
HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT CHUI HẦM
(SCANNING TUNNELING MICROSCOPE)

STM LÀ GÌ???
Đ c phát minh năm 1981 và ượ
hai nhà phát minh ra thi t b này ế ị
là Gerd Binnig và Heinrich
Rohrer (đã giành gi i Nobel ả
V t lý năm 1986ậ
Là kính hi n vi quét chui ể
ng m ,đ c s d ng đ quan ầ ượ ử ụ ể
sát hình thái h c b m t c a ọ ề ặ ủ
v t r n (kim lo i, ch t bán ậ ắ ạ ấ
d n) c p đ nguyên tẫ ở ấ ộ ử

NGUYÊN LÝ
HO T Đ NGẠ Ộ
C A STMỦ
STM s d ng m t mũi dò nh n mà đ u c a mũi dò có kích ử ụ ộ ọ ầ ủ
th c là m t nguyên t , quét r t g n b m t m u. Khi đ u dò ướ ộ ử ấ ầ ề ặ ẫ ầ
đ c quét trên b m t m u, s xu t hi n các đi n t di ượ ề ặ ẫ ẽ ấ ệ ệ ử
chuy n t b m t m u sang mũi dò do hi u ng chui ng m ể ừ ề ặ ẫ ệ ứ ầ
l ng t và vi c ghi l i dòng chui ng m (do m t hi u đi n ượ ử ệ ạ ầ ộ ệ ệ
th đ t gi a mũi dò và m u) này s cho các thông tin v c u ế ặ ữ ẫ ẽ ề ấ
trúc b m t v i đ phân gi i c p đ ề ặ ớ ộ ả ở ấ ộ nguyên tử

C U T O CHÍNH MÁY STMẤ Ạ
Đ U DÒẦ
B ÁP ĐI N:Ộ Ệ
+ B ĐI U KHI N Ộ Ề Ể
QUÉT XY
+ B ĐI U KHI N Ộ Ề Ể
H I TI PỒ Ế
B PH N CH NG Ộ Ậ Ố
RUNG
MÁY TÍNH

Đ U DÒẦ