
ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ
Hoàng Bảo Anh
NGHIÊN CỨU PHÁT TRIỂN HỆ VI LƯU
TÍCH HỢP CẢM BIẾN KHÔNG DÂY LC
ĐỊNH HƯỚNG TRONG XÉT NGHIỆM Y SINH
LUẬN ÁN TIẾN SĨ
NGÀNH CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ - VIỄN THÔNG
Hà Nội – 2025

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ
Hoàng Bảo Anh
NGHIÊN CỨU PHÁT TRIỂN HỆ VI LƯU
TÍCH HỢP CẢM BIẾN KHÔNG DÂY LC
ĐỊNH HƯỚNG TRONG XÉT NGHIỆM Y SINH
Chuyên ngành: Kỹ thuật điện tử
Mã số: 9520203
LUẬN ÁN TIẾN SĨ
NGÀNH CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ - VIỄN THÔNG
NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC:
PGS.TS Bùi Thanh Tùng
Hà Nội – 2025

i
LỜI CAM ĐOAN
Tôi xin cam đoan các kết quả trình bày trong luận án là công trình nghiên cứu của
tôi dưới sự hướng dẫn của PGS.TS Bùi Thanh Tùng. Các số liệu kết quả chính trong
luận án đã được công bố và xuất bản trong các bài báo là của tôi và các cộng sự. Tôi
hoàn toàn chịu trách nhiệm về tính xác thực của những kết quả này và đảm bảo rằng
chúng chưa từng xuất hiện trong bất kỳ công trình nào trước đây. Mọi nguồn tham khảo
được sử dụng đều đã được trích dẫn một cách đầy đủ và chính xác theo quy định.
Hà Nội, ngày 15 tháng 09 năm 2025
Cán bộ hướng dẫn
PGS.TS Bùi Thanh Tùng
Tác giả luận án
Hoàng Bảo Anh

ii
LỜI CẢM ƠN
Trong luận án tiến sĩ này, tôi xin chân thành cảm ơn PGS. TS. Bùi Thanh Tùng, thầy
đã giúp tôi định hướng và triển khai hướng nghiên cứu. Với sự giúp đỡ của thầy, tôi đã
hoàn thành được các khảo sát nghiên cứu và có được các kết quả quan trọng nhằm giải
quyết các vấn đề trong quá trình thực hiện luận án này.
Tôi cũng xin gửi lời cảm ơn đến GS. TS. Chử Đức Trình đã giúp đỡ và đưa ra những
đánh giá có giá trị cho quá trình học tập và nghiên cứu của tôi. Tiếp đến, tôi xin chân
thành cảm ơn sự giúp đỡ, hỗ trợ, tư vấn của Tiến sĩ Đỗ Quang Lộc và Tiến sĩ Vũ Quốc
Tuấn trong quá trình chế tạo chip và quá trình thực nghiệm.
Bên cạnh đó, tôi xin chân thành cảm ơn các thầy, cô giáo trong Bộ môn Vi cơ Điện
tử và Vi hệ thống, Khoa Điện tử - Viễn thông, Trường Đại Học Công Nghệ, Đại Học
Quốc Gia Hà Nội đã hỗ trợ tôi trong quá trình học tập và nghiên cứu tại trường.
Tôi cũng xin chân thành cảm ơn Tiến sĩ Đỗ Trung Kiên, Tiến sĩ Phạm Văn Thành,
Thạc sĩ Nguyễn Văn Phú và các thầy cô Bộ môn Vật lý Vô tuyến, Trường Đại học Khoa
học Tự nhiên đã hỗ trợ tôi rất nhiều và giúp tôi có cơ hội được thực hiện nghiên cứu tại
phòng thí nghiệm của bộ môn.
Cuối cùng, tôi muốn gửi lời biết ơn sâu sắc nhất dành cho gia đình và những người
bạn của mình vì sự hỗ trợ tinh thần của họ trong suốt quá trình thực hiện luận án.
Hà Nội, ngày 15 tháng 09 năm 2025
Hoàng Bảo Anh

iii
MỤC LỤC
LỜI CAM ĐOAN .......................................................................................................... i
LỜI CẢM ƠN ............................................................................................................... ii
MỤC LỤC .................................................................................................................... iii
DANH MỤC CHỮ VIẾT TẮT ................................................................................... vi
DANH MỤC HÌNH VẼ ............................................................................................. viii
MỞ ĐẦU .........................................................................................................................1
A. Lý do chọn đề tài .......................................................................................................1
B. Mục tiêu của luận án .................................................................................................1
C. Đối tượng và phạm vi nghiên cứu ............................................................................2
D. Phương pháp nghiên cứu ..........................................................................................3
E. Đóng góp của luận án ...............................................................................................5
F. Bố cục của luận án ....................................................................................................5
CHƯƠNG 1. TỔNG QUAN VỀ CÔNG NGHỆ VI LƯU VÀ CẢM BIẾN
KHÔNG DÂY LC ..........................................................................................................7
1.1. Công nghệ vi lưu .......................................................................................................7
1.1.1. Đặc điểm của hệ thống vi lưu...........................................................................7
1.1.2. Ứng dụng của công nghệ vi lưu .......................................................................9
1.1.3. Xu hướng phát triển .......................................................................................13
1.2. Cảm biến điện dung ................................................................................................14
1.2.1. Nguyên lý hoạt động và đặc điểm ..................................................................14
1.2.2. Cảm biến điện dung không tiếp xúc ...............................................................16
1.2.3. Hiệu suất của cảm biến ..................................................................................19
1.2.4. Ứng dụng của cảm biến điện dung trong y sinh ............................................24
1.3. Cảm biến LC ...........................................................................................................27
1.3.1. Cấu trúc và nguyên lý hoạt động ....................................................................27
1.3.2. Ứng dụng của cảm biến LC ...........................................................................30
1.4. Tích hợp cảm biến điện dung trong hệ thống vi lưu cho các ứng dụng y sinh .......32
1.4.1. Đánh giá chung...............................................................................................32
1.4.2. Các phương pháp tích hợp và thiết kế tiêu biểu .............................................34
1.4.3. Những ưu điểm và thách thức ........................................................................42
1.5. Các nghiên cứu ứng dụng công nghệ vi lưu trong lĩnh vực y sinh .........................45
1.5.1. Tình hình nghiên cứu trên thế giới .................................................................45
1.5.2. Tình hình nghiên cứu tại Việt Nam ................................................................47
1.6. Hệ thống cảm biến PC4D đề xuất ...........................................................................48
1.6.1. Nguyên lý hoạt động ......................................................................................48

