
BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO
ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
Hoàng Anh Tú
NGHIÊN CỨU PHƯƠNG PHÁP ĐO DỊCH CHUYỂN ĐỘ CHÍNH XÁC CAO
SỬ DỤNG NGUỒN LASER ĐIỀU BIẾN TẦN SỐ
LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT CƠ KHÍ
Hà Nội - 2025

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO
ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
Hoàng Anh Tú
NGHIÊN CỨU PHƯƠNG PHÁP ĐO DỊCH CHUYỂN ĐỘ CHÍNH XÁC CAO
SỬ DỤNG NGUỒN LASER ĐIỀU BIẾN TẦN SỐ
Ngành: Kỹ thuật cơ khí
Mã số: 9520103
LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT CƠ KHÍ
NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC:
PGS. TS. Vũ Thanh Tùng
Hà Nội - 2025

LỜI CAM ĐOAN
Tôi xin cam kết rằng đây là công trình nghiên cứu khoa học của riêng tôi, được tích lũy
trong thời gian học tập và nghiên cứu tại Đại học Bách khoa Hà Nội. Các số liệu sử dụng
để trích dẫn có nội dung và nguồn gốc rõ ràng, hoàn toàn trung thực. Kết quả nghiên cứu
của luận án do tôi tự tổng hợp và phát triển một cách khách quan và chưa từng được các
tác giả khác công bố trong bất kỳ tài liệu nào.
Giáo viên hướng dẫn
PGS. TS. Vũ Thanh Tùng
Hà Nội, ngày 25 tháng 11 năm 2025
Nghiên cứu sinh
Hoàng Anh Tú

2
LỜI CẢM ƠN
Trong quá trình thực hiện luận án, tôi đã nhận được sự hướng dẫn, tạo điều kiện của các
Thầy Cô kính mến, sự đồng hành của người thân trong gia đình và đồng đội. Đặc biệt, tôi
xin gửi lời biết ơn đến thầy PGS. TS Vũ Thanh Tùng, người thầy đã trực tiếp động viên,
lắp đầy khoảng trống chuyên môn trong suốt thời gian thực hiện luận án.
Tôi cũng xin gửi lời cảm ơn tới các Thầy Cô giáo Nhóm chuyên môn Cơ khí chính xác
& Quang học và Trường Cơ khí - Đại học Bách khoa Hà Nội đã truyền đạt cho tôi những
tư liệu khoa học, giúp tôi mở rộng nhiều kiến thức và kỹ năng, để phát triển và hoàn thành
luận án.
Tôi xin chân thành cảm ơn các Thủ trưởng Viện Khí tài/ Viện KH&CN QS, các đồng
đội Phòng Hệ thống Quang điện tử đã đồng hành và tạo điều kiện để tôi hoàn thành nhiệm
vụ học tập tại Đại học Bách Khoa Hà nội.
Cuối cùng, tôi muốn nói lời biết ơn chân thành đến gia đình thân yêu, Bố mẹ, vợ và hai
con đã luôn ủng hộ, động viên tôi trong suốt quá trình nghiên cứu.
Xin trân trọng cám ơn!

3
MỤC LỤC
LỜI CAM ĐOAN ........................................................................................................... 1
LỜI CẢM ƠN ................................................................................................................. 2
MỤC LỤC ....................................................................................................................... 3
DANH MỤC HÌNH VẼ .................................................................................................. 5
DANH MỤC BẢNG BIỂU ............................................................................................ 8
DANH MỤC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT .............................................................. 9
MỞ ĐẦU ....................................................................................................................... 11
1. Đặt vấn đề ............................................................................................................. 11
2. Mục tiêu, đối tượng và phạm vi nghiên cứu ......................................................... 12
3. Ý nghĩa khoa học và thực tiễn của đề tài .............................................................. 14
4. Cấu trúc luận án .................................................................................................... 15
Chương 1. TỔNG QUAN CÁC PHƯƠNG PHÁP ĐO DỊCH CHUYỂN ĐỘ CHÍNH XÁC
CAO ................................................................................................................................... 17
1.1. Một số khái niệm liên quan đến phương pháp đo dịch chuyển độ chính xác cao ...... 17
1.1.1. Độ chính xác, độ phân giải, phạm vị đo .......................................................... 17
1.1.2. Dịch chuyển và phương pháp đo dịch chuyển ................................................ 17
1.2. Các phương pháp đo dịch chuyển độ chính xác cao .................................................. 19
1.2.1. Cảm biến điện dung ......................................................................................... 19
1.2.2. Encoder quang học .......................................................................................... 22
1.2.3. Giao thoa kế đo dịch chuyển ........................................................................... 23
1.3. Nghiên cứu về các loại giao thoa kế laser đo dịch chuyển độ chính xác cao............. 26
1.3.1. Giao thoa kế 1 tần số ....................................................................................... 26
1.3.2. Giao thoa kế 2 tần số ....................................................................................... 27
1.3.3. Giao thoa kế điều biến tần số (FMI) ................................................................ 28
1.4. Các nghiên cứu liên quan về giao thoa kế laser đo dịch chuyển ................................ 29
1.5. Kết luận....................................................................................................................... 42
Chương 2. CƠ SỞ LÝ THUYẾT CỦA PHƯƠNG PHÁP ĐO DỊCH CHUYỂN ĐỘ CHÍNH
XÁC CAO SỬ DỤNG NGUỒN LASER ĐIỀU BIẾN TẦN SỐ ..................................... 43
2.1. Laser điều biến tần số ................................................................................................. 43

