BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO
ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
LƯU HOÀNG MINH
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ BIẾN TÍNH OXIT KIM LOẠI
In2O3, ZnO CÓ CẤU TRÚC XỐP NHẰM PHÁT TRIỂN CẢM
BIẾN KHÍ NO2 VÀ ETHANOL ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG
TRONG GIÁM SÁT CHẤT LƯỢNG THỰC PHẨM
LUẬN ÁN TIẾN KHOA HỌC VẬT LIỆU
HÀ NỘI - 2025
BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO
ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
LƯU HOÀNG MINH
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ BIẾN TÍNH OXIT KIM LOẠI
In2O3, ZnO CÓ CẤU TRÚC XỐP NHẰM PHÁT TRIỂN CẢM
BIẾN KHÍ NO2 VÀ ETHANOL ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG
TRONG GIÁM SÁT CHẤT LƯỢNG THỰC PHẨM
Ngành: Khoa học vật liệu
Mã số: 9440122
LUẬN ÁN TIẾN KHOA HỌC VẬT LIỆU
NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC:
1. GS. TS. NGUYỄN ĐỨC HÒA
2. TS. PHẠM VĂN TÒNG
HÀ NỘI - 2025
i
LỜI CAM ĐOAN
Tác gi xin cam đoan rng toàn b ni dung ca lun án này công trình nghiên
cu ca riêng tác gi, dưới s hướng dn ca GS.TS. Nguyễn Đức Hòa và TS. Phm
Văn Tòng. Các số liu kết qu trong lun án này hoàn toàn trung thc chưa
được bt k tác gi nào khác công b.
Hà Ni, ngày 02 tháng 06 năm 2025
Tp th hướng dn
GS.TS. Nguyễn Đức Hòa
Tác gi
Lưu Hoàng Minh
TS. Phạm Văn Tòng
ii
LI CM ƠN
Lời đầu tiên, tôi xin được bày t lòng biết ơn sâu sắc ti tp th giáo viên
hướng dn bao gm GS.TS. Nguyễn Đức Hòa và TS. Phm Văn Tòng. Hai Thầy đã
đóng góp các ý kiến khoa hc quý báu, đã động viên, khích l, cũng như tạo mọi điều
kin thun li nht để tôi hoàn thành lun án này.
Tôi xin gi li cảm ơn chân thành nht ti PGS.TS. Nguyn Văn Duy,
PGS.TS. Đặng Th Thanh Lê, PGS.TS. Ch Mạnh Hưng, TS. Chu Th Xuân, quý
Thy đã luôn nhiệt tình giúp đỡ, chia s kinh nghim gi m nhiều ý tưởng
quan trọng để tôi thc hin các nghiên cu ca luận án này. Tôi cũng xin cảm ơn các
nghiên cu sinh hc viên cao hc ca nhóm Cm biến thiết b thông minh đã
luôn đồng hành và h tr tôi trong sut quá trình nghiên cu.
Tôi xin chân thành cảm ơn Trưng Vt liu; Ban Đào tạo - Đại hc Bách khoa
Hà Ni; B môn Vt lý, Khoa khí, Trường Đại hc Xây dng Hà Ni đã tạo điều
kiện cho tôi được tp trung hc tp và nghiên cu.
Cuối cùng, tôi xin đưc gi li cảm ơn ti toàn th gia đình, bạn bè, đồng
nghiệp đã luôn luôn động viên và chia s để giúp tôi hoàn thành lun án này.
Tác gi
Lưu Hoàng Minh
iii
MC LC
LỜI CAM ĐOAN ..................................................................................................... I
LI CẢM ƠN ......................................................................................................... II
DANH MC CÁC KÍ HIU VÀ CH VIT TT .................................................... VI
DANH MC BNG BIU .................................................................................... VIII
DANH MC HÌNH V ........................................................................................... IX
M ĐẦU................................................................................................................. 1
CHƯƠNG 1. TNG QUAN .................................................................................... 8
1.1. Tổng quan về cảm biến khí trên cơ sở vật liệu oxit kim loại bán dẫn ứng
dụng trong giám sát chất lượng thực phẩm ...................................................... 8
1.1.1. Các loại khí được s dng trong giám sát chất lượng thc phm ............... 8
1.1.2. Tng quan v cm biến khí trên cơ sở vt liu oxit kim loi bán dn ......... 10
1.1.3. Mt s yếu t ảnh hưởng ti tính cht nhy khí ca vt liu oxit kim loi bán
dn ....................................................................................................................... 25
1.2. chế nhạy khí của vật liệu oxit kim loại bán dẫn và vật liệu oxit kim
loại bán dẫn biến tính bề mặt bằng kim loại quý ............................................. 28
1.2.1. Cơ chế nhy khí ca vt liu oxit kim loi bán dn trên cơ sở mô hình hp
ph/gii hp ph ................................................................................................... 28
1.2.2. Cơ chế nhy khí ca vt liu oxit kim loi bán dẫn được biến tính b mt
bng các ht nano kim loi quý ............................................................................ 32
1.3. Vật liệu oxit kim loại bán dẫn In2O3 ............................................................ 33
1.3.1. Tng quan v vt liu In2O3 ........................................................................ 33
1.3.2. Tình hình nghiên cu s dng vt liu oxit kim loi bán dn In2O3 trong cm
biến khí ................................................................................................................. 37
1.4. Vật liệu oxit kim loại bán dẫn ZnO ............................................................. 39
1.4.1. Tng quan v vt liu ZnO ......................................................................... 39
1.4.2. Tình hình nghiên cu s dng vt liu oxit kim loi bán dn ZnO trong cm
biến khí ................................................................................................................. 41
Kết luận chương 1.............................................................................................. 43
CHƯƠNG 2. THC NGHIM .............................................................................. 44
2.1. Tổng hợp vật liệu In2O3 với các hình thái khác nhau bằng phương pháp
thủy nhiệt kết hợp với quá trình xử lý nhiệt .................................................... 44