TR NG ĐI H C KHOA H C T NHIÊNƯỜ Ạ Ọ Ọ Ự
KHOA V T LÝẬ
B MÔN V T LÝ NG D NGỘ Ậ Ứ Ụ
PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON
TRONG CHẾ TẠO MÀNG MỎNG
GVHD : PGS. TS. Lê Văn Hi uế
HVTH : Ph m Văn Th nh ạ ị
MÔN : V T LÝ PLASMAẬ
Địa chỉ bạn đã tải:
http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.ht
Địa chỉ bạn đã tải:
http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.ht
Nơi bạn có thể thảo luận:
http://myyagy.com/mientay/
Nơi bạn có thể thảo luận:
http://myyagy.com/mientay/
Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí:
http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html
Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí:
http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html
Dự án dịch học liệu mở:
http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html
Dự án dịch học liệu mở:
http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html
Liên hệ với người quản lí trang web:
Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com
Gmail: frbwrthes@gmail.com
Liên hệ với người quản lí trang web:
Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com
Gmail: frbwrthes@gmail.com
4
Ar
+
Đế
BIA
I. Khái niệm về phún xạ
Phún xạ(Sputtering)
là kỹ thuật chế tạo
màng mỏng dựa trên
nguyên lý truyền
động năng bằng cách
dùng các iôn khí hiếm
được tăng tốc dưới
điện trường bắn phá
bề mặt vật liệu từ bia
vật liệu, truyền động
năng cho các
nguyên tử này bay về
phía đế và lắng đọng
trên đế.
Bản chất quá trình phún xạ
- Quá trình phún xạ là quá trình truyền
động năng.