Phần KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ
Phần HIỂN VI ĐIỆN TỬ
Mục tiêu học tập:
- Trình bày được tương tác giữa điện tử với vật chất.
- Trình bày được nguyên tắc cấu tạo và hoạt động của SEM và TEM.
- Trình bày được các yếu tố ảnh hưởng tới chất lượng ảnh.
-KHV ĐT là một thiết bị khoa học sử dụng năng lượng
của chùm điện tử để quan sát rõ bề mặt vật chất.
-KHV ĐT đã được phát triển vì những hạn chế của các
kính hiển vi quang học trong lý thuyết ánh sáng.
-Đầu những năm 1930,lý thuyết này đã được nghiên
cứu và các nhà khoa học đã khao khát quan sát thấy
chi tiết bên trong của các tổ chức tế bào.
-Để có thể làm được điều này cần phải đạt được độ
phóng đại 100.000 lần,điều mà các KHV quang học
không làm được.
Phần KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ
§6.1. HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT
(Scanning Electron Microscope- SEM)
1. Tương tác giữa điện tử với vật chất
Khi các điện tử tới đập vào mẫu làm phát xạ các
loại điện tử và sóng điện.
Các điện tử phát xạ gồm:điện tử truyền qua, điện
tử tán xạ ngược,điện tử thứ cấp,điện tử hấp thụ và
Auger. Các sóng điện từ là tia X và huỳnh quang Catốt
như hình 1.
KHV ĐT quét (SEM) xuất hiện lần đầu vào năm 1938 (Von Ardenne)
và chỉ trở thành dụng cụ thương phẩm vào năm 1965. Quá trình
phát triển bị chậm lại bởi sự “tham gia” của hệ chùm điện tử khi
quét qua bề mặt mẫu đo.
1. Tương tác giữa điện tử với vật chất
Điện từ truyền qua là chùm
điện tử ban đầu xuyên qua
mẫu, nó có được khi mẫu
đủ mỏng.
d
eII .
0
Điện tử tán xạ ngược là điện tử tán xạ
đàn hồi hoặc không đàn hồi ngược
trở lại của chùm điện tử ban đầu,
chùm này có năng lượng lớn.
I0là cường độ của
điện tử tới, là hệ số
hấp thụ của mẫu, d là
chiều dày mẫu .