
MỤC LỤC
TRANG BÌA PHỤ ....................................................................... Error! Bookmark not defined.
LỜI CAM ĐOAN ........................................................................................................................3
LỜI CẢM ƠN .............................................................................................................................4
MỤC LỤC ............................................................................................................................................5
DANH MỤC CÁC BẢNG ..........................................................................................................7
DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ .....................................................................................................7
DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT ....................................................................................... 10
MỞ ĐẦU .................................................................................................................................. 11
CHƢƠNG I: TỔNG QUAN ............................................................................................................. 14
1.1 Giới thiệu về cảm biến sinh học .............................................................................................. 14
1.1.1 Khái niệm cảm biến sinh học ........................................................................................... 14
1.1.2 Lịch sử phát triển của cảm biến sinh học ......................................................................... 14
1.1.3 Phân loại cảm biến sinh học ............................................................................................. 15
1.1.4. Ứng dụng và thị trƣờng cảm biến sinh học ..................................................................... 16
1.2 Tổng quan về cảm biến sinh học phát hiện chất chỉ thị trong gan .......................................... 17
1.2.1. Nhu cầu về phát hiện chất chỉ thị trong gan .................................................................... 17
1.2.2. Các phƣơng pháp phát hiện chất chỉ thị trong gan .......................................................... 18
1.2.3. Nguyên lí hoạt động của cảm biến .................................................................................. 19
1.3 Phƣơng pháp chế tạo Transistor hiệu ứng trƣờng sợi Silic ..................................................... 22
1.3.1 Phƣơng pháp Top down ................................................................................................... 22
1.3.2 Phƣơng pháp Bottom up ................................................................................................... 26
CHƢƠNG II: CHẾ TẠO VÀ HOẠT HÓA BỀ MẶT SỢI NANO ................................................. 28
2.1 Chế tạo cảm biến dựa trên transistor hiệu ứng trƣờng sợi Silic .............................................. 28
2.1.1 Nguyên vật liệu ................................................................................................................ 28
2.1.2 Qui trình chế tạo ............................................................................................................... 29
2.2 Phƣơng pháp chức năng hóa bề mặt ........................................................................................ 46
2.2.1 Vật liệu, hóa chất cần thiết ............................................................................................... 47