BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO
ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
Hoàng Anh Tú
NGHIÊN CỨU PHƯƠNG PHÁP ĐO DỊCH CHUYỂN
ĐỘ CHÍNH XÁC CAO SỬ DỤNG NGUỒN LASER
ĐIỀU BIẾN TẦN SỐ
Ngành: Kỹ thuật cơ khí
Mã số: 9520103
TÓM TẮT LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT CƠ KHÍ
Hà Nội – 2025
Công trình được hoàn thành tại:
Đại học Bách khoa Hà Nội
Người hướng dẫn khoa học:
PGS.TS. Thanh Tùng
Phản biện 1:
Phản biện 2:
Phản biện 3:
Luận án được bảo vệ trước Hội đồng đánh giá luận án tiến sĩ cấp Đại học
Bách khoa Hà Nội họp tại Đại học Bách khoa Hà Nội
Vào hồi giờ phút, ngày tháng năm 2025
Có thể tìm hiểu luận án tại thư viện:
1. Thư viện Tạ Quang Bửu – Đại học Bách Khoa Hà Nội
2. Thư viện Quốc gia Việt Nam
1
MỞ ĐẦU
1. Đặt vấn đề
Trong FMI đo dịch chuyển, tần số nguồn laser được điều biến trực
tiếp bằng dòng điện giúp hệ thống đo trở nên nhỏ gọn, cấu hình đơn
giản và ít bị ảnh hưởng bởi nhiễu từc phần tử quang học điều biến
ngoài. Tín hiệu giao thoa trong FMI có đặc trưng phổ điều hòa, từ đó
xác định dịch chuyển khoảng cách thông qua chỉ số điều biến m,
các tín hiệu giao thoa này có độ nhạy cao với các thay đổi nhỏ, được
phát hiện đồng thời bằng bộ khuyếch đại khóa pha (Lock-in Amplifier
– LIAs), loại bỏ nhiễu, tăng cường độ chính xác. Đặc biệt, phạm vi đo
của FMI lớn hơn nhiều nhờ kết hợp ưu điểm đo dịch chuyển nhỏ độ
phân giải cao khoảng cách tuyệt đối với khoảng đo lớn, trong các
điều kiện môi trường phức tạp.
Mặc dù FMI đo dịch chuyển chính xác cao đã được công bố trong
nhiều nghiên cứu khoa học trước đây, tuy nhiên vẫn tồn tại một số vấn
đề lý thuyết trọng điểm và thách thức kỹ thuật chưa được khai thác có
thể đưa ra, là tiền đề cho mục tiêu phát triển của luận án:
- Các nghiên cứu chưa tối ưu giá trị chỉ số điều biến (m) để mở
rộng phạm vi đo độ chính xác cao với các khoảng đo khác nhau.
- Chưa đưa ra giải pháp hiệu quả xác định chính xác giá trị m theo
thời gian thực. Điều này quan trọng trong việc xác định các khoảng đo
tuyệt đối độ chính xác cao, và tính liên tục của kết quả đo.
- Tốc độ đo của FMI còn hạn chế, với tần số điều biến chỉ vài
(Hz÷Khz).
Tn sở kế thừa những kết quả đã công bố phân tích tồn tại
về FMI, luận án này đề xuất Nghiên cứu phương pháp đo dịch chuyển
độ chính xác cao sử dụng laser điều biến tần số”, để phát triển đầy đủ
FMI đo dịch chuyển độ chính xác cao.
2. Mục tiêu, đối tượng và phạm vi nghiên cứu
Mục tiêu chung:
Mục tiêu của luận án phát triển phương pháp và xác minh bằng
thực nghiệm hệ thống đo dịch chuyển độ chính xác cao, phạm vi đo
và tốc độ đo lớn sử dụng nguồn laser điều biến tần số.
Mục tiêu cụ thể:
- Xây dựng lý thuyết chung về FMI đo dịch chuyển chính xác cao.
- Xây dựng phương pháp kiểm chứng thực nghiệm điều khiển
2
chủ động chỉ số điều biến (m) mở rộng phạm vi đo độ chính xác
của FMI.
- Xây dựng phương pháp/ thuật toán xác minh bằng thực nghiệm
đo chỉ số (m) theo thời gian thực, độ chính xác cao dựa trên tỷ lệ cặp
tín hiệu điều hòa chẵn, lẻ liên tiếp.
- Phân tích được các nguồn gây sai số cho FMI.
