MÀNG MỎNG NHIỆT TỔNG QUAN
GVHD: PGS.TS Lê Văn Hiếu HVTH: Nguyễn Thị Thu Trang
(cid:61551) (cid:84)(cid:237)(cid:110)(cid:104) (cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116) (cid:110)(cid:104)(cid:105)(cid:7879)(cid:116) (cid:99)(cid:7911)(cid:97) (cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103) (cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103) (cid:107)(cid:104)(cid:225)(cid:99)
(cid:104)(cid:111)(cid:224)(cid:110) (cid:116)(cid:111)(cid:224)(cid:110) (cid:118)(cid:7899)(cid:105) (cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104) (cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116) (cid:110)(cid:104)(cid:105)(cid:7879)(cid:116) (cid:99)(cid:7911)(cid:97) (cid:118)(cid:7853)(cid:116) (cid:108)(cid:105)(cid:7879)(cid:117) (cid:107)(cid:104)(cid:7889)(cid:105)(cid:46) (cid:86)(cid:237) (cid:100)(cid:7909)(cid:58)(cid:272)(cid:7897) (cid:100)(cid:7851)(cid:110) (cid:110)(cid:104)(cid:105)(cid:7879)(cid:116) (cid:99)(cid:7911)(cid:97) (cid:107)(cid:105)(cid:109) (cid:99)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103) (cid:273)(cid:417)(cid:110) (cid:116)(cid:105)(cid:110)(cid:104) (cid:116)(cid:104)(cid:7875) (cid:7903) (cid:110)(cid:104)(cid:105)(cid:7879)(cid:116) (cid:273)(cid:7897) (cid:112)(cid:104)(cid:242)(cid:110)(cid:103) (cid:107)(cid:104)(cid:111)(cid:7843)(cid:110)(cid:103) (cid:50)(cid:32)(cid:50)(cid:48)(cid:48) (cid:87)(cid:32)(cid:109)(cid:45)(cid:49)(cid:32)(cid:75)(cid:45)(cid:49) (cid:7903)(cid:44) (cid:118)(cid:7899)(cid:105) (cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103) (cid:107)(cid:105)(cid:109) (cid:99)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103) (cid:99)(cid:243) (cid:273)(cid:7897) (cid:100)(cid:224)(cid:121) (cid:60)(cid:32)(cid:49)(cid:109)(cid:109) (cid:116)(cid:104)(cid:236) (cid:273)(cid:7897) (cid:100)(cid:7851)(cid:110) (cid:110)(cid:104)(cid:105)(cid:7879)(cid:116) (cid:107)(cid:104)(cid:111)(cid:7843)(cid:110)(cid:103) (cid:49)(cid:48)(cid:48) (cid:87)(cid:32)(cid:109)(cid:45)(cid:49)(cid:32)(cid:75)(cid:45)(cid:49)
Phân loại màng nhiệt
Theo số lớp màng
Màng một lớp Màng đa lớp
Theo tham số nhiệt
Độ khuếch tán nhiệt Độ dẫn nhiệt
Nhiệt dung riêng Độ giãn nở nhiệt
Các tham số nhiệt
a=λ/ρCp
(cid:61550) Độ dẫn nhiệt: λ W/(m.K) (cid:61550) Độ khuếch tán nhiệt :a (m2/s. ) (cid:61550) Nhiệt dung riêng : Cp (jun/kg.K) (cid:61550) Độ giãn nở nhiệt
Độ dẫn nhiệt
Thấp: W/Al2O3(0.04 Wm-1 K-1)
(cid:61548)Cao (cid:61548)Kim cương, SiC
Độ khuếch tán nhiệt
Cao : kim cương, Ag
Thấp: Thủy tinh
Các yếu tố ảnh hưởng lên tính chất nhiệt của màng mỏng
(cid:61550) Mật độ liên kết ngang (cid:61550) Tính chất của bề mặt
đế
(cid:61550) Hệ số dẫn nhiệt giữa
các bề mặt (cid:61550) Độ dày màng
Mục đích quá trình nghiên cứu tính chất nhiệt của màng mỏng
(cid:61550) ứng dụng trong công nghệ bán dẫn (cid:61550) Sự phát triển của pin mặt trời (cid:61550) Chế tạo lớp ngăn (cid:61550) Chế tạo lớp tỏa nhiệt
Tình hình chế tạo màng nhiệt trên thế giới
(cid:61550) Màng kim cương được ứng dụng rất
nhiều trong các loại máy khoan, cắt hàn nhiệt.
(cid:61550) Các tính chất nhiệt ở cấp độ nano đang trở nên ngày càng quan trọng Tính dẫn nhiệt của màng mỏng kích thước nano là thấp hơn đáng kể so với các màng có kích thước lớn hơn.

