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO CẢM BIẾN QUANG TỬ
NANO ỨNG DỤNG XÁC ĐỊNH NỒNG ĐỘ DUNG
MÔI HỮU CƠ PHA HƠI
KHÓA LUẬN TỐT NGHIỆP ĐẠI HỌC HỆ CHÍNH QUY
Ngành: Vật lý kỹ thuật
HÀ NỘI - 2015
ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ
Bùi Thanh Tuấn
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO CẢM BIẾN QUANG TỬ
NANO ỨNG DỤNG XÁC ĐỊNH NỒNG ĐỘ DUNG
MÔI HỮU CƠ PHA HƠI
KHÓA LUẬN TỐT NGHIỆP ĐẠI HỌC HỆ CHÍNH QUY
Ngành: Vật lý kỹ thuật
Cán bộ hướng dẫn: Th.S Nguyễn Thúy Vân
Cán bộ đồng hướng dẫn: PGS.TS Bùi Huy
HÀ NỘI - 2015
LỜI CẢM ƠN
Em xin gửi lời cảm ơn sâu sắc tới cô và thầy hướng dẫn khoa học là Th.S Nguyễn
Thúy Vân và PGS.TS Bùi Huy đã tận tình hướng dẫn và tạo điều kiện thuận lợi cho em
trong quá trình thực hiện khóa luận tốt nghiệp.
Em cũng xin chân thành cảm ơn các anh, chị đang công tác tại phòng Vật liệu và
Ứng dụng Quang sợi, Viện Khoa học Vật liệu, Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ
Việt Nam đã giúp đỡ em tận tình trong quá trình làm thực nghiệm.
Qua khóa luận này, em xin được bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc với các thầy cô trong
khoa Vật lý Kỹ thuật và Công nghệ nano, trường Đại học Công nghệ (Đại học Quốc gia
Hà Nội); và đặc biệt là các thầy cô trong chuyên ngành Công nghệ Quang tử đã trang bị
cho em những kiến thức quý báu trong quá trình học tập, nghiên cứu để hoàn thành khóa
luận này.
Cảm ơn tập thể lớp K56V, khoa Vật lý kỹ thuật và Công nghệ nano đã luôn động
viện, giúp đỡ em trong suốt thời gian qua.
Cuối cùng, em xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc đối với gia đình, bạn bè và người thân
đã luôn động viên, tạo mọi điều kiện tốt nhất cho em học tập và nghiên cứu.
Em xin chân thành cảm ơn!
Hà Nội, ngày 7 tháng 5 năm 2015.
Sinh viên
Bùi Thanh Tuấn
TÓM TẮT
Tóm tắt: Khóa luận trình bày phương pháp chế tạo cảm biến pha hơi sử dụng buồng vi cộng
hưởng 1D dựa trên cơ sở màng đa lớp silic xốp và ứng dụng để xác định nồng độ một số loại
dung môi hữu cơ hòa tan trong nước với các nồng độ khác nhau. Trong phép đo này, nhiệt độ
của dung dịch cần nghiên cứu và tốc độ dòng khí chảy qua bình chứa dung dịch được sử dụng
như những tham số nhằm kiểm soát các đáp ứng của cảm biến đối với những hỗn hợp hữu cơ
khác nhau. Việc gia tăng nhiệt độ dung dịch cũng như thông lượng dòng khí đã tạo ra một sự gia
tăng mạnh mẽ về độ dịch chuyển của bước sóng cộng hưởng của buồng vi cộng hưởng. Sự gia
tăng này cho phép xác định chính xác nồng độ dung môi trong một dải nồng độ thấp. Những ảnh
hưởng khác nhau của nhiệt độ và vận tốc dòng khí lên đặc trưng của cảm biến đã được mô tả chi
tiết trong khóa luận. Điều này tạo nên sự khác biệt và cũng chính là ưu điểm của phương pháp
được trình bày so với các phương pháp khác khi sử dụng buồng vi cộng hưởng.
Từ khóa: silic xốp (porous silicon), buồng vi cộng hưởng (cavity), cảm biến pha hơi (vapor
sensors).
LỜI CAM ĐOAN
Tôi xin cam đoan: nội dung trong bản khóa luận tốt nghiệp này là công trình nghiên
cứu của tôi, được thực hiện dưới sự hướng dẫn của Th.S Nguyễn Thúy Vân và PGS.TS
Bùi Huy.
Tất cả các số liệu, bảng biểu là hoàn toàn trung thực. Nội dung tham khảo đều được
trích dẫn rõ ràng về nguồn gốc và được nêu ở phần phụ lục.
Một lần nữa, tôi xin khẳng định về sự trung thực của lời cam đoan trên.
Hà Nội, ngày 7 tháng 5 năm 2015
Sinh viên thực hiện
Bùi Thanh Tuấn