B GIÁO DC
VÀ ĐÀO TẠO
VIN HÀN LÂM KHOA HC
V À CÔNG NGH VIT NAM
HC VIN KHOA HC VÀ CÔNG NGH
Phạm Duy Tân
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VẬT LIỆU BIẾN HÓA
(METAMATERIALS) ỨNG DỤNG TRONG CẢM BIẾN NDIR
PHÁT HIỆN KHÍ CO2
LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT CHẤT
Nội - 2025
HC VIN KHOA HC VÀ CÔNG NGH
Phạm Duy Tân
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VẬT LIỆU BIẾN HÓA
(METAMATERIALS) ỨNG DỤNG TRONG CẢM BIẾN NDIR
PHÁT HIỆN KHÍ CO2
LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT CHẤT
Ngành: Vật liệu điện tử
Mã số: 9 44 01 23
Nội - 2025
BỘ GIÁO DỤC
VÀ ĐÀO TẠO
VIỆN HÀN LÂM KHOA HỌC
VÀ CÔNG NGHỆ VIỆT NAM
c nhn ca Hc vin
Khoa hc và Công ngh
Ngưi hưng dn 2
TS. Hồ Trường Giang
i
LỜI CAM ĐOAN
Tôi xin cam đoan luận án: “Nghiên cứu chế tạo vật liệu biến hóa
(metamaterials) ứng dụng trong cảm biến NDIR phát hiện khí CO2công
trình nghiên cứu của chính mình dưới sự hướng dẫn khoa học của tập thể hướng
dẫn là: PGS.TS. Bùi Xuân Khuyến và TS. Hồ Trường Giang. Luận án sử dụng
thông tin trích dẫn từ nhiều nguồn tham khảo khác nhau và các thông tin trích
dẫn được ghi nguồn gốc. Các kết quả nghiên cứu của tôi được công bố chung
với các tác giả khác đã được sự nhất trí của đồng tác giả khi đưa vào luận án.
Các số liệu, kết quả được trình bày trong luận án hoàn toàn trung thực
chưa từng được công bố trong bất kỳ một công trình nào khác ngoài các công
trình công bố của tác giả. Luận án được hoàn thành trong thời gian tôi làm
nghiên cứu sinh tại Học viện Khoa học và Công nghệ, Viện Hàn lâm Khoa học
và Công nghệ Việt Nam.
Hà Nội, ngày……tháng……năm 2025
Tác giả luận án
Phm Duy n
ii
LI CẢM ƠN
Tôi xin được gi li cảm ơn trân trọng nht ti PGS.TS. Bùi Xuân
Khuyến TS. H Trường Giang đã hướng dn và truyền đạt cho tôi v ni
dung kiến thc, k năng phương pháp nghiên cu khoa hc hiện đại. Nn
tảng đó giúp tôi định hướng và gii quyết được các thách thc mới đặt ra trong
quá trình triển khai ý tưởng v lý thuyết, mô phng và thc nghiệm, đồng thi,
giúp tôi hoàn thành mc tiêu ca lun án.
Tôi xin trân trng cảm ơn GS.TS. Đình Lãm, Ban Lãnh đạo, Phòng
Đào tạo, các Phòng chức năng của Hc vin Khoa hc Công ngh, Vin Hàn
lâm Khoa hc Công ngh Việt Nam đã truyền dy nhng kiến thc cp nht,
h tr tt nht v điu kin nghiên cu trong môi trường vi s vt cht,
trang thiết b hiện đại, các th tc hành chính chuyên nghip, giúp nghiên cu
sinh hoàn thành tt nhim v hc tp nghiên cứu để luận án được hoàn thành.
Xin trân trng cảm ơn đồng nghiệp đang công tác ti Phòng Vt liu biến
hóa và cm biến, và Phòng chuyên môn khác, ti Vin Khoa hc vt liu, Vin
Hàn lâm Khoa hc Công ngh Việt Nam đã hỗ tr tôi v khoa hc trong sut
quá trình nghiên cu và hoàn thành lun án.
Xin trân trng cảm ơn Viện Khoa hc vt liệu đã hỗ tr v chế độ chính
sách cho nghiên cu sinh trong sut thi gian hc tp.
Xin chân thành cảm ơn gia đình đã luôn đồng hành, to mọi điều kin
cho tôi trong quá trình công tác, hc tp và nghiên cu.
Hà Nội, ngày……tháng……năm 2025
Tác giả luận án
Phm Duy n
iii
MC LC
M ĐẦU .......................................................................................................... 1
CHƯƠNG 1: TNG QUAN V VT LIU BIN HÓA NG DNG
TRONG CM BIN KHÍ ........................................................................... 8
1.1. Tng quan v cm biến khí hp th hng ngoi .................................. 8
1.1.1. Nguyên lý hoạt động của cảm biến khí CO2 ................................ 8
1.1.2. Các phương thức cải tiến cảm biến NDIR .................................. 13
1.2. Mt s mô hình áp dng MMs cho cm biến NDIR ......................... 14
1.2.1. Vật liệu MMs tích hợp trên bề mặt nguồn phát xạ hồng ngoại .. 14
1.2.2. Vật liệu biến hóa tích hợp gần nguồn phát xạ IR (truyền qua) .. 16
1.3. Kết luận Chương 1 ............................................................................. 17
CHƯƠNG 2: PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU VT LIU BIN HÓA
VÀ THIT K CU TRÚC CM BIN NDIR ..................................... 19
2.1. Phương pháp hình hóa sử dng mch LC tương đương .............. 19
2.2. Phương pháp phỏng vt lý ........................................................... 30
2.3. Thiết kế cảm biến NDIR tích hợp MMs ............................................ 33
2.3.1. Cảm biến NDIR tích hợp MMs theo cấu hình truyền qua ......... 33
2.3.2. Cảm biến NDIR tích hợp MMs theo cấu hình phản xạ .............. 36
2.4. Kết luận Chương 2 ............................................................................. 41
CHƯƠNG 3: THIT K VÀ TI ƯU CẤU TRÚC VT LIU BIN
HÓA VÀO TRONG NGUN VI NHIT................................................ 43
3.1. Ngun vi nhit tạo đỉnh phát x đa cộng hưởng ................................ 43
3.1.1. Mô phỏng và thiết kế .................................................................. 43
3.1.2. Kết quả mô phng và thảo luận .................................................. 45
3.2. Ngun vi nhit vi cu trúc hc cộng hưởng .................................... 49
3.2.1. Thiết kế và mô phỏng cấu trúc với vi nhiệt dạng xoắn .............. 50
3.2.2. Kết quả và thảo luận ................................................................... 53
3.3. Tối ưu ngun phát IR vi vt liu biến hóa MMs ............................. 62
3.3.1. Thiết kế và mô phỏng ................................................................. 62
3.3.2. Thiết kế nguồn vi nhiệt tích hợp vật liệu biến hóa ..................... 66