PHƯƠNG PHÁP PHÂN TÍCH QUANG-PHÁT QUANG TRONG BỀ MẶT VÀ MẶT PHÂN CÁCH
(Photoluminescence In Analysis Of Surfaces And Interfaces)
1/ Giới thiệu phương pháp. 1/ Giới thiệu phương pháp.
2/ Ưu điểm- hạn chế. 2/ Ưu điểm- hạn chế.
3/ Phương pháp quang- phát quang: 3/ Phương pháp quang- phát quang:
3.1. Kích thích quang phát quang. 3.1. Kích thích quang phát quang.
3.2 . Phổ quang phát quang. 3.2 . Phổ quang phát quang.
3.3 Cường độ quang phát quang 3.3 Cường độ quang phát quang
Nội dung trình bày
Phương pháp quang phát quang trong phân tích bề mặt và mặt phân cách
Ưu điểm Hạn chế
- Phát hiện sai hỏng, tạp chất trên - Phát hiện sai hỏng, tạp chất trên
bề mặt và mặt phân cách. bề mặt và mặt phân cách.
PL phụ thuộc vào khả PL phụ thuộc vào khả
- Có độ nhạy cao. - Có độ nhạy cao. năng bức xạ của vật liệu. năng bức xạ của vật liệu.
- Không phá hủy mẫu. - Không phá hủy mẫu.
- Phân tích PL theo thời gian là - Phân tích PL theo thời gian là
rất nhanh rất nhanh
Hình 1: Sơ đồ bố trí TN hệ đo PL
I. Sự kích thích quang phát quang
Độ xuyên sâu
Dịch chuyển Stoke
(cid:61548) (cid:61548)
(cid:61548) (cid:61548)
2.Cường độ kích thích. 1.Năng lượng kích thích
Độ xuyên sâu càng lớn
Độ hấp thụ của mẫu càng giảm.
Phù hợp Phù hợp nhỏ nhỏ
Xác xuất tái hợp giảm.
Xác xuất tái hợp lớn.
- Phổ PL & năng lượng kích thích :
Bán dẫn có sai hỏng, tạp chất Bán dẫn sạch
bề mặt.
Phổ PL không phụ thuộc vào Ekt Phổ PL thay đổi khi Ekt thay đổi.
- Độ dịch chuyển Stoke :
Ở mặt phân cách giữa các lớp bán
1 dãy hố lượng tử (QWs)
dẫn có cấu trúc dị thể.
Khi có kích thích. Sự chênh lệch giữa đỉnh hấp thụ và đỉnh phát xạ.
Độ dịch chuyển Stoke Tổn hao PL
2. Cường độ kích thích
a/h
Cường độ ánh sáng tới Mật độ e/h được kích thích quang.
- Mật độ trạng thái mặt phân cách :
Khi nồng độ hạt tải thấp :
Phép đo bị chi phối bởi sai hỏng và tạp chất. Phép đo bị chi phối bởi sai hỏng và tạp chất.
Tái hợp Schockley-Read-Hall (SRH)
n(cid:126)
Tốc độ tái hợp
Khi mật độ hạt tải cao:
Xảy ra thêm hiện tượng tái hợp Auger
n3 Tốc độ tái hợp
- Vận tốc tái hợp ở mặt phân cách : S
Bề dày của lớp quang hoạt.
+ S
(cid:61647)
Mật độ hạt tải.
chất lượng mặt phân cách. + S (cid:61646) Trạng thái tự nhiên của mẫu,
Nếu có 2 mặt phân cách tham gia vào quá trình PL S = S1 + S2
Kết luận:
Tăng PL Giảm sự tái hợp không bức xạ
Để xác định S
Mẫu phải đạt yêu cầu Thiết bị máy móc tinh vi
- Sự phụ thuộc của tín hiệu PL vào cường độ kích thích trên
1 cấu trúc dị thể InGaAsP/InP
Đường PL Tỉ lệ tuyến tính với công suất kích thích
Nhưng qua thí nghiệm ở vài mẫu nghiên cứu Nhưng qua thí nghiệm ở vài mẫu nghiên cứu
1 kích thích ở mức trung bình thì đường PL lại tăng vọt
Hình 2
Hình 2: Cường độ PL phụ thuộc vào công suất kích thích của hai mẫu khác nhau (Komiya).
