MÀNG MỎNG NHIỆT TỔNG QUAN

GVHD: PGS.TS Lê Văn Hiếu HVTH: Nguyễn Thị Thu Trang

(cid:61551) (cid:84)(cid:237)(cid:110)(cid:104) (cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116) (cid:110)(cid:104)(cid:105)(cid:7879)(cid:116) (cid:99)(cid:7911)(cid:97) (cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103) (cid:109)(cid:7887)(cid:110)(cid:103) (cid:107)(cid:104)(cid:225)(cid:99)

(cid:104)(cid:111)(cid:224)(cid:110) (cid:116)(cid:111)(cid:224)(cid:110) (cid:118)(cid:7899)(cid:105) (cid:116)(cid:237)(cid:110)(cid:104) (cid:99)(cid:104)(cid:7845)(cid:116) (cid:110)(cid:104)(cid:105)(cid:7879)(cid:116) (cid:99)(cid:7911)(cid:97) (cid:118)(cid:7853)(cid:116) (cid:108)(cid:105)(cid:7879)(cid:117) (cid:107)(cid:104)(cid:7889)(cid:105)(cid:46) (cid:86)(cid:237) (cid:100)(cid:7909)(cid:58)(cid:272)(cid:7897) (cid:100)(cid:7851)(cid:110) (cid:110)(cid:104)(cid:105)(cid:7879)(cid:116) (cid:99)(cid:7911)(cid:97) (cid:107)(cid:105)(cid:109) (cid:99)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103) (cid:273)(cid:417)(cid:110) (cid:116)(cid:105)(cid:110)(cid:104) (cid:116)(cid:104)(cid:7875) (cid:7903) (cid:110)(cid:104)(cid:105)(cid:7879)(cid:116) (cid:273)(cid:7897) (cid:112)(cid:104)(cid:242)(cid:110)(cid:103) (cid:107)(cid:104)(cid:111)(cid:7843)(cid:110)(cid:103) (cid:50)(cid:32)(cid:50)(cid:48)(cid:48) (cid:87)(cid:32)(cid:109)(cid:45)(cid:49)(cid:32)(cid:75)(cid:45)(cid:49) (cid:7903)(cid:44) (cid:118)(cid:7899)(cid:105) (cid:109)(cid:224)(cid:110)(cid:103) (cid:107)(cid:105)(cid:109) (cid:99)(cid:432)(cid:417)(cid:110)(cid:103) (cid:99)(cid:243) (cid:273)(cid:7897) (cid:100)(cid:224)(cid:121) (cid:60)(cid:32)(cid:49)(cid:109)(cid:109) (cid:116)(cid:104)(cid:236) (cid:273)(cid:7897) (cid:100)(cid:7851)(cid:110) (cid:110)(cid:104)(cid:105)(cid:7879)(cid:116) (cid:107)(cid:104)(cid:111)(cid:7843)(cid:110)(cid:103) (cid:49)(cid:48)(cid:48) (cid:87)(cid:32)(cid:109)(cid:45)(cid:49)(cid:32)(cid:75)(cid:45)(cid:49)

Phân loại màng nhiệt

Theo số lớp màng

Màng một lớp Màng đa lớp

Theo tham số nhiệt

Độ khuếch tán nhiệt Độ dẫn nhiệt

Nhiệt dung riêng Độ giãn nở nhiệt

Các tham số nhiệt

a=λ/ρCp

(cid:61550) Độ dẫn nhiệt: λ W/(m.K) (cid:61550) Độ khuếch tán nhiệt :a (m2/s. ) (cid:61550) Nhiệt dung riêng : Cp (jun/kg.K) (cid:61550) Độ giãn nở nhiệt

Độ dẫn nhiệt

Thấp: W/Al2O3(0.04 Wm-1 K-1)

(cid:61548)Cao (cid:61548)Kim cương, SiC

Độ khuếch tán nhiệt

Cao : kim cương, Ag

Thấp: Thủy tinh

Các yếu tố ảnh hưởng lên tính chất nhiệt của màng mỏng

(cid:61550) Mật độ liên kết ngang (cid:61550) Tính chất của bề mặt

đế

(cid:61550) Hệ số dẫn nhiệt giữa

các bề mặt (cid:61550) Độ dày màng

Mục đích quá trình nghiên cứu tính chất nhiệt của màng mỏng

(cid:61550) ứng dụng trong công nghệ bán dẫn (cid:61550) Sự phát triển của pin mặt trời (cid:61550) Chế tạo lớp ngăn (cid:61550) Chế tạo lớp tỏa nhiệt

Tình hình chế tạo màng nhiệt trên thế giới

(cid:61550) Màng kim cương được ứng dụng rất

nhiều trong các loại máy khoan, cắt hàn nhiệt.

(cid:61550) Các tính chất nhiệt ở cấp độ nano đang trở nên ngày càng quan trọng Tính dẫn nhiệt của màng mỏng kích thước nano là thấp hơn đáng kể so với các màng có kích thước lớn hơn.

CHÂN THÀNH CÁM ƠN THẦY VÀ CÁC BẠN ĐÃ THEO DÕI