Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng

Hoïc vieân Leâ Duy Nhaät

ỨNG DỤNG TÍNH CHẤT CƠ CỦA MÀNG MỎNG

I. GIỚI THIỆU CHUNG:

Với nhu cầu hiện nay là tạo ra những sản phẩm ít bị mài mòn, bị ăn mòn với môi trường

và tuổi thọ cao, đòi hỏi phải tìm ra một phương pháp chế tạo hữu hiệu. Hàng năm, trong các

ngành công nghiệp sự hao mòn và hiện tượng ăn mòn các công cụ, máy móc đã gây ra thiệt hại rất

lớn. Nó là nguyên nhân đấy chi phí sản xuất, giá tiêu dùng lên cao.

Chắc chắn, sự hao mòn và ăn mòn làm tổn thất lớn cho nền kinh tế, và nó thường đưa ra những

rào cản đáng kể kỹ thuật để sản xuất. Ta vẫn thường hay nghe nhiều việc như sự ăn mòn làm cầu

dẫn đến bị sụp đổ, tàu bị chìm, mày bay bị tai nạn, ô tô bị hỏng, …

Với sự phát triển ngày càng mạnh mẽ của khoa học kỹ thuật nói chung và đặc biệt là công

nghệ vật liệu nói riêng. Đã góp phần vào việc nghiên cứu và chế tạo nhiều chủng loại dụng cụ cắt

với vật vùng cắt có nhiều tính năng ưu việt. Một trong những ứng dụng mang tính phổ biến trong

lĩnh vực gia công cắt gọt đó là vật liệu dụng cụ được phun, phủ để làm tăng khả năng cắt gọt của

chúng. Với những dụng cụ cắt có kết cấu phức tạp, việc chế tạo khó khăn thì ứng dụng đó là một

trong những giải pháp mang tính đột phá. Dao phay đầu cầu phủ TiAlN là một loại dụng cụ như

vậy. Có thể nói rằng sự phát triển mạnh mẽ của công nghệ khuôn, mẫu đã góp phần tạo nên sự

linh hoạt và hiệu quả trong lĩnh vực cơ khí chế tạo. Trong việc chế tạo khuôn thì thép hợp kim

CR12MOV là một trong những loại vật liệu điển hình. Ngoài ra vật liệu này còn được dùng để

chế tạo nhiều dạng chi tiết khác nhau phục vụ trong nhiều lĩnh vực của đời sống xã hội. Thực tế

việc gia công thép hợp kim CR12MOV bằng dao phay đầu cầu phủ TiAlN là một giải pháp đang

được rất nhiều nhà máy, cơ sở sản xuất áp dụng để gia công nhiều dạng bề mặt phức tạp. Trước

đây những bề mặt phức tạp này được gia công bằng các phương pháp không truyền thống như là:

Gia công bằng điện hoá, gia công bằng xung điện, gia công bằng siêu âm nhưng những phương

pháp này có một số nhược điểm: Giá thành đầu tư cao, năng suất gia công thấp.

Tuy nhiên, một số phương pháp để chống mài mòn và ăn mòn là chế tạo các thành phần

hoàn toàn từ các vật liệu chống hao mòn và chống ăn mòn, nhưng điều này có thể sẽ rất tốn kém.

Kể từ khi hiện tượng hao mòn và ăn mòn bề mặt, một lớp phủ trên bề mặt có hiệu quả để giảm

thiểu chi phí và tối đa hóa tuổi thọ hoạt động của các thiết bị. Với hiệu suất nhu cầu và điều kiện

hoạt động của các thiết bị ngày nay, cần những vật liệu được yêu cầu với nhiệt độ cao, cứng, trơ

(ít bị phản ứng hóa học) và chịu nhiệt.

