•Đ ng văn Bình.ồ
•Lê Văn Sao.
•Vũ Vi t Tu n.ế ấ
•Nguy n Đ c Giang.ễ ứ
•Vũ Văn H i.ả
•Nguy n Minh Tríễ
•Nguy n Đăng Quânễ
•Nguy n Thi t Hi uễ ế ệ
•Vũ Văn Thanh.
•Nguy n Văn L iễ ợ
•Ph m Thành Đ tạ ạ
•Nguy n Văn S nễ ơ
•Nguy n Quang Th oễ ả
•Kính hi n vi đi n t ể ệ ử quét
(Scanning Electron
Microscope) S EM.
•Kính hi n vi đi n t truy n ể ệ ử ề
qua(Transmiss ion Ele ctron
Microscopy) TEM
SEM Là Gì
•Là m t lo i kính hi n vi đi n t ộ ạ ể ệ ử
có th t o ra nh v i đ phân ể ạ ả ớ ộ
gi i cao c a b m t m u v t ả ủ ề ặ ẫ ậ
b ng cách s d ng m t chùm ằ ử ụ ộ
đi n t (chùm các electron) ệ ử
h p quét trên b m t m u.ẹ ề ặ ẫ
•L n đ u tiên đ c phát tri n ầ ầ ượ ể
vào năm 1942 g m m t súng ồ ộ
phóng đi n t theo chi u t ệ ử ề ừ
d i lên, ba th u kính tĩnh ướ ấ
đi n và h th ng các cu n ệ ệ ố ộ
quét đi n t đ t gi a th u kính ệ ừ ặ ữ ấ
th hai và th ba, và ghi nh n ứ ứ ậ
chùm đi n t th c p b ng ệ ử ứ ấ ằ
m t ng nhân quang đi n.ộ ố ệ
•Năm 1948, phát tri n kính hi n ể ể
vi đi n t quét trên mô hình ệ ử
này v i chùm đi n t h p có ớ ệ ử ẹ
đ phân gi i đ n 500 ộ ả ế
Angstrom. •Thi t b kính hi n vi đi n t quét Jeol 5410 ế ị ể ệ ử
LV t i Trung tâm Khoa h c V t li u, Đ i ạ ọ ậ ệ ạ
h c Qu c gia Hà N i 1ọ ố ộ
