
BỘ GIÁO DỤC
VÀ ĐÀO TẠO
VIỆN HÀN LÂM KHOA HỌC
V À CÔNG NGHỆ VIỆT NAM
HỌC VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ
Phạm Duy Tân
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VẬT LIỆU BIẾN HÓA
(METAMATERIALS) ỨNG DỤNG TRONG CẢM BIẾN NDIR
PHÁT HIỆN KHÍ CO2
LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT CHẤT
Hà Nội - 2025

HỌC VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ
Phạm Duy Tân
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VẬT LIỆU BIẾN HÓA
(METAMATERIALS) ỨNG DỤNG TRONG CẢM BIẾN NDIR
PHÁT HIỆN KHÍ CO2
LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT CHẤT
Ngành: Vật liệu điện tử
Mã số: 9 44 01 23
Hà Nội - 2025
BỘ GIÁO DỤC
VÀ ĐÀO TẠO
VIỆN HÀN LÂM KHOA HỌC
VÀ CÔNG NGHỆ VIỆT NAM
Xác nhận của Học viện
Khoa học và Công nghệ
Người hướng dẫn 1
PGS. TS. Bùi Xuân Khuyến
Người hướng dẫn 2
TS. Hồ Trường Giang

i
LỜI CAM ĐOAN
Tôi xin cam đoan luận án: “Nghiên cứu chế tạo vật liệu biến hóa
(metamaterials) ứng dụng trong cảm biến NDIR phát hiện khí CO2” là công
trình nghiên cứu của chính mình dưới sự hướng dẫn khoa học của tập thể hướng
dẫn là: PGS.TS. Bùi Xuân Khuyến và TS. Hồ Trường Giang. Luận án sử dụng
thông tin trích dẫn từ nhiều nguồn tham khảo khác nhau và các thông tin trích
dẫn được ghi rõ nguồn gốc. Các kết quả nghiên cứu của tôi được công bố chung
với các tác giả khác đã được sự nhất trí của đồng tác giả khi đưa vào luận án.
Các số liệu, kết quả được trình bày trong luận án là hoàn toàn trung thực và
chưa từng được công bố trong bất kỳ một công trình nào khác ngoài các công
trình công bố của tác giả. Luận án được hoàn thành trong thời gian tôi làm
nghiên cứu sinh tại Học viện Khoa học và Công nghệ, Viện Hàn lâm Khoa học
và Công nghệ Việt Nam.
Hà Nội, ngày……tháng……năm 2025
Tác giả luận án
Phạm Duy Tân

ii
LỜI CẢM ƠN
Tôi xin được gửi lời cảm ơn trân trọng nhất tới PGS.TS. Bùi Xuân
Khuyến và TS. Hồ Trường Giang đã hướng dẫn và truyền đạt cho tôi về nội
dung kiến thức, kỹ năng và phương pháp nghiên cứu khoa học hiện đại. Nền
tảng đó giúp tôi định hướng và giải quyết được các thách thức mới đặt ra trong
quá trình triển khai ý tưởng về lý thuyết, mô phỏng và thực nghiệm, đồng thời,
giúp tôi hoàn thành mục tiêu của luận án.
Tôi xin trân trọng cảm ơn GS.TS. Vũ Đình Lãm, Ban Lãnh đạo, Phòng
Đào tạo, các Phòng chức năng của Học viện Khoa học và Công nghệ, Viện Hàn
lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam đã truyền dạy những kiến thức cập nhật,
hỗ trợ tốt nhất về điều kiện nghiên cứu trong môi trường với cơ sở vật chất,
trang thiết bị hiện đại, các thủ tục hành chính chuyên nghiệp, giúp nghiên cứu
sinh hoàn thành tốt nhiệm vụ học tập và nghiên cứu để luận án được hoàn thành.
Xin trân trọng cảm ơn đồng nghiệp đang công tác tại Phòng Vật liệu biến
hóa và cảm biến, và Phòng chuyên môn khác, tại Viện Khoa học vật liệu, Viện
Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam đã hỗ trợ tôi về khoa học trong suốt
quá trình nghiên cứu và hoàn thành luận án.
Xin trân trọng cảm ơn Viện Khoa học vật liệu đã hỗ trợ về chế độ chính
sách cho nghiên cứu sinh trong suốt thời gian học tập.
Xin chân thành cảm ơn gia đình đã luôn đồng hành, tạo mọi điều kiện
cho tôi trong quá trình công tác, học tập và nghiên cứu.
Hà Nội, ngày……tháng……năm 2025
Tác giả luận án
Phạm Duy Tân

iii
MỤC LỤC
MỞ ĐẦU .......................................................................................................... 1
CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN VỀ VẬT LIỆU BIẾN HÓA ỨNG DỤNG
TRONG CẢM BIẾN KHÍ ........................................................................... 8
1.1. Tổng quan về cảm biến khí hấp thụ hồng ngoại .................................. 8
1.1.1. Nguyên lý hoạt động của cảm biến khí CO2 ................................ 8
1.1.2. Các phương thức cải tiến cảm biến NDIR .................................. 13
1.2. Một số mô hình áp dụng MMs cho cảm biến NDIR ......................... 14
1.2.1. Vật liệu MMs tích hợp trên bề mặt nguồn phát xạ hồng ngoại .. 14
1.2.2. Vật liệu biến hóa tích hợp gần nguồn phát xạ IR (truyền qua) .. 16
1.3. Kết luận Chương 1 ............................................................................. 17
CHƯƠNG 2: PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU VẬT LIỆU BIẾN HÓA
VÀ THIẾT KẾ CẤU TRÚC CẢM BIẾN NDIR ..................................... 19
2.1. Phương pháp mô hình hóa sử dụng mạch LC tương đương .............. 19
2.2. Phương pháp mô phỏng vật lý ........................................................... 30
2.3. Thiết kế cảm biến NDIR tích hợp MMs ............................................ 33
2.3.1. Cảm biến NDIR tích hợp MMs theo cấu hình truyền qua ......... 33
2.3.2. Cảm biến NDIR tích hợp MMs theo cấu hình phản xạ .............. 36
2.4. Kết luận Chương 2 ............................................................................. 41
CHƯƠNG 3: THIẾT KẾ VÀ TỐI ƯU CẤU TRÚC VẬT LIỆU BIẾN
HÓA VÀO TRONG NGUỒN VI NHIỆT................................................ 43
3.1. Nguồn vi nhiệt tạo đỉnh phát xạ đa cộng hưởng ................................ 43
3.1.1. Mô phỏng và thiết kế .................................................................. 43
3.1.2. Kết quả mô phỏng và thảo luận .................................................. 45
3.2. Nguồn vi nhiệt với cấu trúc hốc cộng hưởng .................................... 49
3.2.1. Thiết kế và mô phỏng cấu trúc với vi nhiệt dạng xoắn .............. 50
3.2.2. Kết quả và thảo luận ................................................................... 53
3.3. Tối ưu nguồn phát IR với vật liệu biến hóa MMs ............................. 62
3.3.1. Thiết kế và mô phỏng ................................................................. 62
3.3.2. Thiết kế nguồn vi nhiệt tích hợp vật liệu biến hóa ..................... 66