- Công suất kích thích :
Ánh sáng (photon).
Khi kích thích vào mẫu
Nhiệt (phonon).
Giảm lượng nhiệt(cid:46)
(cid:61662) Tăng lượng PL
(cid:61659)
Cường độ ánh sáng phát ra
Công suất kích thích.
(cid:61662)
Sự biến thiên nhiệt độ
Đo công suất bức xạ tuyệt đối trên cấu trúc dị thể InGaAs/InP. (Hình 3)
• Hình 3:Mối tương quan giữa số đo tương đối của tín
hiệu phát quang và thay đổi của nhiệt độ,
Hình 4: Sự phụ thuộc của hiệu suất phát xạ lượng tử với tốc độ phát sinh/ tái hợp của cặp e –h ở trạng thái bền
- PP PLS3: để đánh giá sự phụ thuộc của IPL vào Iex.
/PLI (cid:61510)
Khi tái hợp bị chi phối bởi các bẫy ở trạng thái bão hòa. Khi tái hợp bức xạ chiếm đa số.
Hình 5 : Sự phụ thuộc hiệu suất PL vào Iex cho hàm mật độ trạng
thái có dạng hình chữ U tương ứng.
Ứng với vùng dẫn nhỏ nhất & vùng hóa trị lớn nhất
Các e và h bị bắt vào các hố.
Tăng kích thích Tăng kích thích sự tích sự tích
lũy hạt tải sẽ tăng lên. lũy hạt tải sẽ tăng lên. ⇒ ⇒
NL giam giữ, và NL
dipole
Blueshift phụ thuộc vào
(Vignaud )
kích thích trong PL
II. Phoå quang phaùt quang :
(cid:61558)Muc đích
Phaùt hieän nhöõng sai hoûng vaø taïp chaát.
Xaùc ñònh ñöôïc thaønh phaàn caáu taïo cuûa hôïp kim chaát baùn daãn.
Phaùt hieän daáu hieäu cuûa caùc gieáng hoaëc raøo ôû maët phaân caùch Phaùt hieän daáu hieäu cuûa caùc gieáng hoaëc raøo ôû maët phaân caùch
1. Các vị trí đỉnh phổ PL :
Phá vỡ trật tự tuần hoàn của mạng tinh thể Sai hỏng và tạp chất
Các mức năng lượng ở vùng cấm (các bẫy). Các mức năng lượng ở vùng cấm (các bẫy).
Mức donor Eđ Mức acceptor Ea
Khi các hạt tải này tái hợp bức xạ Phát ra bức xạ.
Phân tích ánh sáng phát ra.
Năng lượng của mức sai hỏng hay tạp chất.
Hình 8:
(a-c):Phổ PL của 3 mẫu Si epitaxi
(d) : Phổ PL của chất nền.
Chỉ ra các đường phổ có Chỉ ra các đường phổ có
liên quan đến tạp chất liên quan đến tạp chất
Ga, As, Al, P và B. Ga, As, Al, P và B.
(cid:61558)Kỹ thuật khắc ăn mòn :
L(cid:224) kỹ thuật loại bỏ vật liệu từ chất nền bằng phản ứng h(cid:243)a
học hay bắn ph(cid:225) ion
- Phương pháp ăn mòn ion phản ứng (RIE ): (Radiation Ion Etching) Phương pháp mô tả sự kết hợp của công cụ plasma với sử
dụng khí phản ứng.
Two electrodes (1 and 4)
that create an electric field
(3) meant to accelerate ions
(2) toward the surface of
the samples (5).