Trong phần này, các ứng dụng của tính chất cơ của màng mỏng được trình bày với nhiều

cách kháu nhau nhưng nói chung nó có hai ứng dụng chính:

“Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng”- Bộ môn Vật Lý Màng Mỏng Trang 1/14

Hoïc vieân Leâ Duy Nhaät Các vật liệu đƣợc phủ màng cứng làm cho công cụ cần độ cứng cao hơn dùng

trong việc khoan cắt.

Các vật liệu (các thiết bị kim loại) đƣợc phủ lên để chống lại quá trình oxy hóa

nhằm tăng tuổi thọ của chúng.

II. ỨNG DỤNG VÀO VIỆC PHỦ MÀNG ĐỂ LÀM TĂNG ĐỘ CỨNG VẬT LIỆU

1. Mòn dụng cụ cắt

a) Khái niệm chung về mòn

Mòn là hiện tượng phá huỷ bề mặt và sự tách vật liệu từ một hoặc cả hai bề mặt trong

chuyển động trượt, lăn hoặc va chạm tương đối với nhau. Eyre và Davis định nghĩa mòn liên quan

đến sự hao hụt về khối lượng hoặc thể tích, dẫn đến sự thay đổi vượt quá giới hạn cho phép về

hình dạng của bề mặt. Nói chung mòn xảy ra do sự tương tác của các nhấp nhô bề mặt.

Mòn dụng cụ cắt: Trong hầu hết các quá trình cắt kim loại, khả năng cắt của dụng cụ sẽ giảm dần

đến một lúc nào đó dụng cụ sẽ không tiếp tục cắt được do mòn hoặc hỏng hoàn toàn. Mòn dụng

cụ là chỉ tiêu chính đánh giá khả năng làm việc của dụng cụ bởi vì nó hạn chế tuổi bền của dụng

cụ. Mòn dụng cụ ảnh hưởng trực tiếp đến độ chính xác gia công, chất lượng bề mặt và toàn bộ

khía cạnh kinh tế của quá trình gia công.

Sự phát triển và tìm kiếm những vật liệu dụng cụ mới cũng như biện pháp công nghệ mới

để tăng khả năng bền của bề mặt như phủ các vật liệu TiN, TiAlN, CBN,… chính là nhằm tăng

khả năng chống mòn của dụng cụ.

Hình 1: Phay mặt cong phức tạp bằng dao phay cầu

“Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng”- Bộ môn Vật Lý Màng Mỏng Trang 2/14

Hoïc vieân Leâ Duy Nhaät

Hình 2: Cấu tạo của lưỡi dao dùng để cắt

Hình 3: Hình dạng - kích thước chế tạo của thân dao ký hiệu SRM và mảnh ghép ký hiệu

SRG40C, SRG50C, SRG50E, SRG50E, APMT1604PDER-M2, APMT1604PDER-H2 của dao

nhiều mảnh cắt hãng Mitssubishi - Nhật Bản [7].

“Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng”- Bộ môn Vật Lý Màng Mỏng Trang 3/14

Hoïc vieân Leâ Duy Nhaät

b) Các dạng mòn của dụng cụ cắt

Mòn theo mặt sau

Mòn theo mặt trước

Mòn đồng thời mặt trước và mặt sau

Cùn lưỡi cắt

Tróc

Mẻ lưỡi cắt

Nứt lưỡi cắt

Hỏng trầm trọng

Các cơ chế mòn của dụng cụ cắt Theo Shaw mòn dụng cụ có thể do dính, hạt mài, khuếch

tán, ôxy hóa và mỏi. Các cơ chế mòn này xảy ra đồng thời trong quá trình cắt tuy nhiên tùy theo

điều kiện cắt cụ thể mà một cơ chế nào đó chiếm ưu thế. Ngoài ra dụng cụ còn bị phá hủy do mẻ

dăm, nứt và biến dạng dẻo [4].

