TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
BÁO CÁO KỸ THUẬT PHÂN TÍCH PHỔ
ĐỀ TÀI: Phương pháp phân tích phổ EDS
( Energy-dispersive X-ray spectroscopy)
SVTH: Nguyễn Văn Du
Lớp: Vật Liệu Điện Tử
GV bộ môn: TS. Nguyễn Ngọc Trung
Tr- êng ®¹i häc b¸ch khoa hµ néi
B¸o c¸o kÜ thuËt ph©n tÝch
phæ
§Ò tµi: Ph- ¬ng ph¸p ph©n tÝch phæ EDS
(Energy-dispersive X-ray spectroscopy)
Sinh viªn thùc hiÖn: NguyÔn V¨n
Du
Líp: VËt LiÖu §iÖn
Tö
GV bé m«n: TS. NguyÔn Ngäc
Trung
Hµ Néi, Ngµy 25 th¸ng 05 n¨m 2009
Néi dung b¸o c¸o
1. Kh¸i qu¸t chung vÒ kÜ thuËt ph©n tÝch
phæ.
2. Nguyªn lý cña phÐp ph©n tÝch b»ng
EDS.
3. KÜ thuËt ghi nhËn vµ ®é chÝnh x¸c cña
EDS.
4. Mét vµi øng dông cña phÐp ph©n tÝch .
5. §¸nh gi¸ ph- ¬ng ph¸p & KÕt luËn.
I. Tæng quan vÒ phÐp ph©n tÝch
phæ EDX
KÜ thuËt EDX ®- îc ph¸t triÓn tõ ng÷ng n¨m 1960 vµ thiÕt bÞ
th- ¬ng phÈ xuÊt hiÖn vµo ®Çu nh÷ng n¨m 1970 víi viÖc sö dông Detector
dÞch chuyÓn Si, Li hoÆc Ge.
Cã nhiÒu thiÕt bÞ ph©n tÝch EDX nh- ng chñ yÕu EDX ®- îc ph¸t triÓn
trong c¸c kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö, æ ®ã c¸c phÐp ph©n tÝch ®- îc thùc hiÖn nhê
c¸c chïm ®iÖn tö cã n¨ng l- îng cao vµ ®- îc thu hÑp nhê hÖ c¸c thÊu kÝnh
®iÖn tö.
Sá ®å cÊu t¹o m¸y ph©n tÝch SEM øng dông cña EDX
Phæ tia X ph¸t ra sÏ cã tÇn sè(n¨ng l- îng ph«tn tia X) tr¶i trong mét
vïng réng vµ ®- îc ph©n tÝch nhê phæ kÕ t¸n s¾c n¨ng l- îng do ®ã ghi
nhËn th«ng tin vÒ c¸c nguyªn tè còng nh- thµnh phÇn.
Phæ t¸n s¾c n¨ng l- îng tia X hay phæ t¸n s¾c n¨ng l- îng lµ kÜ thuËt
ph©n tÝch thµnh phÇn ho¸ häc cña vËt r¾n dùa vµo viÖc ghi l¹i phæ tia X
ph¸t ra tõ vËt r¾n do t- ¬ng t¸c víi c¸c bøc x¹ ( chñ yÕu lµ chïm ®iÖn tö cã
n¨ng l- îng cao trong c¸c kÝnh hiÓn vi ®iÖn tö ).
Trong c¸c tµi liÖu khoa häc, kÜ thuËt nµy th- êng ®- îc viÕt t¾t lµ
EDX hay EDS xuÊt ph¸t tõ tªn gäi tiÕng anh Energy-dispersive X-ray
spectroscopy
II. Nguyªn lý cña EDS
Khi chïm ®iÖn tö cã møc n¨ng l- îng cao ®- îc chiÕu vµo vËt r¾n, nã
sÏ ®©m xuyªn s©u vµo nguyªn tö vËt r¾n vµ t- ¬ng t¸c víi c¸c líp ®iÖn tö
bªn trong cña nguyªn tö