
BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO
ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
LƯU HOÀNG MINH
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ BIẾN TÍNH OXIT KIM LOẠI
In2O3, ZnO CÓ CẤU TRÚC XỐP NHẰM PHÁT TRIỂN CẢM
BIẾN KHÍ NO2 VÀ ETHANOL ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG
TRONG GIÁM SÁT CHẤT LƯỢNG THỰC PHẨM
LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU
HÀ NỘI - 2025

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO
ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
LƯU HOÀNG MINH
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ BIẾN TÍNH OXIT KIM LOẠI
In2O3, ZnO CÓ CẤU TRÚC XỐP NHẰM PHÁT TRIỂN CẢM
BIẾN KHÍ NO2 VÀ ETHANOL ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG
TRONG GIÁM SÁT CHẤT LƯỢNG THỰC PHẨM
Ngành: Khoa học vật liệu
Mã số: 9440122
LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU
NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC:
1. GS. TS. NGUYỄN ĐỨC HÒA
2. TS. PHẠM VĂN TÒNG
HÀ NỘI - 2025

i
LỜI CAM ĐOAN
Tác giả xin cam đoan rằng toàn bộ nội dung của luận án này là công trình nghiên
cứu của riêng tác giả, dưới sự hướng dẫn của GS.TS. Nguyễn Đức Hòa và TS. Phạm
Văn Tòng. Các số liệu và kết quả trong luận án này hoàn toàn trung thực và chưa
được bất kỳ tác giả nào khác công bố.
Hà Nội, ngày 02 tháng 06 năm 2025
Tập thể hướng dẫn
GS.TS. Nguyễn Đức Hòa
Tác giả
Lưu Hoàng Minh
TS. Phạm Văn Tòng

ii
LỜI CẢM ƠN
Lời đầu tiên, tôi xin được bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc tới tập thể giáo viên
hướng dẫn bao gồm GS.TS. Nguyễn Đức Hòa và TS. Phạm Văn Tòng. Hai Thầy đã
đóng góp các ý kiến khoa học quý báu, đã động viên, khích lệ, cũng như tạo mọi điều
kiện thuận lợi nhất để tôi hoàn thành luận án này.
Tôi xin gửi lời cảm ơn chân thành nhất tới PGS.TS. Nguyễn Văn Duy,
PGS.TS. Đặng Thị Thanh Lê, PGS.TS. Chử Mạnh Hưng, TS. Chu Thị Xuân, quý
Thầy Cô đã luôn nhiệt tình giúp đỡ, chia sẻ kinh nghiệm và gợi mở nhiều ý tưởng
quan trọng để tôi thực hiện các nghiên cứu của luận án này. Tôi cũng xin cảm ơn các
nghiên cứu sinh và học viên cao học của nhóm Cảm biến và thiết bị thông minh đã
luôn đồng hành và hỗ trợ tôi trong suốt quá trình nghiên cứu.
Tôi xin chân thành cảm ơn Trường Vật liệu; Ban Đào tạo - Đại học Bách khoa
Hà Nội; Bộ môn Vật lý, Khoa Cơ khí, Trường Đại học Xây dựng Hà Nội đã tạo điều
kiện cho tôi được tập trung học tập và nghiên cứu.
Cuối cùng, tôi xin được gửi lời cảm ơn tới toàn thể gia đình, bạn bè, đồng
nghiệp đã luôn luôn động viên và chia sẻ để giúp tôi hoàn thành luận án này.
Tác giả
Lưu Hoàng Minh

iii
MỤC LỤC
LỜI CAM ĐOAN ..................................................................................................... I
LỜI CẢM ƠN ......................................................................................................... II
DANH MỤC CÁC KÍ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT .................................................... VI
DANH MỤC BẢNG BIỂU .................................................................................... VIII
DANH MỤC HÌNH VẼ ........................................................................................... IX
MỞ ĐẦU................................................................................................................. 1
CHƯƠNG 1. TỔNG QUAN .................................................................................... 8
1.1. Tổng quan về cảm biến khí trên cơ sở vật liệu oxit kim loại bán dẫn ứng
dụng trong giám sát chất lượng thực phẩm ...................................................... 8
1.1.1. Các loại khí được sử dụng trong giám sát chất lượng thực phẩm ............... 8
1.1.2. Tổng quan về cảm biến khí trên cơ sở vật liệu oxit kim loại bán dẫn ......... 10
1.1.3. Một số yếu tố ảnh hưởng tới tính chất nhạy khí của vật liệu oxit kim loại bán
dẫn ....................................................................................................................... 25
1.2. Cơ chế nhạy khí của vật liệu oxit kim loại bán dẫn và vật liệu oxit kim
loại bán dẫn biến tính bề mặt bằng kim loại quý ............................................. 28
1.2.1. Cơ chế nhạy khí của vật liệu oxit kim loại bán dẫn trên cơ sở mô hình hấp
phụ/giải hấp phụ ................................................................................................... 28
1.2.2. Cơ chế nhạy khí của vật liệu oxit kim loại bán dẫn được biến tính bề mặt
bằng các hạt nano kim loại quý ............................................................................ 32
1.3. Vật liệu oxit kim loại bán dẫn In2O3 ............................................................ 33
1.3.1. Tổng quan về vật liệu In2O3 ........................................................................ 33
1.3.2. Tình hình nghiên cứu sử dụng vật liệu oxit kim loại bán dẫn In2O3 trong cảm
biến khí ................................................................................................................. 37
1.4. Vật liệu oxit kim loại bán dẫn ZnO ............................................................. 39
1.4.1. Tổng quan về vật liệu ZnO ......................................................................... 39
1.4.2. Tình hình nghiên cứu sử dụng vật liệu oxit kim loại bán dẫn ZnO trong cảm
biến khí ................................................................................................................. 41
Kết luận chương 1.............................................................................................. 43
CHƯƠNG 2. THỰC NGHIỆM .............................................................................. 44
2.1. Tổng hợp vật liệu In2O3 với các hình thái khác nhau bằng phương pháp
thủy nhiệt kết hợp với quá trình xử lý nhiệt .................................................... 44