Khí ion được tăng tốc bởi trường điện từ rồi bắn phá vào lớp vật liệu cần ăn mòn
- Duøng phoå PL ñeå nghieân cöùu taùc ñoäng cuûa nhöõng plasma khaùc
nhau leân beà maët tinh theå:
Phân tích phổ PL là rất hữu Phân tích phổ PL là rất hữu
dụng trong việc xác định và dụng trong việc xác định và
điều khiển các sai hỏng do RIE điều khiển các sai hỏng do RIE
gây ra. gây ra.
- Ñoä daøy cuûa maãu :
Gheùp hai maïng khoâng caân xöùng
Đoä daøy cuûa lôùp InGaAs
trong caáu truùc dò theå InGaAs/ GaAs
Vượt quá độ dày tới hạn. Mỏng
Sự lệch mạng Sự lệch mạng Traïng thaùi caêng Traïng thaùi caêng
Phaùt xạï saâu
Quan saùt PL saâu trong Đo phoå nhö laø moät haøm cuûa ñoä
heä InGaAs/ GaAs daøy lôùp InGaAs
Cöôøng ñoä cuûa phaùt xaï saâu taêng nhanh khi lôùp ñaït ñoä daøy tôùi haïn
⇒
(cid:61558)- Duøng PL ñeå nghieân cöùu ñaëc tính cuûa lôùp bao phuû tinh theå
Sử dụng phổ PL để nghiên cứu đaëc tính cuûa lôùp maï CuSe treân tinh
coù kích thöôùc nano :
theå CdSe coù kích thöôùc nano.
Cho PL roäng vaø Cho PL roäng vaø Tinh theå CdSe khoâng ñöôïc bao phuû Tinh theå CdSe khoâng ñöôïc bao phuû
döôùi vuøng caám döôùi vuøng caám
Taêng 1 löôïng nhoû CuSe PL roäng vaø döôùi vuøng caám
treân loõi CdSe giaûm ñôn ñieäu ñoàng thôøi
taêng ñeàu PL vuøng bieân.
(cid:61558)Sự mở rộng vạch phổ:
2. Độ rộng và sự tách đường PL :
(cid:61553)Trạng thái gồ ghề ở các mặt phân cách có xu hướng tạo sự mở rộng và phân tách đường phổ trong hố lượng tử.
(cid:61553)Sự mở rộng đường là do những rung động không biết (cid:61553)Sự mở rộng đường là do những rung động không biết trước bên trong hố lượng tử. trước bên trong hố lượng tử.
Sự mất trật tự
Sự mở rộng vạch phổ
Tính chất bề mặt
(a) 2 mặt nhám.
(b) 1 mặt nhám, 1 mặt phẳng.
(c) 2 mặt phẳng.
Hình 10: Mô hình của cấu trúc bề mặt có liên quan với kích thước của hàm sóng exciton.
(cid:61558)- Sự tách phổ :
Hình 12 : Hình 12 :
Độ rộng Độ rộng
bán rộng bán rộng
phổ phụ phổ phụ
thuộc vào thuộc vào
độ rộng hố độ rộng hố
lượng tử. lượng tử.
3. Cường độ quang phát quang 3. Cường độ quang phát quang
Từ tín hiệu PL (cid:61664) có thể phân tích được tính chất mặt phân cách trong Từ tín hiệu PL (cid:61664) có thể phân tích được tính chất mặt phân cách trong các chất bán dẫn. các chất bán dẫn.
