BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO
ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
Trịnh Thị Hà
NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ, MÔ PHỎNG
VÀ KHẢO SÁT ĐẶC TRƯNG HOẠT ĐỘNG
CỦA KÊNH DẪN SÓNG PLASMONIC KHE HẸP LAI
LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU
Hà Nội – 2025
i
BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO
ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
Trịnh Thị Hà
NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ, MÔ PHỎNG
VÀ KHẢO SÁT ĐẶC TRƯNG HOẠT ĐỘNG
CỦA KÊNH DẪN SÓNG PLASMONIC KHE HẸP LAI
Ngành: Khoa học Vật liệu
Mã số: 9440122
LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU
NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC:
1. GS. TS. CHU MẠNH HOÀNG
2. TS. PHẠM VĂN TUẤN
Hà Nội - 2025
i
LỜI CAM ĐOAN
Tôi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi, do tôi thực hiện dưới sự
hướng dẫn khoa học của tập thể các thầy hướng dẫn bao gồm GS.TS. Chu Mạnh
Hoàng và TS. Phạm Văn Tuấn. Các số liệu trong Luận án này trung thực chưa
từng được tác giả khác công bố.
Tập thể hướng dẫn
GS.TS. Chu Mạnh Hoàng
TS. Phạm Văn Tuấn
Hà Nội, ngày tháng năm 2025
TÁC GIẢ
Trịnh Thị Hà
ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
TL. GIÁM ĐỐC
TRƯỞNG BAN ĐÀO TẠO
ii
LI CẢM ƠN
Trong suốt quá trình học tập, nghiên cứu tại Khoa Vật liệu điện tử Linh
kiện, Trường Vật liệu, Đại học Bách Khoa Hà Nội, NCS luôn nhận được sự giúp đỡ
của các thầy cô và các bạn học viên. Đặc biệt tập thể hướng dẫn GS.TS. Chu Mạnh
Hoàng và TS. Phạm Văn Tuấn.
Trước tiên, NCS xin được bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc đến GS.TS. Chu Mạnh
Hoàng TS. Phạm Văn Tuấn, những người đã giúp đỡ, hướng dẫn NCS tận tình,
chu đáo tạo mọi điều kiện thuận lợi để NCS học tập, nghiên cứu và thực hiện Luận
án. Dưới sự hướng dẫn, chỉ bảo tận tình của c thầy, NCS đã học tập, nghiên cứu và
thu được các kiến thức về khoa học vật liệu, thực hiện các phỏng các công
nghệ chế tạo khác nhau của vật liệu. Đặc biệt, trong quá trình học tập tại đây, NCS
đã có được các kinh nghiệm phương pháp nghiên cứu, phương pháp viết bài, đăng
bài trên các tạp chí, đồng thời các định hướng nghiên cứu khoa học trên con đường
tiếp theo của mình.
NCS xin gửi lời cảm ơn đến TS. Trần Thị Việt Nga, TS. Thu Hiền cùng
các anh, chị, em trong phòng thí nghiệm MEMS, Khoa Vật liệu điện tử Linh kiện:
Th.S Nguyễn Quốc Chiến, TS. Nguyễn Thanh ơng, TS. Đặng Văn Hiếu, TS.
Nguyễn Văn Đường, Th.S Nguyễn Minh Phương, KS. Nguyễn Minh Quang, KS. Bùi
Phú Quý… đã chia sẻ các kinh nghiệm về học tập, nghiên cứu và có các góp ý trong
quá trình hội thảo, trao đổi giúp NCS hoàn thành nhiệm vụ học tập của mình. NCS
xin được gửi lời cảm ơn TS. Nguyễn Văn Toán đã tạo điều kiện để NCS thể làm
việc trong phòng sạch.
NCS xin chân thành cảm ơn Ban Lãnh đạo Khoa Vật liệu điện tử và Linh kiện,
cũng như Ban lãnh đạo Trường Vật liệu, Đại học Bách Khoa Hà Nội và Trường Đại
học FPT đã tạo mọi điều kiện về thời gian, kinh phí động viên về tinh thần để NCS
thể vượt qua mọi khó khăn để hoàn thành nhiệm vhọc tập, nghiên cứu thực
hiện thành công Luận án này.
NCS xin gửi lời cảm ơn đến những người thân, bạn bè và đồng nghiệp đã luôn
bên, động viên khích lệ trong thời gian qua. Đặc biệt, NCS xin gửi lời cảm ơn tới
Ban Giám hiệu của Trường Đại học FPT đã tạo điều kiện thuận lợi để NCS được
tham gia nghiên cứu và học tập tại Đại học Bách Khoa Hà Nội. NCS xin gửi lời cảm
ơn các anh/chị/em Phòng Phát triển chương trình, Ban Nghiên cứu phát triển,
iii
Trường Đại học FPT đã quan tâm, hỗ trợ và động viên để NCS tập trung hoàn thành
Luận án.
Cui cng, NCS xin dành li cm ơn gia đình, đây là hu phương vng chc
chỗ da tinh thn để NCS có th yên tâm nghiên cu trong sut thi gian va qua.
Hà Nội, ngày tháng năm 2025
TÁC GIẢ
Trịnh Thị Hà