intTypePromotion=1
zunia.vn Tuyển sinh 2024 dành cho Gen-Z zunia.vn zunia.vn
ADSENSE

Giáo trình môn học công nghệ vi điện tử 11

Chia sẻ: Cinny Cinny | Ngày: | Loại File: PDF | Số trang:7

139
lượt xem
19
download
 
  Download Vui lòng tải xuống để xem tài liệu đầy đủ

Quang khắc (photolithography) - là tập hợp các quá trình quang hoá nhằm tạo ra các chi tiết trên bề mặt phiến silicon có kích thước và hình dạng giống như thiết kế. Để làm được điều này cần phải có những bộ mặt nạ (mask), chất cảm quang (photoresist) nguồn sáng UV và dung dịch hiện hình (developer). Mặt nạ thường là một tấm thuỷ tinh hữu cơ được phủ một màng crôm trên đó khắc hoạ những chi tiết phù hợp với thiết kế của cảm biến hoặc mạch tích hợp (IC). ...

Chủ đề:
Lưu

Nội dung Text: Giáo trình môn học công nghệ vi điện tử 11

  1. 77
  2. 78
  3. 79
  4. 80
  5. 81
  6. 82
  7. 83
ADSENSE

CÓ THỂ BẠN MUỐN DOWNLOAD

 

Đồng bộ tài khoản
2=>2