3.1 Sự phụ thuộc của thế áp vào – điện thế bề mặt 3.1 Sự phụ thuộc của thế áp vào – điện thế bề mặt
3.2 Sự phụ thuộc không gian – sự đồng nhất mặt phân cách 3.2 Sự phụ thuộc không gian – sự đồng nhất mặt phân cách
3.3 Sự phụ thuộc thời gian – tốc độ tái hợp 3.3 Sự phụ thuộc thời gian – tốc độ tái hợp
3.1 Sự phụ thuộc của thế áp vào – điện thế bề mặt
Mặt ngoài của bất kỳ loại bán dẫn nào cũng đều tồn tại các khuyết tật (cid:61664) tạo Mặt ngoài của bất kỳ loại bán dẫn nào cũng đều tồn tại các khuyết tật (cid:61664) tạo ra các mức năng lượng mặt ngoài ( các trạng thái bề mặt ) ra các mức năng lượng mặt ngoài ( các trạng thái bề mặt )
Các trạng thái mặt ngoài này sẽ làm cho trường thế năng tuần hoàn của mạng Các trạng thái mặt ngoài này sẽ làm cho trường thế năng tuần hoàn của mạng tinh thể bị vi phạm tinh thể bị vi phạm
Các trạng thái bề mặt sẽ có thể bắt thêm điện tử hay bị mất bớt điện tử (cid:61664)làm Các trạng thái bề mặt sẽ có thể bắt thêm điện tử hay bị mất bớt điện tử (cid:61664)làm uốn cong vùng dẫn và vùng hóa trị ở khu vực gần bề mặt vật liệu (cid:61664) xuất uốn cong vùng dẫn và vùng hóa trị ở khu vực gần bề mặt vật liệu (cid:61664) xuất hiện vùng điện tích không gian gần bề mặt vật liệu. hiện vùng điện tích không gian gần bề mặt vật liệu.
Vùng năng lượng bị uốn cong ứng với điện thế bề mặt Vs
Bề mặt sạch (cid:61664) mật độ trạng thái bề mặt thấp : cường độ PL cao Bề mặt sạch (cid:61664) mật độ trạng thái bề mặt thấp : cường độ PL cao
Mật độ trạng thái bề mặt lớn : cường độ PL giảm do có vùng điện tích Mật độ trạng thái bề mặt lớn : cường độ PL giảm do có vùng điện tích không gian lớn kết hợp với sự tái hợp bề mặt . không gian lớn kết hợp với sự tái hợp bề mặt .
(cid:61664) Đo cường độ PL có thể xác định được sự thay đổi trạng thái bề mặt (cid:61664) Đo cường độ PL có thể xác định được sự thay đổi trạng thái bề mặt của vật liệu của vật liệu
p- GaAs trong dd NaOH 1M
Thế bề mặt ( liên quan đến độ rộng vùng điện tích không gian ) thay đổi khi có sự kích thích ( chiếu sáng ) làm thay đổi cường độ PL
(cid:61664) Sự giảm cường độ PL chứng tỏ có sự tăng mật độ trạng thái bề mặt
3.2 Sự phụ thuộc không gian – sự đồng nhất mặt phân cách
Đo PL bằng cách quét kích thích quang lên bề mặt mẫu, sau đó thu tín hiệu quang ở thang µm.
Figure 15: PL images of InP Figure 15: PL images of InP Figure 15: PL images of InP Figure 15: PL images of InP treated with NH4OH : (a) as treated with NH4OH : (a) as treated with NH4OH : (a) as treated with NH4OH : (a) as treated; (b) annealed at 350 oC ; treated; (b) annealed at 350 oC ; treated; (b) annealed at 350 oC ; treated; (b) annealed at 350 oC ; (c) annealed at 450oC . PL (c) annealed at 450oC . PL (c) annealed at 450oC . PL (c) annealed at 450oC . PL intensity scale in (b) and (c) is intensity scale in (b) and (c) is intensity scale in (b) and (c) is intensity scale in (b) and (c) is 10 times smaller than in (a) 10 times smaller than in (a) 10 times smaller than in (a) 10 times smaller than in (a)
Sự phụ thuộc không gian của phổ PL cho ta đánh giá được sự đồng Sự phụ thuộc không gian của phổ PL cho ta đánh giá được sự đồng
nhất về thành phần của hợp kim nhất về thành phần của hợp kim
So sánh sự phát triển của InP/Si với InP/InP So sánh sự phát triển của InP/Si với InP/InP - Sự lệch mạng của InP/Si làm giảm tín hiệu PL - Sự lệch mạng của InP/Si làm giảm tín hiệu PL - Ứng suất làm mở rộng peak PL của InP/Si - Ứng suất làm mở rộng peak PL của InP/Si
3.3 Sự phụ thuộc thời gian – tốc độ tái hợp