Theo Loffer trong cắt kim loại nhiệt độ cắt hay vận tốc cắt là nhân tố có ảnh hưởng mạnh

nhất đến sự tồn tại của các cơ chế mòn phá hủy. Ở dải vận tốc cắt thấp và trung bình, cơ chế mòn

do dính và do hạt mài chiếm ưu thế khi cắt liên tục và gián đoạn. Khi tăng vận tốc cắt, mòn do hạt

mài và hóa lý trở lên chiếm ưu thế đối với cắt liên tục và tạo nên vùng mòn mặt trước. Sự hình

thành các vết nứt do ứng suất nhiệt biến đổi theo chu kỳ là cơ chế mòn chủ yếu dẫn đến vỡ lưỡi

cắt khi cắt không liên tục [4].. Hình 2.5., 2.6. thể hiện mối quan hệ giữa vận tốc cắt và cơ chế mòn

khi cắt liên tục và gián đoạn.

Hình 4: Ảnh hưởng của vận tốc cắt đến cơ chế mòn khi cắt liên tục

“Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng”- Bộ môn Vật Lý Màng Mỏng Trang 4/14

Hoïc vieân Leâ Duy Nhaät

Hình 5: Ảnh hưởng của vận tốc cắt đến cơ chế mòn khi cắt gián đoạn

c) Các cơ chế mòn của dụng cụ cắt

Mòn do cào xước

Mòn do dính

Mòn do hạt mài

Mòn do khuếch tán

Mòn do ôxy hoá

Mòn do nhiệt

d) Mòn của dụng cụ phủ bay hơi

Để nâng cao khả năng sử dụng của dụng cụ bởi sự kết hợp độc đáo của lớp phủ với nền,

độ cứng nóng của lớp phủ cao và khả năng cải thiện điều kiện tiếp xúc ở vùng lưỡi cắt. Lớp phủ

có ưu điểm nổi bật như giảm ma sát, giảm dính và khuyếch tán giữa vật liệu gia công và các bề

mặt dụng cụ. Có hai cơ chế mòn chính xảy ra trên dụng cụ phủ khi cắt thép đó là nứt, vỡ và bong

ra của các mảnh TiN và mòn vật liệu nền. Khi sử dụng dao tiện T15 cắt thép 1045 với vận tốc cắt

100 m/phút đã phát hiện cơ chế mòn chủ yếu là sự gãy, vỡ của lớp phủ khi nền thép gió bị giảm

độ cứng do nhiệt độ cao. Mòn liên tục của lớp phủ ở gần vùng mòn mặt trước hầu như không

đáng kể, điều đó nói nên rằng khả năng chống mòn do hạt mài và mòn hoá học của TiN là rất cao.

Sự gãy vỡ của lớp phủ trên mặt trước là do nhiệt độ cao phát triển và làm giảm độ cứng của nền.

Quá trình gẫy vỡ xảy ra theo 3 giai đoạn như hình 6

“Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng”- Bộ môn Vật Lý Màng Mỏng Trang 5/14

Hoïc vieân Leâ Duy Nhaät

Hình 6: Sơ đồ thể hiện 3 giai đoạn mòn mặt trước của dụng cụ thép gió phủ TiN

a) Giai đoạn 1: Ma sát giữa phoi và lớp phủ sinh ra nhiệt và truyền vào dụng cụ.

b) Giai đoạn 2: Dưới tác dụng của ứng suất pháp và tiếp cùng nhiệt độ cao dưới lớp phủ,

nền bị biến dạng dẻo làm cho lớp phủ bị nứt, vỡ cục bộ sau đó bị cuốn đi cùng với dòng phoi làm

cho nền bị lộ ra. Ma sát và nhiệt độ của vùng này tiếp tục tăng lên.

c) Giai đoạn 3: Vùng mòn mặt trước xuất hiện. Nền của lớp phủ gần vùng mòn tiếp tục bị

giảm độ cứng làm cho lớp phủ tiếp tục bị nứt, vỡ và cuốn đi theo phoi. Vùng mòn mặt trước phát

triển rộng dần làm giảm khả năng cắt gọt của dụng cụ [4].

