Trong chương trình đào tạo các ngành kỹ thuật vật liệu, cơ khí chính xác và công nghệ chế tạo, Kỹ thuật chân không vật liệu mỏng là học phần quan trọng giúp sinh viên nắm được nguyên lý tạo môi trường chân không, các phương pháp lắng đọng màng mỏng và đặc tính của vật liệu ở dạng lớp rất mỏng. Môn học này đóng vai trò nền tảng trong các ứng dụng như vi điện tử, cảm biến, lớp phủ bảo vệ và công nghệ nano.