(cid:8226) (cid:75)(cid:104)(cid:105)(cid:32)(cid:109)(cid:201)(cid:117)(cid:32)(cid:174)(cid:173)(cid:238)(cid:99)(cid:32)(cid:107)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:98)(cid:187)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:233)(cid:116)(cid:32)(cid:32)(cid:120)(cid:117)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:108)(cid:97)(cid:115)(cid:101)(cid:114)(cid:32)(cid:110)(cid:103)(cid:190)(cid:110)(cid:44)(cid:32)(cid:110)(cid:229)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:174)(cid:233) (cid:8226) (cid:75)(cid:104)(cid:105)(cid:32)(cid:109)(cid:201)(cid:117)(cid:32)(cid:174)(cid:173)(cid:238)(cid:99)(cid:32)(cid:107)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:98)(cid:187)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:109)(cid:233)(cid:116)(cid:32)(cid:32)(cid:120)(cid:117)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:108)(cid:97)(cid:115)(cid:101)(cid:114)(cid:32)(cid:110)(cid:103)(cid:190)(cid:110)(cid:44)(cid:32)(cid:110)(cid:229)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:174)(cid:233) (cid:104)(cid:185)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:182)(cid:105)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:244)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:117)(cid:233)(cid:99)(cid:32)(cid:109)(cid:185)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:118)(cid:181)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:234)(cid:105)(cid:32)(cid:103)(cid:105)(cid:97)(cid:110)(cid:32)(cid:46)(cid:32)(cid:86)× (cid:120)(cid:117)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:108)(cid:97)(cid:115)(cid:101)(cid:114)(cid:32)(cid:99)(cid:227)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:211) (cid:104)(cid:185)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:182)(cid:105)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:244)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:117)(cid:233)(cid:99)(cid:32)(cid:109)(cid:185)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:118)(cid:181)(cid:111)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:234)(cid:105)(cid:32)(cid:103)(cid:105)(cid:97)(cid:110)(cid:32)(cid:46)(cid:32)(cid:86)× (cid:120)(cid:117)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:108)(cid:97)(cid:115)(cid:101)(cid:114)(cid:32)(cid:99)(cid:227)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:211) (cid:110)(cid:104)(cid:225)(cid:32)(cid:104)(cid:172)(cid:110)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:234)(cid:105)(cid:32)(cid:103)(cid:105)(cid:97)(cid:110)(cid:32)(cid:116)(cid:184)(cid:105)(cid:32)(cid:104)(cid:238)(cid:112)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:117)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:98)×(cid:110)(cid:104)(cid:61664) (cid:104)(cid:185)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:182)(cid:105)(cid:32)(cid:174)(cid:173)(cid:238)(cid:99)(cid:32)(cid:115)(cid:105)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:114)(cid:97)(cid:32)(cid:104)(cid:199)(cid:117) (cid:110)(cid:104)(cid:225)(cid:32)(cid:104)(cid:172)(cid:110)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:234)(cid:105)(cid:32)(cid:103)(cid:105)(cid:97)(cid:110)(cid:32)(cid:116)(cid:184)(cid:105)(cid:32)(cid:104)(cid:238)(cid:112)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:117)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:98)×(cid:110)(cid:104)(cid:61664) (cid:104)(cid:185)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:182)(cid:105)(cid:32)(cid:174)(cid:173)(cid:238)(cid:99)(cid:32)(cid:115)(cid:105)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:114)(cid:97)(cid:32)(cid:104)(cid:199)(cid:117) (cid:110)(cid:104)(cid:173)(cid:32)(cid:108)(cid:181)(cid:32)(cid:116)(cid:248)(cid:99)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:234)(cid:105) (cid:110)(cid:104)(cid:173)(cid:32)(cid:108)(cid:181)(cid:32)(cid:116)(cid:248)(cid:99)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:234)(cid:105)