2. Các công nghệ phủ hiện tại có mặt trên thị trƣờng

Phủ Titanium Nitride (TiN) – Phủ PVD công dụng chung, lớp phủ này làm tăng độ cứng

và nhiệt độ ô xy hóa cao.

Phủ Titanium Carbo-Nitride (TiCN) – Lương các bon thêm vào góp phần tăng độ cứng

và bôi trơn bề mặt của lớp phủ.

Phủ Titanium Aluminum Nitride (TiAlN hoặc AlTiN) – Bao gồm một lớp ôxýt nhôm

giúp nâng cao tuổi thọ của dao cho các ứng dụng sinh nhiệt mạnh mẽ. Được sử dụng trong

trường hợp đặc biệt khi áp dụng gia công khô hoặc gần khô. Dao có lớp phủ AlTiN có độ

bền bề mặt cao hơn, so sánh với dao có lớp phủ TiAlN, nhờ vào biến thiên tỷ lệ phần trăm

được sử dụng trong hợp chất nhôm/titan. Tùy chọn này rất phổ biến cho các ứng dụng gia

công cao tốc.

Phủ Chromium Nitride (CrN) – Lớp phủ này có ưu điểm nhờ vào các tính chất chống

dính của nó, nó là một giải pháp được ưa thích cho việc chống lại hiện tượng lẹo dao.

Phủ kim cƣơng – Cho hiệu suất gia công tốt nhất khi gia công vật liệu không chứa sắt.

Đặc biệt lý tưởng để gia công graphit, composit nền kim loại, nhôm có thành phần silicon

“Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng”- Bộ môn Vật Lý Màng Mỏng Trang 6/14

Hoïc vieân Leâ Duy Nhaät cao và các loại vật liệu mài. Hoàn toàn không phù hợp cho gia công thép, vì các phản ứng

hóa học làm phá hủy liên kết lớp phủ với chất nền.

3. Vai trò nâng cao tuổi bền của vật liệu cắt khi đƣợc phủ màng:

Ta sẽ xét vai trò nâng cao tuổi bền của dụng cụ cắt khi sử dụng vật liệu phủ khác nhau

thay đổi theo điều kiện gia công cụ thể. Hình 7 chỉ ra mối quan hệ giữa tuổi bền của dao tiện và

phay mặt đầu thép gió phủ TiN, TiCN và TiAlN dùng để cắt thép cácbon SAE 4340 theo vận tốc

cắt cho cả cắt liên tục (hình 7a) và cắt không liên tục (hình 7b). Từ hai đồ thị có thể thấy rằng

trong cắt liên tục (tiện) TiAlN có tác dụng nâng cao tuổi bền của dao thép gió tốt nhất sau đó đến

TiN và cuối cùng là TiCN. Trái lại trong cắt va đập (phay) TiCN lại có tác dụng nâng cao tuổi bền

tốt nhất sau đó đến TiN và TiAlN. Như vậy mỗi loại vật liệu phủ đều có khả năng nâng cao tuổi

bền của dụng cụ khác nhau tùy thuộc vào các điều kiện cắt trong đó dụng cụ được sử dụng [4].

Hình 7: (a) Quan hệ tuổi bền của dao thép gió phủ PVD theo vận tốc cắt

(b) Dao phay mặt đầu dùng để phay thép cácbon tôi cải thiện.

“Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng”- Bộ môn Vật Lý Màng Mỏng Trang 7/14

Hoïc vieân Leâ Duy Nhaät

Hình 8: Một số vật liệu thường được sử dụng để tạo màng cứng và các đặc tính của chúng

“Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng”- Bộ môn Vật Lý Màng Mỏng Trang 8/14

Hoïc vieân Leâ Duy Nhaät

Formatted: Centered

Hình 9: Một số vật liệu thường được sử dụng để tạo màng cứng và bề dày của màng phủ

“Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng”- Bộ môn Vật Lý Màng Mỏng Trang 9/14

Hoïc vieân Leâ Duy Nhaät

Formatted: Underline

Hình 10: Hình ảnh phòng thí nghiệm nghiên cứu tính chất phủ màng vật liệu

III. MÀNG MỎNG KIM CƢƠNG

Những kỹ sư hóa học đã tạo ra màng mỏng kim cương bằng cách “gieo” những nguyên tử

Cacbon vào bề mặt của silicon carbide. Những nguyên tử kim cương thu nhỏ phát triển đang xen

vào khối tứ diện của phân tử tạo thành những hình chóp với những tam giác ở các mặt.

Không giống như những trang sức đắc tiền của chúng, màng mỏng kim cương và

sapphires có những ứng dụng trong công nghiệp. Kim cương là một vật liệu vô cùng cứng cho

những ứng dụng mài mòn và ứng dụng cắt.

Những lớp màng bảo vệ và những con chip máy tính mà nó có thể vận hành ở nhiệt độ rất

cao có một vài ứng dụng hứa hẹn của màng mỏng kim cương.

Trong sự phủ kim cương hoàn toàn lý tưởng, những tinh thể nguyên tử cacbon sẽ có cùng

kích thước và thẳng hàng với nhau tạo thành một lớp phẳng. Với những tinh thể phát triển với tốc

độ khác nhau tạo nên một màng mỏng không hoàn hảo.

Màng mỏng kim cương có nhiều hứa hẹn nhất đối với vật liệu bán dẫn. Sử dụng sự lắng

đọng hóa học, các nhà sản xuất chất bán dẫn có thể tạo ra những màng mỏng kim cương tổng hợp.

Màng mỏng kim cương có độ cứng rất tốt và tính chịu nhiệt cao nên được ứng dụng chủ

yếu vào kỹ thuật mài mòn, cắt, sự phủ màng bảo vệ: điện thoại, đồng hồ treo tường, đèn oleds,

con chip máy tính; dụng cụ gia đình: lò vi ba, lò hấp bánh, lò sưởi, máy sấy quần áo; kính hiển vi;

và sử dụng ánh sáng phát ra từ màng mỏng kim cương.

“Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng”- Bộ môn Vật Lý Màng Mỏng Trang 10/14

Hoïc vieân Leâ Duy Nhaät IV. CÁC ỨNG DỤNG TIÊN TIẾN SỬ DỤNG TÍNH CHẤT CƠ CỦA MÀNG MỎNG

1. Loại lƣỡi cắt mới cho gia công tiện tiên tiến

Sandvik Coromant hiện nay đưa vào hai loại lưỡi cắt mới bền, sắc, GC1125 dành cho thép

không rỉ và GC1515 cho thép. Dựa vào sự phát triển mới nhất về công nghệ lớp phủ và hợp kim

gốm cac bit, những điều này đã đáp ứng nhu cầu đang tăng về cạnh cắt bén với tính bảo toàn

nguyên vẹn đường cạnh cắt cao trong việc gia công tiện

Những loại lưỡi cắt mới này lý tưởng cho những ứng dụng ngắn hạn, gia công những chi

tiết nhỏ hoặc khi cần thêm độ bền cạnh cắt. Những ứng dụng tiêu biểu là cắt gián đoạn, gia công

vai bên trong hoặc gia công tinh bên trong.

GC1125 có độ bén cạnh cắt cao để gia công thép không rỉ an toàn, dễ thoát phoi và có độ

bền cần cho việc cắt gián đoạn. Nó biểu diễn sức mạnh với vật liệu dính kết và là sự lựa chọn tốt

cho việc gia công không rung động. Độ bền và độ bén cạnh cắt đã được cải tiến duy trì sự kiểm

soát phoi tốt và tuổi thọ dụng cụ ngay cả khi tốc độ ăn dao thấp hơn.

