Bài giảng Quang phổ nguyên tử và ứng dụng cung cấp cho các bạn những kiến thức về cấu tạo, nguyên lý hoạt động của phương pháp Stylus; ứng dụng của phương pháp Stylus đo độ dày mỏng (loại màng, Stylus tip và force tip, Parameters, ưu và nhược điểm).
AMBIENT/
Chủ đề:
Nội dung Text: Bài giảng Quang phổ nguyên tử và ứng dụng
- QUANG PHỔ NGUYÊN TỬ
VÀ ỨNG DỤNG
Thầy : TS. Lê Vũ Tuấn Hùng
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Thực hiện:
Trần Minh Đạo
Phạm Kim Ngọc
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
I. Cấu tạo
II. Nguyên lý hoạt động
III. Ứng dụng pp stylus đo độ dày màng mỏng:
a) Loại màng
b) Stylus tip và force tip
c) Parameters
d) Ưu và nhược điểm
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
CẤU TẠO
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG
LINEAR VARIABLE DIFFERENTIAL
TRANSFORMER
LVDT TÍN HIỆU AC
MẪU
CHUYỂN ĐỔI A/D
ĐẾ MÁY TÍNH
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
LINEAR VARIABLE DIFFERENTIAL TRANSFORMER
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
S S
P P A
S S
S S
S S P P
S S
P P
S S S S
P P
S S
S S
P P
S S
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Sóng Cùng tần số
Lớn hơn 10 mang
lần
x(t)
t Amplitude modulator
V(t)
t lọc Chỉnh lưu
Tín hiệu ra
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
ĐO ĐỘ DÀY MÀNG MỎNG
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Scan length
30µm to 30 mm
Tuỳ mẫu, tuỳ yêu cầu
100µm - 500µm thực tế???
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Scan speed
Khoảng cách quét - lực quét
Duration: 3 - 200sec
Data Points/Scan = 300 x Scan Duration(sec)
Data Points/Scan = Scan length(µm) /
Horizontal Resolution (µm)
Low speed ( + low force + noise) ?
High speed ??
(5 - 10µm/sec) ideal?
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Stylus force
1mg – 15mg (< 1mg)
Loại màng, pp chế tạo?
Low force ? High force ?
Stylus tip?
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Stylus tip
Diamond tip
R= 0.2 25µm (12.5µm)
stylus
Phù hợp loại màng và lực tip (115mg) +
vận tốc quét
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Parameters
Maximum sample thickness 31.75 mm
Vertical range 262 micron.
X-Y stage translation 20 mm x 80 mm
vertical data resolution 1 A at 65kA range
Z-height capability 1 mm ??
Color video camera with manual zoom optics
70-280X
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Roughness
Maxdev (Maximum Deviation)
MaxRa (Maximum Ra)
Ra (Average Roughness)
Rp(Maximum Peak)
Rq (RMS)
Rt (Maximum peak to valley)
Rv (Maximum valley)
Rz_din (Ten points height average)
Skew (skewness)
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Waviness
Wa (Arithmetic average of waviness)
Wmaxdev (maximum Deviation of Waviness)
Wp (maximum peak of waviness)
Wq (Root – Mean – Square of Waviness)
Wt (Maximum peak to valley of waviness)
Wv (Maximum vallley of waviness)
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Height
ASH (Delta Average step height)
Avg Ht (Average Height)
HSC (High spot count)
Pc (peak count)
Peak (Maximum peak)
P_V (Maximum peak to valley)
TIR (Total Indicated reading)
Valley (maximum valley)
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Geometry
Area (Area under the curve)
Perim (Perimeter)
Radius
Slop
Sm (Mean spacing between peaks)
Tp (Bearing ratio)
Volume
- PHƯƠNG PHÁP STYLUS
ưu và nhược điểm
Thêm vào BST
Báo xấu
Download
Vui lòng tải xuống để xem tài liệu đầy đủ
