iii
MỤC LỤC
LỜI CAM ĐOAN ..................................................................................................... I
LỜI CẢM ƠN ......................................................................................................... II
DANH MỤC CÁC KÍ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT .................................................... VI
DANH MỤC BẢNG BIỂU .................................................................................... VIII
DANH MỤC HÌNH VẼ ........................................................................................... IX
MỞ ĐẦU................................................................................................................. 1
CHƯƠNG 1. TỔNG QUAN .................................................................................... 8
1.1. Tổng quan về cảm biến khí trên cơ sở vật liệu oxit kim loại bán dẫn ứng
dụng trong giám sát chất lượng thực phẩm ...................................................... 8
1.1.1. Các loại khí được sử dụng trong giám sát chất lượng thực phẩm ............... 8
1.1.2. Tổng quan về cảm biến khí trên cơ sở vật liệu oxit kim loại bán dẫn ......... 10
1.1.3. Một số yếu tố ảnh hưởng tới tính chất nhạy khí của vật liệu oxit kim loại bán
dẫn ....................................................................................................................... 25
1.2. Cơ chế nhạy khí của vật liệu oxit kim loại bán dẫn và vật liệu oxit kim
loại bán dẫn biến tính bề mặt bằng kim loại quý ............................................. 28
1.2.1. Cơ chế nhạy khí của vật liệu oxit kim loại bán dẫn trên cơ sở mô hình hấp
phụ/giải hấp phụ ................................................................................................... 28
1.2.2. Cơ chế nhạy khí của vật liệu oxit kim loại bán dẫn được biến tính bề mặt
bằng các hạt nano kim loại quý ............................................................................ 32
1.3. Vật liệu oxit kim loại bán dẫn In2O3 ............................................................ 33
1.3.1. Tổng quan về vật liệu In2O3 ........................................................................ 33
1.3.2. Tình hình nghiên cứu sử dụng vật liệu oxit kim loại bán dẫn In2O3 trong cảm
biến khí ................................................................................................................. 37
1.4. Vật liệu oxit kim loại bán dẫn ZnO ............................................................. 39
1.4.1. Tổng quan về vật liệu ZnO ......................................................................... 39
1.4.2. Tình hình nghiên cứu sử dụng vật liệu oxit kim loại bán dẫn ZnO trong cảm
biến khí ................................................................................................................. 41
Kết luận chương 1.............................................................................................. 43
CHƯƠNG 2. THỰC NGHIỆM .............................................................................. 44
2.1. Tổng hợp vật liệu In2O3 với các hình thái khác nhau bằng phương pháp
thủy nhiệt kết hợp với quá trình xử lý nhiệt .................................................... 44