Quang
Quang kh
khắ
ắc
c
Lê Tuấn
Đ
Đạ
ại
ih
họ
ọc
cB
Bá
ách
ch khoa
khoa H
Hà
àN
Nộ
ội
i
2
2
1/30/2006
1/30/2006 Đ
Đạ
ại h
i họ
ọc B
c Bá
ách khoa H
ch khoa Hà
àN
Nộ
ội
i
Quang
Quang kh
khắ
ắc
c
M
Mụ
ục
cđ
đí
ích:
ch:
Quang
Quang kh
khắ
ắc
cl
là
àcông
công đo
đoạ
ạn
nđ
độ
ộc
cl
lậ
ập
p,
, c
có
óvai
vai trò
trò quan
quan tr
trọ
ọng
ng b
bậ
ậc
cnh
nhấ
ất
ttrong
trong công
công ngh
nghệ
ệs
sả
ản
nxu
xuấ
ất
tc
cá
ác
c
m
mạ
ạch
ch vi
vi đi
điệ
ện
nt
tử
ử,
, nh
nhằ
ằm
mtruy
truyề
ền
nh
hì
ình
nh ả
ảnh
nh tô
tô pô
pô lên
lên phi
phiế
ến
nb
bá
án
nd
dẫ
ẫn
n,
, x
xá
ác
cđ
đị
ịnh
nh c
cá
ác
cv
vị
ịtr
trí
íthao
thao t
tá
ác
cti
tiế
ếp
p
theo
theo cho
cho h
hầ
ầu
uh
hế
ết
tc
cá
ác
cbư
bướ
ớc
ccông
công ngh
nghệ
ệ.
.
Kho
Khoả
ảng
ng 35 %
35 % gi
giá
áth
thà
ành
nh s
sả
ản
nxu
xuấ
ất
tchip
chip đư
đượ
ợc
cchi
chi ph
phí
ícho
cho c
cá
ác
ccông
công đo
đoạ
ạn
nquang
quang kh
khắ
ắc
c.
.
Quang kh
Quang khắ
ắc đư
c đượ
ợc chia th
c chia thà
ành 3
nh 3 giai đo
giai đoạ
ạn:
n:
Thi
Thiế
ết
tk
kế
ếm
mặ
ặt
tn
nạ
ạ
T
Tạ
ạo
om
mặ
ặt
tn
nạ
ạ
Truy
Truyề
ền
n ả
ảnh t
nh từ
ừm
mặ
ặt n
t nạ
ạ lên đ
lên đế
ế
3
3
1/30/2006
1/30/2006 Đ
Đạ
ại h
i họ
ọc B
c Bá
ách khoa H
ch khoa Hà
àN
Nộ
ội
i
Quang
Quang kh
khắ
ắc
c(
(ti
tiế
ếp
p)
)
Giai đo
Giai đoạ
ạn cu
n cuố
ối quan tr
i quan trọ
ọng nh
ng nhấ
ất đư
t đượ
ợc tr
c trì
ình b
nh bà
ày theo 3 ph
y theo 3 phầ
ần sau:
n sau:
a)
a) H
Hệ
ệth
thố
ống ngu
ng nguồ
ồn b
n bứ
ức x
c xạ
ạ(quang h
(quang họ
ọc,
c, UV, t
UV, tia X,
ia X, tia đi
tia điệ
ện t
n tử
ử, v.v
, v.v…
…)
)
b)
b) H
Hệ
ệth
thố
ống truy
ng truyề
ền
n ả
ảnh lên m
nh lên mẫ
ẫu b
u bá
án d
n dẫ
ẫn
n
c)
c) C
Cá
ác ch
c chấ
ất c
t cả
ảm quang
m quang
C
Cá
ác n
c nộ
