ii
LỜI CẢM ƠN
Trong suốt quá trình học tập, nghiên cứu tại Khoa Vật liệu điện tử và Linh
kiện, Trường Vật liệu, Đại học Bách Khoa Hà Nội, NCS luôn nhận được sự giúp đỡ
của các thầy cô và các bạn học viên. Đặc biệt là tập thể hướng dẫn GS.TS. Chu Mạnh
Hoàng và TS. Phạm Văn Tuấn.
Trước tiên, NCS xin được bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc đến GS.TS. Chu Mạnh
Hoàng và TS. Phạm Văn Tuấn, những người đã giúp đỡ, hướng dẫn NCS tận tình,
chu đáo và tạo mọi điều kiện thuận lợi để NCS học tập, nghiên cứu và thực hiện Luận
án. Dưới sự hướng dẫn, chỉ bảo tận tình của các thầy, NCS đã học tập, nghiên cứu và
thu được các kiến thức về khoa học vật liệu, thực hiện các mô phỏng và các công
nghệ chế tạo khác nhau của vật liệu. Đặc biệt, trong quá trình học tập tại đây, NCS
đã có được các kinh nghiệm và phương pháp nghiên cứu, phương pháp viết bài, đăng
bài trên các tạp chí, đồng thời có các định hướng nghiên cứu khoa học trên con đường
tiếp theo của mình.
NCS xin gửi lời cảm ơn đến TS. Trần Thị Việt Nga, TS. Vũ Thu Hiền cùng
các anh, chị, em trong phòng thí nghiệm MEMS, Khoa Vật liệu điện tử và Linh kiện:
Th.S Nguyễn Quốc Chiến, TS. Nguyễn Thanh Hương, TS. Đặng Văn Hiếu, TS.
Nguyễn Văn Đường, Th.S Nguyễn Minh Phương, KS. Nguyễn Minh Quang, KS. Bùi
Phú Quý… đã chia sẻ các kinh nghiệm về học tập, nghiên cứu và có các góp ý trong
quá trình hội thảo, trao đổi giúp NCS hoàn thành nhiệm vụ học tập của mình. NCS
xin được gửi lời cảm ơn TS. Nguyễn Văn Toán đã tạo điều kiện để NCS có thể làm
việc trong phòng sạch.
NCS xin chân thành cảm ơn Ban Lãnh đạo Khoa Vật liệu điện tử và Linh kiện,
cũng như Ban lãnh đạo Trường Vật liệu, Đại học Bách Khoa Hà Nội và Trường Đại
học FPT đã tạo mọi điều kiện về thời gian, kinh phí và động viên về tinh thần để NCS
có thể vượt qua mọi khó khăn để hoàn thành nhiệm vụ học tập, nghiên cứu và thực
hiện thành công Luận án này.
NCS xin gửi lời cảm ơn đến những người thân, bạn bè và đồng nghiệp đã luôn
ở bên, động viên khích lệ trong thời gian qua. Đặc biệt, NCS xin gửi lời cảm ơn tới
Ban Giám hiệu của Trường Đại học FPT đã tạo điều kiện thuận lợi để NCS được
tham gia nghiên cứu và học tập tại Đại học Bách Khoa Hà Nội. NCS xin gửi lời cảm
ơn các anh/chị/em Phòng Phát triển chương trình, Ban Nghiên cứu và phát triển,