PHM MINH KHANG
CH TO SI SILIC NG DNG TRONG VIỆC PHÁT HIỆN CHT
CH TH SINH HỌC ĐỂ CHN ĐOÁN UNG THƢ GAN
Chuyên ngành: Vt liệu và Linh kin Nanô
(Chuyên ngành đào tạo thí điểm)
LUẬN VĂN THẠC SĨ
Thành phố H Chí Minh – 2014
ĐẠI HC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƢỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ
ĐẠI HC QUC GIA TP H CHÍ MINH
PTN CÔNG NGHỆ NANO
2
PHM MINH KHANG
CH TO SI SILIC NG DNG TRONG VIỆC PHÁT HIỆN CHT
CH TH SINH HỌC ĐỂ CHN ĐOÁN UNG THƢ GAN
Chuyên ngành: Vt liệu và Linh kiện Nanô
(Chuyên ngành đào tạo thí điểm)
LUẬN VĂN THẠC SĨ
NGƢỜI HƢỚNG DN KHOA HC: TS. TNG DUY HIN
Thành phố H Chí Minh - 2014
ĐẠI HC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƢỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ
ĐẠI HC QUC GIA TP H CHÍ MINH
PTN CÔNG NGHỆ NANO
3
LỜI CAM ĐOAN
Tôi cam đoan nội dung đề tài này do chúng tôi nhóm nghiên cứu thực hiện.
Kết quả trình y trung thực chính xác. Đề tài này chƣa đƣợc công bố trên bất k
phƣơng tiện nào.
Kết quả thực nghiệm đo tác giả nhóm nghiên cứu thực hiện. Mọi bảng biểu,
đồ thị, hình ảnh do có đƣợc do chúng tôi xử lý kết quả thí nghiệm mà có.
Xin cam đoan mọi thông tin đúng sự thật, nếu bất kvấn đề tôi chịu
hoàn toàn trách nhiệm.
Tp. HCM, ngày 1 tháng 1 năm 2014
Học viên cao học Cán bộ hƣớng dẫn
Phạm Minh Khang TS. Tống Duy Hiển
4
LỜI CẢM ƠN
Lời đầu tiên tôi xin đƣợc gửi tới TS. Tống Duy Hiển lời biết ơn chân thành
sâu sắc nhất. Thầy là ngƣời đã trực tiếp giao đề tài và tận tình chỉ bảo, hƣớng dẫn, giúp
đỡ tôi trong quá trình nghiên cứu và hoàn thành luận văn.
Tôi xin chân thành cảm ơn ThS. Phạm Văn Bình, anh đã đồng hƣớng dẫn, đã
tạo điều kiện giúp tôi hoàn thành luận văn này.
Tôi xin cảm ơn đề tài KC04 đã cấp kinh phí để i thể thực hiện luận văn
này.
Xin cảm ơn giáo viên phn biện đã nh thời gian đọc, p ý và đánh giá cho đ
i.
Xin cảm ơn các thầy cô Trƣờng ĐH Công Nghệ ĐHQGHN thầy Đặng Mậu
Chiến đã hợp tác mở chuyên ngành mà tôi đang theo học này tại Tp HCM.
Tôi xin chân thành cảm ơn ThS. Phan Thanh Nhật Khoa, bạn Phạm Xuân
Thanh Tùng, bạn Nguyễn Thị Ngọc Nhiên, các anh chị các bạn thuộc Phòng Thí
Nghiệm Công Nghệ Nano (LNT) đã giúp đỡ, tạo điều kiện thuận lợi cho tôi trong suốt
quá trình thực hiện đề tài này.
Tôi xin gửi lời cảm ơn tới các thầy, đã giảng dạy trong quá trình suốt khóa
học. đặc biệt gửi lời cảm ơn đến chị Nguyễn Thị Mỹ Lê - phòng đào tạo của LNT
đã hỗ trợ nhiệt tình trong suốt thời gian khóa học diễn ra.
Và tôi cũng xin chân thành cảm ơn các anh chị, các bạn ở LNT đã tạo điều kiện
để tôi học tập, nghiên cứu hoàn thành tốt bản luận văn.
Xin cảm ơn tất cả bạn anh em gần xa, đặc biệt anh Bùi Quốc Thắng đã
động viên và giúp tôi nhiều trong phần tài liệu, kiến thức, xử lý số liệu.
Cuối cùng tôi xin đƣợc cảm ơn những ngƣời thân yêu trong gia đình, đã luôn
động viên, cổ vũ để tôi hoàn thành tốt luận văn của mình.
5
MỤC LỤC
TRANG BÌA PHỤ ....................................................................... Error! Bookmark not defined.
LỜI CAM ĐOAN ........................................................................................................................3
LỜI CẢM ƠN .............................................................................................................................4
MỤC LỤC ............................................................................................................................................5
DANH MỤC CÁC BẢNG ..........................................................................................................7
DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ .....................................................................................................7
DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT ....................................................................................... 10
MỞ ĐẦU .................................................................................................................................. 11
CHƢƠNG I: TỔNG QUAN ............................................................................................................. 14
1.1 Giới thiệu về cảm biến sinh học .............................................................................................. 14
1.1.1 Khái niệm cảm biến sinh học ........................................................................................... 14
1.1.2 Lịch sử phát triển của cảm biến sinh học ......................................................................... 14
1.1.3 Phân loại cảm biến sinh học ............................................................................................. 15
1.1.4. ng dụng và thị trƣờng cm biến sinh hc ..................................................................... 16
1.2 Tng quan v cm biến sinh học phát hiện cht ch th trong gan .......................................... 17
1.2.1. Nhu cu v phát hiện cht ch th trong gan .................................................................... 17
1.2.2. Các phƣơng pháp phát hiện chất chỉ thị trong gan .......................................................... 18
1.2.3. Nguyên lí hoạt động của cảm biến .................................................................................. 19
1.3 Phƣơng pháp chế tạo Transistor hiệu ứng trƣờng sợi Silic ..................................................... 22
1.3.1 Phƣơng pháp Top down ................................................................................................... 22
1.3.2 Phƣơng pháp Bottom up ................................................................................................... 26
CHƢƠNG II: CHẾ TẠO VÀ HOẠT HÓA BỀ MẶT SỢI NANO ................................................. 28
2.1 Chế tạo cảm biến dựa trên transistor hiệu ứng trƣờng sợi Silic .............................................. 28
2.1.1 Nguyên vật liệu ................................................................................................................ 28
2.1.2 Qui trình chế tạo ............................................................................................................... 29
2.2 Phƣơng pháp chức năng hóa bề mặt ........................................................................................ 46
2.2.1 Vật liệu, hóa chất cần thiết ............................................................................................... 47