GC1515 có lợi cho gia công thép từ sự kết hợp độc đáo của lớp phủ chống mòn và cạnh

cắt đảm bảo bền. Điều này tạo khả năng gia công nhiều chi tiết hơn trên lưỡi cắt, trong khi vẫn

duy trì được phạm vi dung sai hẹp với số lần điều chỉnh bù kích thước tối thiểu.

GC1125 và GC1515 là hướng đi thẳng vào tính xác thực và có thể dễ dự đoán trước kết

quả gia công hơn với các lưỡi cắt đảm bảo vận hành ổn định và chất lượng chi tiết gia công cao

với tuổi thọ lưỡi cắt dài hơn. Đây là những lợi ích tạo nên việc gia công không có sản phẩm hỏng

và khả năng sản xuất sinh lợi cao hơn.

2. Công nghệ tạo lớp phủ tiên tiến trên thế giới

Một chương trình nghiên cứu do Bộ Khoa học và Công nghệ Philippin tài trợ đã xác lập được

các công nghệ chế tạo lớp phủ tiên tiến, tạo cho Philippin bước đột phá đầu tiên vào thị trường

kinh doanh công nghệ cao của thế giới với doanh thu dự kiến hơn 40 tỷ USD một năm.

Công nghệ do một nhóm nghiên cứu dưới sự lãnh đạo của Tiến sĩ Henry J. Ramos thuộc Viện

Vật lý Quốc gia, trường Đại học Philippines Diliman thiết lập, chế tạo được lớp phủ bề mặt có độ

cứng như kim cương hoặc lớp phủ hoàn thiện màu vàng có thể sử dụng trong ngành công nghiệp “Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng”- Bộ môn Vật Lý Màng Mỏng Trang 11/14

Hoïc vieân Leâ Duy Nhaät kim loại, chế tạo và bán dẫn. Ida Dalmacio, Giám đốc điều hành Hội đồng Nghiên cứu và Phát

triển Khoa học và Công nghệ Tiên tiến, là cơ quan giám sát dự án của Bộ Khoa học và Công

nghệ, đặc biệt quan tâm đến giá trị thương mại cao của các công nghệ này và xác nhận hỗ trợ

hoàn toàn về thể chế để tiến tới thương mại hoá công nghệ. Khai thác tiềm năng sử dụng của lade

(hoặc khí ion hoá), các công nghệ mới tạo được lớp phủ cao cấp bằng kim cương hoặc vật liệu

giống kim cương (Diamond-Like-Coating - DLC), ziriconi mononitrua (ZrN) và titan nitrua

(TiN). Các lớp phủ này có thể phủ lên kim loại và các chất nền khác, tạo cho vật liệu độ bền và độ

chịu mài mòn cao hơn. Vật liệu cứng nhất được biết là kim cương, tạo được lớp phủ tuyệt hảo cho

công cụ mài và đầu công cụ cắt gọt. Công cụ cắt gọt được phủ kim cương cũng được sử dụng

trong gia công cắt gọt và khắc các vật liệu gạch, thuỷ tinh, v.v... Các màng cacbon giống kim

cương cũng là vật liệu cửa sổ lý tưởng cho tia X và các bức xạ khác như tia cực tím, hồng ngoại

và vi sóng.

Theo Tiến sĩ Ramos, một loại vật liệu rẻ hơn màng kim cương nhiều là màng titan nitrua, có

thể phủ lên nhiều loại vật liệu khác nhau. Màng này được sử dụng rộng rãi do tạo được độ cứng

và độ chịu mòn đáng kể cho công cụ và lại rẻ hơn rất nhiều so với màng giống kim cương. Trong

khi đó, màng ZrN được sử dụng trong những ứng dụng khác nhau, như làm vật liệu chặn khuếch

tán, nhiệt kế độ lạnh, vật liệu liên kết Josephson hoặc đơn giản là một lớp phủ cứng. Loại vật liệu

phủ này được đánh giá tốt do có độ cứng, độ chịu ăn mòn, độ ổn định cao và điện trở suất thấp.

