TP CHÍ KHOA HC VÀ CÔNG NGHỆ, Trường Đại hc Khoa học, ĐH Huế
Tp 23, S 1 (2023)
89
THIT K B GHÉP KÊNH KT HỢP HAI BƯỚC SÓNG VÀ HAI MODE
TRÊN CÙNG MT CHIP QUANG T SILICON
H Đức Tâm Linh*, H Xuân Trường
Khoa Điện, Điện t và Công ngh vt liu, Trường Đại hc Khoa học, Đại hc Huế
*Email: hdtlinh@husc.edu.vn
Ngày nhn bài: 30/3/2023; ngày hoàn thành phn bin: 17/4/2023; ngày duyệt đăng: 4/12/2023
TÓM TT
Chúng i đề xut mt thiết b kh năng kết hợp đng thi hai k thut ghép
kênh theo bước sóng (WDM) ghép kênh theo mode (MDM) da trên nn vt
liu SOI (Silicon on Insulator). Thiết kế gm hai b giao thoa đa mode MMI ci tiến
ghép ni vi mt b ghép ni định hướng hình ch Y để to nên mt b ghép kênh
hai bước sóng (1310 nm và 1490 nm) và hai mode (TE0 và TE1). Thông qua phương
pháp truyn chùm tia ba chiu 3D-BPM phương pháp chỉ s hiu dng EIM,
thiết b đề xut đã chng minh đưc kh năng hoạt động trong độ rộng băng lên
đến 40 nm vi hiu sut chuyển đổi quang luôn đạt gn 60%. Tại bước sóng trung
tâm 1310 nm 1490 nm, hiu sut chuyn đổi quang luôn đạt trên 96% nhiu
ảnh hưởng gia các kênh luôn nh n 1% tt c các trường hợp được kho sát.
Cu trúc thiết kế này m ra một hướng nghiên cu mi kết hp gia k thut
WDM MDM để tăng dung lượng kênh truyn cho h thng thông tin quang
trên chip.
T khóa: SOI, WDM, MDM, PIC.
1. M ĐẦU
Trong các h thng mng truy nhp quang, b ghép kênh s dng hai c
sóng hai ca s 1310 nm 1490 nm đóng một vai trò quan trng trong vic ghép
kênh các tín hiu các đầu vào khác nhau. nhiu loi b ghép kênh c sóng s
dng các cu trúc hình học khác nhau đã được đề xuất như bộ ghép định hướng [1],
cách t Bragg [2], MMI [3], b cộng hưởng [4-5] cu trúc kp tóc [6]. Tuy nhiên, k
thuật ghép kênh phân chia theo bước ng (WDM) được áp dng trong các b ghép
kênh thông thường mt gii hn nhất định v tài nguyên bước sóng. vy, mt
khía cạnh khác đang thu hút các nhà khoa hc tp trung nghiên cứu phương thức
ghép kênh phân chia theo mode (MDM). K thuật này được xem mt ng phát
triển đầy ha hn để tăng đáng kể dung lượng ca mng vin thông quang. Ngoài ra,
Thiết kế b ghép kênh kết hợp hai bước sóng và hai mode trên cùng mt chip quang t silicon
90
s kết hp ca c hai k thut WDM MDM trong cùng mt mch quang t (PIC)
đang được nhiu nhóm nghiên cứu đặc bit quan tâm. Trong khi k thut WDM ghép
mt s tín hiu sóng mang quang vào mt ng dn sóng duy nht bng cách s dng
các bước sóng khác nhau [79], k thut MDM cho phép ghép các mode trc giao trong
cùng một bước sóng không b ảnh hưởng nhiu gia các kênh [1014]. Trong các
nghiên cứu trước đây [15-17], nhiu nghiên cu tp trung vào vic kết hp hai k thut
MDM WDM trong cùng mt ca s c sóng, ch yếu tp trung vào dải băng
tn C. Ngoài ra, mt s công trình đã ci tiến thành công vic tích hp hai k thut
MDM WDM trên một chip đơn các ca s c ng khác nhau. Một đề xut ban
đầu th k đến công trình trong bài báo [18]. Thiết kế ca thiết b da trên b
ghép hướng b ghép giao thoa đa mode (MMI) để ghép hai mode TE0 với hai bước
sóng 1310nm / 1550nm. Tuy nhiên, hiu sut chuyển đổi quang tương ng vi bn d
liệu đầu vào ca phn ghép kênh theo c sóng theo mode khá thp. Suy hao
chèn ca bn kênh hai bước sóng trung tâm 1310nm 1550nm lần lượt 1,2 dB
(76%), 1,4 dB (72%), 1,9 dB (65%) 2,1 dB (61%). Mt nghiên cu khác da trên công
ngh tinh th quang t th ghép hai mode TM0 / TM1 hai bước sóng 1550 nm /
1300 nm [19]. Thiết b đưc thiết kế t tinh th quang t 2D da trên nn vt liu SOI
vi cu trúc nh gn 29 µm x 12 µm. Kết qu phng cho thy suy hao chèn trong
bn kênh luôn nh hơn -1,1 dB (77%) ti các bước sóng trung tâm.