ội dung v
i dung về
ềquang kh
quang khắ
ắc s
c sẽ
ẽ đư
đượ
ợc tr
c trì
ình b
nh bà
ày ti
y tiế
ếp theo ba ph
p theo ba phầ
ần trên
n trên
4
4
1/30/2006
1/30/2006 Đ
Đạ
ại h
i họ
ọc B
c Bá
ách khoa H
ch khoa Hà
àN
Nộ
ội
i
Quang
Quang kh
khắ
ắc
c(
(ti
tiế
ếp
p)
)
A
A–
–H
Hệ
ệth
thố
ống
ng ngu
nguồ
ồn
nb
bứ
ức
cx
xạ
ạ
L
Là
àh
hệ
ệth
thố
ống
ng t
tạ
ạo
ora
ra ngu
nguồ
ồn
nb
bứ
ức
cx
xạ
ạc
cầ
ần
nthi
thiế
ết
tv
và
àđi
điề
ều
ukhi
khiể
ển
n,
, bi
biế
ến
nđ
đổ
ổi
ib
bứ
ức
cx
xạ
ạđ
đó
óth
thí
ích
ch
h
hợ
ợp
pcho
cho vi
việ
ệc
cchi
chiế
ếu
uv
và
ào
om
mẫ
ẫu
us
sả
ản
nxu
xuấ
ất
t.
.
B
Bứ
ức
cx
xạ
ạđư
đượ
ợc
cs
sử
ửd
dụ
ụng
ng hi
hiệ
ện
nnay
nay trong
trong s
sả
ản
nxu
xuấ
ất
tv
và
ànghiên
nghiên c
cứ
ứu
uch
chế
ết
tạ
ạo
om
mạ
ạch
ch IC
IC c
có
ó
bư
bướ
ớc
cs
só
óng
ng n
nằ
ằm
mtrong
trong v
vù
ùng
ng nh
nhì
ìn
nth
thấ
ấy
y, UV,
, UV, tia
tia X,
X, tia
tia đi
điệ
ện
nt
tử
ử.
.
Vi
Việ
ệc
cgi
giả
ảm
mk
kí
ích
ch thư
thướ
ớc
cđ
đặ
ặc
ctrưng
trưng c
củ
ủa
aIC
IC đòi
đòi h
hỏ
ỏi
iph
phả
ải
id
dù
ùng
ng c
cá
ác
cb
bứ
ức
cx
xạ
ạv
vớ
ới
ibư
bướ
ớc
c
s
só
óng
ng λ
λng
ngắ
ắn
nhơn
hơn. Hi
. Hiệ
ện tư
n tượ
ợng nhi
ng nhiễ
ễu x
u xạ
ạ đ
đó
óng vai trò quan tr
ng vai trò quan trọ
ọng khi
ng khi λ
λgi
giả
ảm.
m.
Ngu
Nguồ
ồn
ns
sá
áng
ng thông
thông d
dụ
ụng
ng trong
trong công
công nghi
nghiệ
ệp
phi
hiệ
ện
nnay
nay l
là
àđ
đè
èn
nhơi
hơith
thủ
ủy
yngân
ngân,
, v
vớ
ới
i
c
cá
ác
cv
vạ
ạch
ch đơn
đơnsăc
săcλ
λg
g= 463 nm (
= 463 nm (g
g-
-line
line)
) v
và
àλ
λi
i= 365 nm (
= 365 nm (i
i-
-line
line),
), d
dù
ùng
ng trong
trong c
cá
ác
c
công
công ngh
nghệ
ệIC
IC v
vớ
ới
ichi
chiề
ều
ud
dà
ài
ikênh
kênh d
dẫ
ẫn
n500
500 v
và
à350 nm,
350 nm, tương
tương ứ
ứng
ng.
.
