Kỹ thuật chân không vật liệu mỏng (Vacuum and Thin Film Technology) là môn học kết hợp giữa vật lý ứng dụng và công nghệ vật liệu, tập trung nghiên cứu các nguyên lý tạo chân không, phương pháp phủ màng mỏng và ứng dụng trong thiết bị điện tử, quang học, năng lượng. Đây là nền tảng cho sinh viên ngành vật lý, vật liệu và kỹ thuật tiếp cận công nghệ nano, chế tạo linh kiện bán dẫn và nghiên cứu bề mặt hiện đại.