(cid:8226) (cid:80)(cid:104)(cid:208)(cid:112)(cid:32)(cid:174)(cid:111)(cid:32)(cid:174)(cid:233)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:169)(cid:110)(cid:32)(cid:103)(cid:105)(cid:182)(cid:105)(cid:32)(cid:80)(cid:76)(cid:32)(cid:174)(cid:173)(cid:238)(cid:99)(cid:32)(cid:115)(cid:246)(cid:32)(cid:100)(cid:244)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:174)(cid:211)(cid:32)(cid:120)(cid:184)(cid:99)(cid:32)(cid:174)(cid:222)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:234)(cid:105)(cid:32)(cid:103)(cid:105)(cid:97)(cid:110) (cid:8226) (cid:80)(cid:104)(cid:208)(cid:112)(cid:32)(cid:174)(cid:111)(cid:32)(cid:174)(cid:233)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:169)(cid:110)(cid:32)(cid:103)(cid:105)(cid:182)(cid:105)(cid:32)(cid:80)(cid:76)(cid:32)(cid:174)(cid:173)(cid:238)(cid:99)(cid:32)(cid:115)(cid:246)(cid:32)(cid:100)(cid:244)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:174)(cid:211)(cid:32)(cid:120)(cid:184)(cid:99)(cid:32)(cid:174)(cid:222)(cid:110)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:234)(cid:105)(cid:32)(cid:103)(cid:105)(cid:97)(cid:110) (cid:115)(cid:232)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:241)(cid:97)(cid:32)(cid:104)(cid:185)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:182)(cid:105)(cid:32)(cid:118)(cid:181)(cid:32)(cid:174)(cid:211)(cid:32)(cid:110)(cid:104)(cid:203)(cid:110)(cid:32)(cid:98)(cid:105)(cid:213)(cid:116)(cid:32)(cid:99)(cid:184)(cid:99)(cid:32)(cid:99)(cid:172)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:213)(cid:32)(cid:116)(cid:184)(cid:105)(cid:32)(cid:104)(cid:238)(cid:112)(cid:32)(cid:107)(cid:104)(cid:184)(cid:99)(cid:32)(cid:110)(cid:104)(cid:97)(cid:117) (cid:115)(cid:232)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:241)(cid:97)(cid:32)(cid:104)(cid:185)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:182)(cid:105)(cid:32)(cid:118)(cid:181)(cid:32)(cid:174)(cid:211)(cid:32)(cid:110)(cid:104)(cid:203)(cid:110)(cid:32)(cid:98)(cid:105)(cid:213)(cid:116)(cid:32)(cid:99)(cid:184)(cid:99)(cid:32)(cid:99)(cid:172)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:213)(cid:32)(cid:116)(cid:184)(cid:105)(cid:32)(cid:104)(cid:238)(cid:112)(cid:32)(cid:107)(cid:104)(cid:184)(cid:99)(cid:32)(cid:110)(cid:104)(cid:97)(cid:117) (cid:99)(cid:241)(cid:97)(cid:32)(cid:118)(cid:203)(cid:116)(cid:32)(cid:108)(cid:105)(cid:214)(cid:117)(cid:46) (cid:99)(cid:241)(cid:97)(cid:32)(cid:118)(cid:203)(cid:116)(cid:32)(cid:108)(cid:105)(cid:214)(cid:117)(cid:46)
(cid:8226) (cid:84)(cid:104)(cid:234)(cid:105)(cid:32)(cid:103)(cid:105)(cid:97)(cid:110)(cid:32)(cid:115)(cid:232)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:241)(cid:97)(cid:32)(cid:104)(cid:185)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:182)(cid:105)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:117)(cid:32)(cid:174)(cid:173)(cid:238)(cid:99)(cid:32)(cid:98)(cid:187)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:184)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:100)(cid:226)(cid:105)(cid:32)(cid:110)(cid:104)÷(cid:110)(cid:103) (cid:8226) (cid:84)(cid:104)(cid:234)(cid:105)(cid:32)(cid:103)(cid:105)(cid:97)(cid:110)(cid:32)(cid:115)(cid:232)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:241)(cid:97)(cid:32)(cid:104)(cid:185)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:182)(cid:105)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:117)(cid:32)(cid:174)(cid:173)(cid:238)(cid:99)(cid:32)(cid:98)(cid:187)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:184)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:101)(cid:111)(cid:32)(cid:100)(cid:226)(cid:105)(cid:32)(cid:110)(cid:104)÷(cid:110)(cid:103)
