
Giáo trình môn học công nghệ vi điện tử 12
106
lượt xem 13
download
lượt xem 13
download

Người ta phủ lên trên bề mặt phiến silicon có tính chất nhậy sáng đặc biệt gọi là chất cản quang (photoresist) – thường được gọi là chất cảm quang. Chất cảm quang phải bảo đảm hai tính chất: - Nhậy quang; - Bền vững trong các dung môi axít hoặc kiềm.
Chủ đề:
Bình luận(0) Đăng nhập để gửi bình luận!

CÓ THỂ BẠN MUỐN DOWNLOAD