Ph
Phú
ún x
n xạ
ạ
Lê Tuấn
Đại học Bách khoa Hà Nội
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version - http://www.simpopdf.com
2
2
2/2/2006
2/2/2006 Đ
Đạ
ại h
i họ
ọc B
c Bá
ách khoa H
ch khoa Hà
àN
Nộ
ội
i
Ph
Phú
ún x
n xạ
ạ(ti
(tiế
ếp)
p)
Sơ đồhệthống thiết bịphún xạ
Bia
Nước
làm lạnh
Mâm đỡ
bằng Cu Nguyên tử
phún xạ
Nguyên tử
Ar nhanh
Đếbán dẫn
Nguyên tử
phún xạ
ngược
Súng ion
Plasma Ar
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version - http://www.simpopdf.com
3
3
2/2/2006
2/2/2006 Đ
Đạ
ại h
i họ
ọc B
c Bá
ách khoa H
ch khoa Hà
àN
Nộ
ội
i
Ph
Phú
ún x
n xạ
ạ(ti
(tiế
ếp)
p)
Sơ đ
Sơ đồ
ồb
bố
ốtr
trí
íc
cá
ác b
c bộ
ộph
phậ
ận thi
n thiế
ết b
t bị
ịph
phú
ún x
n xạ
ạ
Khí
vào
Bơm chân
không
Nguồn
điện
Bia
Phiến
bán dẫn
Đế
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version - http://www.simpopdf.com
4
4
2/2/2006
2/2/2006 Đ
Đạ
ại h
i họ
ọc B
c Bá
ách khoa H
ch khoa Hà
àN
Nộ
ội
i
Ph
Phú
ún x
n xạ
ạ(ti
(tiế
ếp)
p)
Cơ ch
Cơ chế
ếth
thự
ực hi
c hiệ
ện qu
n quá
átr
trì
ình ph
nh phú
ún x
n xạ
ạ
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version - http://www.simpopdf.com
5
5
2/2/2006
2/2/2006 Đ
Đạ
ại h
i họ
ọc B
c Bá
ách khoa H
ch khoa Hà
àN
Nộ
ội
i
Cơ ch
Cơ chế
ếth
thự
ực hi
c hiệ
ện qu
n quá
átr
trì
ình ph
nh phú
ún x
n xạ
ạ(ti
(tiế
ếp)
p)
Ph
Phú
ún x
n xạ
ạ(ti
(tiế
ếp)
p)
1. Nguyên t
1. Nguyên tử
ửkh
khí
íAr b
Ar bị
ịphân ly do ion h
phân ly do ion hó
óa
a
Ar
Ar →
→Ar
Ar+
++ e
+ e-
-
2.
2. Đi
Điệ
ện t
n tử
ử đư
đượ
ợc tăng t
c tăng tố
ốc nh
c nhờ
ờ đi
điệ
ện trư
n trườ
ờng.
ng.
Trong qu
Trong quá
átr
trì
ình chuy
nh chuyế
ến đ
n độ
ộng t
ng tớ
ới
i anode,
anode,
trên đư
trên đườ
ờng đi
ng đi, ch
, chú
úng ti
ng tiế
ếp t
p tụ
ục gây ra c
c gây ra cá
ác
c
phân ly nguyên t
phân ly nguyên tử
ửAr m
Ar mớ
ới
i.
.
3. C
3. Cá
ác ion đư
c ion đượ
ợc tăng t
c tăng tố
ốc c
c cũ
ũng b
ng bở
ởi đi
i điệ
ện
n
trư
trườ
ờng v
ng và
àchuy
chuyể
ển đ
n độ
ộng t
ng tớ
ới c
i cự
ực âm, va
c âm, va
ch
chạ
ạm v
m vớ
ới v
i vậ
ật li
t liệ
ệu bia, l
u bia, là
àm b
m bắ
ắn ra c
n ra cá
ác h
c hạ
ạt
t
v
vậ
ật li
t liệ
ệu bia v
u bia và
àc
cá
ác đi
c điệ
ện t
n tử
ửth
thứ
ức
cấ
ấp. C
p. Cá
ác
c
h
hạ
ạt v
t vậ
ật li
t liệ
ệu bia b
u bia bị
ịph
phú
ún x
n xạ
ạ ra khi đư
ra khi đượ
ợc
c
đưa t
đưa tớ
ới b
i bề
ềm
mặ
ặt c
t cá
ác phi
c phiế
ến đ
n đế
ếs
sẽ
ẽl
lắ
ắng
ng
đ
đọ
ọng v
ng và
àt
tạ
ạo ra m
o ra mà
àng m
ng mỏ
ỏng trên đ
ng trên đó
ó, còn
, còn
c
cá
ác đi
c điệ
ện t
n tử
ửth
thứ
ức
cấ
ấp khi đi t
p khi đi tớ
ới anode g
i anode gó
óp
p
ph
phầ
ần tăng cư
n tăng cườ
ờng qu
ng quá
átr
trì
ình ion h
nh ion hó
óa c
a cá
ác
c
nguyên t
nguyên tử
ửAr.
Cột
plasma
Ar.
Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version - http://www.simpopdf.com