(cid:116)(cid:221)(cid:110)(cid:32)(cid:104)(cid:105)(cid:214)(cid:117)(cid:32)(cid:80)(cid:76)(cid:32)(cid:115)(cid:97)(cid:117)(cid:32)(cid:107)(cid:104)(cid:105)(cid:32)(cid:107)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:120)(cid:117)(cid:110)(cid:103)(cid:46) (cid:116)(cid:221)(cid:110)(cid:32)(cid:104)(cid:105)(cid:214)(cid:117)(cid:32)(cid:80)(cid:76)(cid:32)(cid:115)(cid:97)(cid:117)(cid:32)(cid:107)(cid:104)(cid:105)(cid:32)(cid:107)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:120)(cid:117)(cid:110)(cid:103)(cid:46)
(cid:8226) (cid:67)(cid:227)(cid:32)(cid:98)(cid:97)(cid:32)(cid:99)(cid:172)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:213)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:117)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:249)(cid:32)(cid:116)(cid:184)(cid:105)(cid:32)(cid:104)(cid:238)(cid:112)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:202)(cid:116)(cid:32)(cid:98)(cid:184)(cid:110)(cid:32)(cid:100)(cid:201)(cid:110)(cid:32)(cid:58)(cid:32)(cid:83)(cid:249)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:117)(cid:121)(cid:211)(cid:110)(cid:32)(cid:83)(cid:72)(cid:82) (cid:8226) (cid:67)(cid:227)(cid:32)(cid:98)(cid:97)(cid:32)(cid:99)(cid:172)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:213)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:117)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:111)(cid:32)(cid:115)(cid:249)(cid:32)(cid:116)(cid:184)(cid:105)(cid:32)(cid:104)(cid:238)(cid:112)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:111)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:202)(cid:116)(cid:32)(cid:98)(cid:184)(cid:110)(cid:32)(cid:100)(cid:201)(cid:110)(cid:32)(cid:58)(cid:32)(cid:83)(cid:249)(cid:32)(cid:99)(cid:104)(cid:117)(cid:121)(cid:211)(cid:110)(cid:32)(cid:83)(cid:72)(cid:82) (cid:113)(cid:117)(cid:97)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:185)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:184)(cid:105)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:117)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:103)(cid:105)(cid:97)(cid:110)(cid:44) sự (cid:98)(cid:248)(cid:99)(cid:32)(cid:120)(cid:185)(cid:32)(cid:118)(cid:181)(cid:32)(cid:116)(cid:184)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:185)(cid:32)(cid:65)(cid:117)(cid:103)(cid:101)(cid:114)(cid:46)(cid:32)(cid:84)(cid:104)(cid:234)(cid:105)(cid:32)(cid:103)(cid:105)(cid:97)(cid:110)(cid:32)(cid:115)(cid:232)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:241)(cid:97) (cid:113)(cid:117)(cid:97)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:185)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:184)(cid:105)(cid:32)(cid:116)(cid:114)(cid:117)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:103)(cid:105)(cid:97)(cid:110)(cid:44) sự (cid:98)(cid:248)(cid:99)(cid:32)(cid:120)(cid:185)(cid:32)(cid:118)(cid:181)(cid:32)(cid:116)(cid:184)(cid:110)(cid:32)(cid:120)(cid:185)(cid:32)(cid:65)(cid:117)(cid:103)(cid:101)(cid:114)(cid:46)(cid:32)(cid:84)(cid:104)(cid:234)(cid:105)(cid:32)(cid:103)(cid:105)(cid:97)(cid:110)(cid:32)(cid:115)(cid:232)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:241)(cid:97) (cid:104)(cid:185)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:182)(cid:105)(cid:32)(cid:107)(cid:104)(cid:171)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:169)(cid:110)(cid:32)(cid:98)(cid:187)(cid:110)(cid:103)(cid:58) (cid:104)(cid:185)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:182)(cid:105)(cid:32)(cid:107)(cid:104)(cid:171)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:99)(cid:169)(cid:110)(cid:32)(cid:98)(cid:187)(cid:110)(cid:103)(cid:58)
