Trong lĩnh vực kỹ thuật vật liệu và công nghệ chế tạo, Kỹ thuật chân không vật liệu mỏng là học phần quan trọng giúp sinh viên tiếp cận các nguyên lý về môi trường chân không, quá trình hình thành lớp màng mỏng và các phương pháp chế tạo vật liệu có cấu trúc đặc biệt. Đây là nhóm kiến thức có tính ứng dụng cao trong công nghệ bán dẫn, quang học và nhiều lĩnh vực kỹ thuật hiện đại.