Thuyết trình: Màng mỏng nhạy khí – Gas Sensor thin film

Seminar: Màng mỏng nhạy khí – Gas Sensor thin film<br /> GVHD: PGS-TS LÊ VĂN HIẾU HVCH: NGUYỄN HOÀNG HUYNH TRỊNH THANH THỦY VŨ THỊ PHƯƠNG HIẾU<br /> <br /> Nội dung trình bày<br /> 1. 2. 3. 4. 5.<br /> <br /> Giới thiệu Các loại sensor Đặc điểm tính chất của sensor Các phương pháp cải thiện tính chất sensor Phương pháp khảo cứu đặc tính của sensor<br />  <br /> <br /> Phân tích cấu trúc Khảo sát tính chất nhạy khí<br /> <br /> 6.<br /> <br /> Các ứng dụng<br /> <br /> Phương pháp khảo cứu đặc tính của sensor<br /> 1.<br />   <br /> <br /> Các phương pháp phân tích cấu trúc<br /> Nhiễu xạ tia X Hiển vi điện tử quét (SEM) Hiển Vi lực nguyên tử (AFM)<br /> <br /> 2.<br />  <br /> <br /> Các phương pháp khảo sát tính chất sensor<br /> Phân tích bão hòa Phân tích giới hạn xác định giảm dần (LEL)<br /> <br /> Các phương pháp phân tích cấu trúc<br /> 1. Nhiễu xạ tia X<br /> <br /> Được dùng để:  Cấu trúc của màng  Kích thước trung bình của các hạt tinh thể  Sự định hướng của tinh thể<br /> <br /> Các phương pháp phân tích cấu trúc<br /> <br />