2
(cid:61501)
(cid:61483)
n Cn (cid:61483)
2S d
B N
1 (cid:61556)
(cid:8226) (cid:75)(cid:104)(cid:105)(cid:32)(cid:109)(cid:248)(cid:99)(cid:32)(cid:107)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:174)(cid:173)(cid:238)(cid:99)(cid:32)(cid:116)¨(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:108)(cid:170)(cid:110)(cid:44)(cid:32)(cid:98)(cid:225)(cid:32)(cid:113)(cid:117)(cid:97) tán xạ (cid:65)(cid:117)(cid:103)(cid:101)(cid:114) (cid:8226) (cid:75)(cid:104)(cid:105)(cid:32)(cid:109)(cid:248)(cid:99)(cid:32)(cid:107)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:174)(cid:173)(cid:238)(cid:99)(cid:32)(cid:116)¨(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:108)(cid:170)(cid:110)(cid:44)(cid:32)(cid:98)(cid:225)(cid:32)(cid:113)(cid:117)(cid:97) tán xạ (cid:65)(cid:117)(cid:103)(cid:101)(cid:114) (cid:8226) (cid:71)(cid:105)(cid:182)(cid:32)(cid:115)(cid:246)(cid:32)(cid:110)(cid:229)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:174)(cid:233)(cid:32)(cid:104)(cid:185)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:182)(cid:105)(cid:32)(cid:114)(cid:105)(cid:170)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:110)(cid:104)(cid:225) (cid:61664) (cid:235)(cid:32)(cid:109)(cid:248)(cid:99)(cid:32)(cid:107)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:202)(cid:112)(cid:44)(cid:32)(cid:98)(cid:248)(cid:99)(cid:32)(cid:120)(cid:185)(cid:32)(cid:116)(cid:251)(cid:32)(cid:108)(cid:214)(cid:32)(cid:118)(cid:237)(cid:105) (cid:8226) (cid:71)(cid:105)(cid:182)(cid:32)(cid:115)(cid:246)(cid:32)(cid:110)(cid:229)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:174)(cid:233)(cid:32)(cid:104)(cid:185)(cid:116)(cid:32)(cid:116)(cid:182)(cid:105)(cid:32)(cid:114)(cid:105)(cid:170)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:110)(cid:104)(cid:225) (cid:61664) (cid:235)(cid:32)(cid:109)(cid:248)(cid:99)(cid:32)(cid:107)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:202)(cid:112)(cid:44)(cid:32)(cid:98)(cid:248)(cid:99)(cid:32)(cid:120)(cid:185)(cid:32)(cid:116)(cid:251)(cid:32)(cid:108)(cid:214)(cid:32)(cid:118)(cid:237)(cid:105)
(cid:110)(cid:32)(cid:108)(cid:181)(cid:32)(cid:121)(cid:213)(cid:117) (cid:110)(cid:32)(cid:108)(cid:181)(cid:32)(cid:121)(cid:213)(cid:117)
(cid:107)(cid:104)(cid:171)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:244)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:117)(cid:233)(cid:99)(cid:32)(cid:99)(cid:173)(cid:234)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:174)(cid:233)(cid:32)(cid:107)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:44) chỉ phụ thuộc vào (cid:107)(cid:104)(cid:171)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:112)(cid:104)(cid:244)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:117)(cid:233)(cid:99)(cid:32)(cid:99)(cid:173)(cid:234)(cid:110)(cid:103)(cid:32)(cid:174)(cid:233)(cid:32)(cid:107)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:32)(cid:116)(cid:104)(cid:221)(cid:99)(cid:104)(cid:44) chỉ phụ thuộc vào
(cid:61556)
bề dáy lớp phân cách bề dáy lớp phân cách
d (cid:61614)(cid:61501) 2 S
