Chương 3: Epitaxy và làm sạch phiến
PGS.TS. Nguyễn Công Tú
Học kỳ 20231
1
Lớp epitaxy trong transistor lưỡng cực
2
Nội dung
•Giới thiệu phương pháp epitaxy,
các cấu trúc, sai hỏng của màng
mỏng epitaxy
•Làm sạch bề mặt đế/phiến
•Epitaxy pha hơi
•Epitaxy pha lỏng
•Epitaxy chùm phân tử
•Màng silic trên đế cách điện (SOI)
3
Epitaxy là gì?
•Epitaxy có nguồn gốc từ tiếng Hy lạp cổ:
- Epi: upon (ở trên)
- Taxis: ordered (có trật tự)
•Epitaxial growth:
-Tạo lên trên bề mặt vật liệu (đế) một hay nhiều lớp đơn tinh thể vật
liệu mới có độ dẫn, loại hạt dẫn xác định, có cấu trúc và hướng tinh thể
nối tiếp cấu trúc vật liệu đế.
-Là lớp phân biên giữa màng mỏng và đế
-Có thể hình thành từ pha lỏng hoặc pha hơi và bằng chùm phân tử
4
https://www.quora.com/
Phân loại Epitaxy
•Đồng chất (Homoepitaxy) – cả đơn tinh thể đế và màng mỏng epitaxy tạo
thành đều cùng loại vật liệu. Ví dụ như tạo màng đơn tinh thể Si trên đế Si
•Dị chất (Heteroepitaxy) – màng epitaxy chế tạo trên đế là các vật liệu khác
với vật liệu tạo màng cả về hướng cũng như cấu trúc mạng. Ví dụ tạo
màng Si(001) cấu trúc kim cương trên đế Sapphire
5
https://www.quora.com/