Trong báo cáo này, chúng tôi đề xut b ghép kênh kết hp đồng thi hai c
sóng hai mode trên cùng một chip đơn quang tử. Cu trúc này nhm h tr nhiu
người dùng hơn phía thiết b đầu cui trong khi vn duy trì cơ sở h tng mng truy
cp (Hình 1 (a)). Thiết kế đưc đề xut bao gm hai b ghép giao thoa đa mode hình
cánh bướm mt b ni ch Y không đối xng xếp tng da trên ng dn sóng kênh
silicon. C th, thiết b ghép kênh kết hp này h tr bn tín hiu d liệu điều chế trên
các mode TE0. Các tín hiệu này được đánh s t D1 đến D4 tương ng vi bn đầu
vào ca hai b ghép kênh WDM hai c sóng. Hai đầu ra ca hai b ghép kênh WDM
đưc kết ni vi hai đầu vào b ghép kênh MDM h tr hai mode TE0 TE1. Do đó,
chúng tôi ch cn s dng hai b ghép kênh WDM h tr hai c sóng ghép ni vi
mt b ghép kênh MDM h tr hai mode thì thiết b th ghép bn tín hiệu đơn lẻ
trên cùng mt kênh truyền. Thông qua phương pháp lan truyn chùm tia ba chiu 3D-
BPM phương pháp chỉ s hiu dng EIM, thiết b được đề xut th hoạt động
trong di băng tần C, hiu sut chuyển đổi quang luôn đạt trên 96% nhiu nh
ng lên kênh mong mun luôn nh hơn 1% tại bước sóng trung tâm 1310 nm
1490 nm.
TP CHÍ KHOA HC VÀ CÔNG NGHỆ, Trường Đại hc Khoa học, ĐH Huế
Tp 23, S 1 (2023)
91
Hình 1. Cu trúc b ghép kênh kết hp hai k thut WDM và MDM trên cùng một chip đơn:
(a) Cu trúc 3D, (b) Cu trúc 2D.
2. CU TRÚC B GHÉP KÊNH KT HP HAI MODE VÀ HAI BƯỚC SÓNG
2.1. Cu trúc chung
Hình 1 (b) ch ra cu trúc và các tham s ca thiết b ghép kênh kết hp gia hai
k thut WDM MDM trên một chip đơn. Mỗi b ghép kênh WDM h tr hai c
sóng 1310 nm (λ1), 1490 nm (λ2), vậy trong trường hp này hai b ghép kênh hoàn
toàn giống nhau được s dụng để ghép đồng thi bn kênh tín hiu mode TE0 (t D1
đến D4). Trong đó, các tín hiệu D1, D3 được điều chế trên bước sóng λ1, hai tín hiu
D2, D4 được điều chế trên bước sóng λ2. Sự kết hp ca bn tín hiu này s to thành
hai cp tín hiu các đầu ra vi tt c đều là mode TE0. Hai cp tín hiệu TE0 này được
dn vào bn cổng đầu vào ca b ghép kênh MDM, tại đó các tín hiệu đầu ra ca mode
TE0 lần lượt được ghép kênh chuyển đổi thành các mode TE0 TE1. Toàn b thiết
b đưc chế to da trên ng dn sóng dng kênh chiu cao ng dn sóng H = 0,22
µm. Vt liu ca lớp lõi được làm bng Si trong khi lp ph i trên đều SiO2.
Chiết sut ca các lp Si SiO2 đưc chn lần lưt là nr = 3,45, và nc = 1,46.