- Tối ưu hệ thống thiết bị để tăng tốc độ đo với tần số điều biến
30MHz;
- Phát triển mô hình FMI cho các ứng dụng đo dịch chuyển độ
chính xác cao
Đối tượng và phạm vi nghiên cứu
Đối tượng nghiên cứu:
Các đối tượng dịch chuyển có độ phân giải cao cấp độ nm
Nguồn laser bán dẫn điều biến tần số trực tiếp bằng dòng bơm
Phạm vi nghiên cứu:
Hệ thống giao thoa kế đo dịch chuyển dùng laser bán dẫn được điều
biến trực tiếp tần số bằng dòng bơm, dải tần số điều biến từ vài Hz đến
30MHz, độ phân giải đến nanomet, trong điều kiện phòng thí nghiệm.
Xác định chỉ số điều biến (m), dựa trên cặp tỷ lệ tín hiệu điều hòa
chẵn, lẻ liên tiếp xác định các khoảng cách tuyệt đối với độ chính
xác cao.
Phép đo rung động tần số thấp (0,1÷25) Hz trong môi trường mở.
Phép đo biến dạng dọc trục vật liệu nhôm, ứng dụng đánh giá cho
các hệ thống quang học nhạy nhiệt.
Các đại lượng, yếu tố ảnh hưởng đến độ chính xác đo dịch chuyển.
Phương pháp nghiên cứu
Luận án kết hợp giữa nghiên cứu lý thuyết và thực nghiệm:
- Nghiên cứu thuyết:Kế thừa kết quả đã công bố, phát triển
phương pháp tối ưu và thuật toán đo giá trị m để mở rộng phạm vi đo
nâng cao độ chính xác. Đo phỏng giá trị của chỉ số điều biến.
- Đánh giá thực nghiệm: Xây dựng hệ đo sử dụng laser điều biến
bằng dòng bơm tần s30 MHz, phỏng tín hiệu, thu xử n
hiệu bằng các bộ LIA, phân tích và đánh giá kết quả các nội dung cải
tiến, phát triển so với các nghiên cứu trước để hoàn thiện phương pháp
và khả năng làm việc của hệ thống. Xây dựng mô hình đo chỉ số điều
biến kiểm chứng thuyết đề xuất các ng dụng FMI đo dịch
chuyển cho một vài ứng dụng điển hình.
3
3. Ý nghĩa khoa học và thực tiễn của đề tài
Ý nghĩa khoa học
Luận án đã phân tích đề xuất phương pháp tối ưu chỉ số điều
biến (m) để mở rộng phạm vi đo độ chính xác cao.
Đề xuất phương pháp/ thuật toán xác định chỉ số điều biến (m), để
truy xuất khoảng cách tuyệt đối của đối tượng đo, độ chính xác cao.
Nâng cao tốc độ đo cao cho FMI đo dịch chuyển với tần số điều
biến laser 30 MHz
Xây dựng được hệ thống FMI đo rung động tần số thấp (0,1÷25)Hz
và đo biến dạng vật liệu thông qua 2 thực nghiệm kiểm chứng.
Ý nghĩa thực tiễn
Xây dựng được phương pháp mở rộng phạm vi đo độ chính c
cao dựa trên tối ưu đo giá trị m. Theo đó, với mọi khoảng đo ban
đầu
0
L
đều có thể đạt được độ chính xác cao thông qua việc truy xuất
khoảng cách tuyệt đối của mục tiêu tại các giá trị m độ chính xác cao.
Luận án đã thực nghiệm thành công hệ FMI, đo dịch chuyển kết
hợp cả mở rộng phạm vi nâng cao tốc độ đo. Trong đó, với phạm
vi đo 2 m, độ phân giải cấp nm, sai lệch độ chính xác cấp nm. Tần số
điều biến của laser bán dẫn đạt 30 MHz cũng được xác thực trong
nghiên cứu, bằng cách điều biến dòng bơm, tốc độ đạt xấp xỉ 3,7 m/s.
Ứng dụng thành công hệ FMI đo dịch chuyển chính xác cao để đo
biến dạng vật liệu nhôm và đo rung động môi trường mở.
Những đóng góp mới của luận án
Tác giả khẳng định những đóng góp mới của luận án để phát triển
FMI đo dịch chuyển chính xác cao được đề cập dưới đây chưa được
thể hiện trong bất kỳ công bố khoa học nào:
- Đề xuất phương pháp xác minh được bằng thực nghiệm khả
năng mở rộng phạm vi đo, độ chính xác cao của FMI thông qua việc
tối ưu chỉ số điều biến (m)
- Luận án đã phát triển phương pháp/thuật toán đo giá trị m dựa
trên tỷ lệ cường độ của các cặp tín hiệu điều hòa chẵn và lẻ liên tiếp.
- Nâng cao tốc độ đo của FMI xấp xỉ 3,7 m/s với tần số điều biến
cao 30MHz cho laser.
- Phát triển hệ thống FMI đo dịch chuyển siêu chậm chịu ảnh
hưởng mạnh của nhiễu từ môi trường phát hiện được biến dạng nhỏ
của vật liệu cho các ứng dụng tiềm năng.