Ngu
Nguồ
ồn
nc
có
ócư
cườ
ờng
ng đ
độ
ộm
mạ
ạnh
nh nh
nhấ
ất
ttrong
trong v
vù
ùng
ng ph
phổ
ổUV
UV l
là
àlaser
laser m
mà
àu
utrên
trên cơ
cơs
sở
ởKr
Kr
(
(KrF
KrF c
có
óλ
λKr
Kr = 248 nm
= 248 nm –
–cho
cho công
công ngh
nghệ
ệ0,25
0,25 µm)
m) v
và
àAr
Ar (
(ArF
ArF c
có
óλ
λArF
ArF = 193 nm)
= 193 nm)
năng
năng lư
lượ
ợng
ng
Kr + NF
Kr + NF3
3----------------------
----------------------→
→KrF
KrF + photon
+ photon ph
phá
át
tx
xạ
ạ
T
Tấ
ất
tnhiên
nhiên,
, ph
phả
ải
ic
có
óc
cá
ác
ch
hệ
ệth
thố
ống
ng truy
truyề
ền
nả
ảnh
nh lên
lên m
mẫ
ẫu
uv
và
àch
chấ
ất
tc
cả
ảm
mquang
quang th
thí
ích
ch h
hợ
ợp
p
v
vớ
ới
it
từ
ừng
ng lo
loạ
ại
ib
bứ
ức
cx
xạ
ạ(
(t
tứ
ức
cl
là
àph
phù
ùh
hợ
ợp
pv
vớ
ới
it
từ
ừng
ng bư
bướ
ớc
cs
só
óng
ng).
).
5
5
1/30/2006
1/30/2006 Đ
Đạ
ại h
i họ
ọc B
c Bá
ách khoa H
ch khoa Hà
àN
Nộ
ội
i
Quang
Quang kh
khắ
ắc
c(
(ti
tiế
ếp
p)
)
Ngu
Nguồ
ồn laser m
n laser mà
àu
u
Laser m
Laser mầ
ầu không c
u không có
ót
tí
ính đơn s
nh đơn sắ
ắc cao như laser Ar
c cao như laser Ar
(kho
(khoả
ảng bi
ng biế
ến thiên bư
n thiên bướ
ớc s
c só
óng ~ 1 nm so v
ng ~ 1 nm so vớ
ới <
i < 0
0,0001
,0001 nm),
nm),
nhưng th
nhưng thí
ích h
ch hợ
ợp l
p là
àm ngu
m nguồ
ồn s
n sá
áng cho quang kh
ng cho quang khắ
ắc.
c.
C
Cá
ác laser m
c laser mà
àu còn đư
u còn đượ
ợc bơm b
c bơm bở
ởi đ
i đè
èn halogen
n halogen á
áp su
p suấ
ất
t
cao nên c
cao nên có
óm
mậ
ật đ
t độ
ộcông su
công suấ
ất l
t lớ
ớn (t
n (tớ
ới 10 kW/cm
i 10 kW/cm2
2) nên d
) nên dễ
ễ
l
là
àm hư h
m hư hạ
ại c
i cá
ác th
c thấ
ấu k
u kí
ính v
nh và
à do đ
do đó
ó,
, tăng đ
tăng độ
ộm
mé
éo c
o củ
ủa
a ả
ảnh.
nh.
Gi
Giớ
ới h
i hạ
ạn thay th
n thay thấ
ấu k
u kí
ính l
nh là
à10
109
9 xung
xung. N
. Ngư
gườ
ời ta còn thay ch
i ta còn thay chấ
ất
t
li
liệ
ệu l
u là
àm th
m thấ
ấu k
u kí
ính t
nh từ
ừSiO
SiO2
2sang CaF
sang CaF2
2 hay MgF
hay MgF2
2,
, đ
đặ
ặc bi
c biệ
ệt
t
cho c
cho cá
ác b
c bứ
ức x
c xạ
ạlaser 157 nm.
Vật liệuBước sóng
(nm)
Công suất cực
đại (mJ/xung)
Tần số
(sốxung/giây)
F2157 40 500
ArF 193 10 2000
KrF 248 10 2000
laser 157 nm.