2.2. B ghép kênh hai c sóng 1310 nm và 1490 nm (2λ - WDM)
B ghép kênh 2λ - WDM b ghép giao thoa hình cánh bưm kh năng h
tr ghép kênh hai tín hiu hai c ng 1310 nm 1490 nm (Hình 2 (a)). B ghép
kênh c sóng này đưc thiết kế da trên cấu trúc giao thoa đa mode (MMI) nhưng
Thiết kế b ghép kênh kết hợp hai bước sóng và hai mode trên cùng mt chip quang t silicon
92
hình dạng được điều chnh để gim phn x cui cấu trúc giao thoa đa mode, đồng
thi ci thin kh năng thu nhận ánh sáng và tăng chất lượng hình nh giao thoa đầu
ra. Cu trúc này ph thuộc vào độ dài nhp Lπ (λ) tính chất t sao ảnh được tái to
định k dọc theo hướng lan truyn trong vùng MMI. đây, độ dài nhp Lπ (λ) được
xác định bi công thc (1):
(1)
trong đó Weff chiu rng hiu dng na chiu dài phách, We chiều rộng
hiệu dụng của bộ giao thoa đa mode hình cánh bướm (tính cho mode TE) được xác
định theo công thức (2):
(2)
Với WMMI độ dài vật lý tại cạnh lớn nhất của bộ giao thoa hình cánh bướm, nr
và nc lần lượt chiết suất hiệu dụng của lớp lõi và lớp vỏ của thiết bị. Độ dài LMMI của
bộ giao thoa đa mode hình cánh bướm thỏa mãn điều kiện (3):
(3)
Trong đó m, n các số nguyên dương. Nếu m, n cùng chẵn hoặc cùng lẻ, các
bước sóng 1310 nm và 1490 nm sẽ được ghép vào cùng một cổng ở đầu ra. Trường hợp
m chẵn, n lẻ hoặc ngược lại thì hai bước sóng 1310 nm và 1490 nm trong cùng một ống
dẫn sóng sđược tách biệt thành hai tín hiệu trên hai ống dẫn sóng khác nhau, trường
hợp này xảy ra đối với thiết bị là bộ giải ghép kênh.
Độ rộng tại vị trí nửa chiều dài của bộ ghép đa mode MMI hình cánh bướm
được xác định bởi giá trị của f.WMMI, với f hệ số nhân dương nhỏ hơn 1 (0 <f <1).
Dựa trên việc mô phỏng số để tối ưu hóa các thông số cấu trúc và đặc tính của thiết bị,
tham số f được chọn = 0,8 độ rộng WMMI = 2,4 µm LMMI = 331 µm. Hơn nữa, để
nâng cao hiệu suất truyền của các mode, các ống dẫn sóng hình thang cân được sử
dụng để liên kết giữa các ống dẫn sóng đầu vào / đầu ra với vùng giao thoa đa mode
MMI. Trong thiết kế này, chiều rộng chiều dài của hình thang cân lần lượt được
chọn là Wtp1 = 1,2 µm và Ltp1 = 20 µm. Ngoài ra, bộ ghép kênh 2λ - WDM này được thiết
kế để hoạt động ở mode phân cực TE, vì vậy độ rộng của ống dẫn sóng đơn mode (ống
dẫn sóng truy cập) được chọn w = 0,3 µm để thỏa mãn chỉ hỗ trợ mode cơ bản TE0 cho
cả hai ống dẫn sóng vào và ra của MMI.
TP CHÍ KHOA HC VÀ CÔNG NGHỆ, Trường Đại hc Khoa học, ĐH Huế
Tp 23, S 1 (2023)
93
Hình 2. Bộ ghép kênh hai ớc sóng 2λ WDM: (a) Cu trúc 2D và ký hiu kích thước ca thiết
b, (b) Hình ảnh phân bố trường điện bên trong bộ ghép kênh hai bước sóng.
Hình 2(b) cho thấy sự phân bố trường điện bên trong bộ ghép kênh hai bước
sóng 1310 nm 1490 nm. Thông qua các phân bố trường điện bị bức xạ ra bên ngoài
ống dẫn sóng, chúng ta có thể nhận thấy một cách khái quát rằng tín hiệu ở cả hai bước
sóng ghép vào có phần suy hao chủ yếu ở phần cuối của bộ giao thoa đa mode MMI.
2.3. B ghép kênh hai mode TE0 và TE1 (2M-MDM)
B ghép kênh hai mode 2M-MDM được to thành t cu trúc hình ch Y không
đối xứng được ch ra trong Hình 3 (a). Cu trúc ch Y gm mt ng dn sóng va
mt ng dn sóng hẹp hơn được ghép ni phn cui vi nhau bng mt ng dn sóng
rng khác. ng dn ng rng này có chiu rng bng tng chiu rng ca hai ng dn
sóng đó cộng li. Hai ng dn sóng hẹp đơn mode được đặt trên các cng IN1 IN2
vi chiu rng bằng đ rộng đầu ra ca b ghép kênh 2λ - WDM. Chiu rng, chiu
dài khoảng cách đặt gia hai ng dn sóng ca ch Y được xác định bằng phương
pháp phng truyền chùm BPM để tìm giá tr thích hp cho vic ghép ni hình
thành các mode TE0 và TE1.