Seminar:
Màng mỏng nhạy khí – Gas
Sensor thin film
GVHD: PGS-TS LÊ VĂN HIẾU
HVCH: NGUYỄN HOÀNG HUYNH
TRỊNH THANH THỦY
VŨTHỊ PHƯƠNG HIẾU
Nội dung trình bày
1. Giới thiệu
2. Các loại sensor
3. Đặcđiểm tính chất của sensor
4. Các phương pháp cải thiện tính chất sensor
5. Phương pháp khảo cứuđặc tính của
sensor
Phân tích cấu trúc
Khảo sát tính chất nhạy khí
6. Các ứng dụng
Phương pháp khảo cứuđặc tính của sensor
1. Các phương pháp phân tích cấu trúc
Nhiễu xạtia X
Hiển vi điện tửquét (SEM)
Hiển Vi lực nguyên tử(AFM)
2. Các phương pháp khảo sát tính chất sensor
Phân tích bão hòa
Phân tích giới hạn xác định giảm dần (LEL)
Các phương pháp phân tích cấu trúc
1. Nhiễu xạtia X
Được dùng để:
Cấu trúc của màng
Kích thước trung bình của các hạt tinh
thể
Sự định hướng của tinh thể
Các phương pháp phân tích cấu trúc