Trong các lĩnh vực công nghệ cao và kỹ thuật vật liệu hiện đại, Kỹ thuật chân không vật liệu mỏng là học phần cung cấp những kiến thức nền tảng về môi trường chân không, cơ chế hình thành lớp màng mỏng và các nguyên lý liên quan đến quá trình chế tạo vật liệu trên bề mặt. Đây là nhóm kiến thức có tính ứng dụng mạnh, xuất hiện trong nhiều công nghệ như vi điện tử, quang học và các hệ thống phủ bề mặt tiên tiến.