MỤC LỤC
LỜI CẢM ƠN ................................................................................................... i
LỜI CAM ĐOAN ............................................................................................ ii
MỤC LỤC ....................................................................................................... iii
DANH MỤC HÌNH VẼ .................................................................................. v
DANH MỤC BẢNG BIỂU ........................................................................... vii
DANH MỤC CHỮ VIẾT TẮT ................................................................... viii
MỞ ĐẦU .......................................................................................................... 1
CHƯƠNG 1: GIỚI THIỆU TỔNG QUAN .................................................. 3
1.1. Các hệ vi lưu và ứng dụng .................................................................................... 3
1.1.1. Hệ vi lưu ............................................................................................................ 3
1.1.2. Ứng dụng ........................................................................................................... 5
1.2. Công nghệ in 3D ................................................................................................... 7
1.3. Đề xuất nội dung nghiên cứu .............................................................................. 10
1.4. Đối tượng và phạm vi nghiên cứu của luận văn ................................................. 11
1.5. Cấu trúc của luận văn ......................................................................................... 11
CHƯƠNG 2:THIẾT KẾ VÀ CHẾ TẠO HỆ THỐNG VI LƯU TẠO GIỌT TÍCH
HỢP CẢM BIẾN .............................................................................................. 12
2.1. Hệ thống vi lưu tạo giọt tích hợp cảm biến đề xuất ........................................... 12
2.2. Nguyên lý hoạt động hệ thống tạo vi giọt .......................................................... 12
2.3. Cảm biến trở kháng điện dung ........................................................................... 14
2.4. Chế tạo cảm biến điện dung ............................................................................... 18
2.5. Thiết kế kênh vi lưu ........................................................................................... 20
2.6. Chế tạo chip ........................................................................................................ 21
2.6.1. Chip vi lưu dựa trên PCB và công nghệ in 3D ............................................... 21
2.6.2. Chế tạo khuôn mẫu .......................................................................................... 22
2.6.3. Chế tạo kênh vi lưu ......................................................................................... 23
2.7. Thiết lập hệ đo .................................................................................................... 24
