Xu hướng phát triển và ứng dụng của cảm biến quán tính vi cơ điện ( con quay, gia tốc kế)

Bài báo trình bày tổng quan việc ứng dụng của các công nghệ cảm biến quán tính, đánh giá hướng phát triển của các công nghệ này trong tương lai, đưa ra nguyên lý làm việc và sơ đồ kết cấu của một số cảm biến quán tính vi cơ điện, phân tích một số vấn đề liên quan tới thiết kế, công nghệ và ứng dụng các cảm biến quán tính vi cơ điện trong điều kiện ở nước ta..