Tiến sĩ Ramos cũng cho biết, các lớp phủ tạo được bằng thiết bị plasma "thể hiện một cách

tiếp cận mới" và có nhiều ưu thế so với các kỹ thuật hiện nay. Không giống như các thiết bị khác,

thiết bị plasma không đòi hỏi nhiệt độ rất cao có thể gây tổn hại bề mặt của vật liệu cần tạo lớp

phủ. Ngoài ra, có thể kiểm soát được thông lượng và năng lượng của các ion, cho phép tạo lớp

phủ có chất lượng đồng đều hơn. [5]

V. KẾT LUẬN

Tính chất cơ của màng mỏng có ứng dụng rất quan trọng trong sự phát triển ngày càng

mạnh mẽ của khoa học kỹ thuật nói chung và đặc biệt là công nghệ vật liệu nói riêng. Đã góp

phần vào việc nghiên cứu và chế tạo nhiều chủng loại dụng cụ cắt với vật vùng cắt có nhiều tính

năng ưu việt. Một trong những ứng dụng mang tính phổ biến trong lĩnh vực gia công cắt gọt đó là

vật liệu dụng cụ được phun, phủ để làm tăng khả năng cắt gọt của chúng. Với những dụng cụ cắt

có kết cấu phức tạp, việc chế tạo khó khăn thì ứng dụng đó là một trong những giải pháp mang

tính đột phá.

Có hai ứng dụng chính về tính chất cơ của màng mỏng:

Các vật liệu đƣợc phủ màng cứng làm cho công cụ cần độ cứng cao hơn dùng

trong việc khoan cắt.

“Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng”- Bộ môn Vật Lý Màng Mỏng Trang 12/14

Hoïc vieân Leâ Duy Nhaät Các vật liệu (các thiết bị kim loại) đƣợc phủ lên để chống lại quá trình oxy hóa

nhằm tăng tuổi thọ của chúng.

Formatted: Centered

“Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng”- Bộ môn Vật Lý Màng Mỏng Trang 13/14

Hoïc vieân Leâ Duy Nhaät TÀI LIỆU THAM KHẢO

[1]. PGS, TS. Nguyễn Trọng Bình (2003), Tối ưu hoá quá trình gia công cắt gọt, NXB Giáo dục.

[2]. Bành Tiến Long, Trần Thế Lục, Trần Sĩ Tuý. (2001), Nguyên Lý Gia Công Vật Liệu, Nhà

xuất bản Khoa học và Kỹ thuật, Hà Nội.

[3]. PGS. TS. Nguyễn Đăng Bình, PSS. TS. Phan Quang Thế (2006), Một số vấn đề về ma sát, mò

và bôi trơn trong kỹ thuật. Nhà xuất bản Khoa học và Kỹ thuật, Hà Nội.

[4]. Phan Quang Thế (2002), Luận án Tiến sĩ. “Nghiên cứu khả năng làm việc của dụng cụ thép

gió phủ dùng cắt thép cacbon trung bình”, Trường Đại học Bách khoa Hà Nội.

[5]. Nguồn: Liên hiệp các Hội KHKT Việt Nam

[6]. Phạm Văn Hiển, Luận văn tốt nghiệp thạc sĩ kỹ thuật, “Đánh giá ảnh hưởng của chế độ cắt đến tuổi bền của dao phay cầu Ø10 phủ TiAlN khi gia công thép hợp kim CR12MOV. Trên cơ sở đó có thể sử dụng dụng cụ cắt một cách hợp lý”, Đại học Thái Nguyên

“Ứng dụng tính chất cơ của màng mỏng”- Bộ môn Vật Lý Màng Mỏng Trang 14/14