ðI HC QUC GIA THÀNH PH H CHÍ MINH
TRƯNG ðI HC KHOA HC T NHIÊN

NGUYN TH LƯNG
MÔ PHNG TRANSISTOR NG
NANÔ CARBON ðNG TRC
LUN ÁN TIN SĨ VT LÝ
TP. H Chí Minh - 2010
ðI HC QUC GIA THÀNH PH H CHÍ MINH
TRƯNG ðI HC KHOA HC T NHIÊN

NGUYN TH LƯNG
MÔ PHNG TRANSISTOR NG
NANÔ CARBON ðNG TRC
Chuyên ngành:Vt lý vô tuyn và ñin t
Mã s: 62.44.03.01
LUN ÁN TIN SĨ VT LÝ
Ngưi hưng dn: PGS.TS. ðinh S Hin
Tp. H Chí Minh - 2010
i
LI CAM ðOAN
Tôi xin cam ñoan ñây là công trình nghiên cu ca riêng tôi. Kt qu
nêu trong lun án là trung thc và không trùng lp vi các công trình ñã
công b trong và ngoài nưc thuc lĩnh vc nghiên cu cơ bn.
Tác gi
Nguyn Th Lưng
LI CM ƠN
Lun án này là mt công trình khoa hc, thuc lĩnh vc linh kin
ñin t nanô, là kt qu ca s n lc, phn ñu mà bn thân tôi có
ñưc trong nhiu năm hc tp, ging dy và nghiên cu.
Li ñu tiên tôi xin bày t lòng bit ơn sâu sc ñn PGS.TS.
ðinh S Hin, ngưi ñã tn tình hư!ng d"n, ñnh hư!ng, ñng viên và
giúp ñ tôi trong su#t quá trình thc hin lun án này.
Tôi xin chân thành t lòng bit ơn ñn Quý thy giáo, cô giáo ca
Khoa ðin T- Vin Thông, Phòng Qun lý nghiên cu Khoa hc và
ðào to Sau ði hc ca Trưng ði hc Khoa hc T nhiên ñã to
mi ñiu kin thun li cho tôi trong quá trình hc tp và thc hin
lun án.
Tôi xin chân thành cm ơn PGS.TS ð$ng Mu Chin và các cán
b k thut phòng thí nghim công ngh nanô ði hc qu#c gia Thành
ph# H% Chí Minh ñã to ñiu kin và giúp ñ tôi tip cn v!i các thit
b ch to CNTFET.
Xin cm ơn BGH, các thy cô trong khoa ðin – ðin t trưng
ði hc Sư phm k thut Tp.HCM cùng các ñ%ng nghip, bn bè gn
xa luôn ñng viên và giúp ñ tôi trong su#t thi gian thc hin lun án
này.
Sau cùng, tôi xin cm ơn gia ñình tôi, ba m& và các anh ch em
ñ$c bit là ch%ng và con gái ñã luôn quan tâm, ñng viên, giúp ñ tôi
trong nh'ng lúc khó khăn nht.
V!i tm lòng luôn bit ơn, tôi xin mãi khc ghi!
Tác gi
Nguyn Th Lư ng
iii
MC LC
Trang
Trang ph( bìa
Li cam ñoan ............................................................................................................... i
Li cm ơn ................................................................................................................. ii
M(c l(c ..................................................................................................................... iii
Danh m(c các bng ................................................................................................... vi
Danh m(c các hình v) .............................................................................................. vii
Danh m(c các kí t và t* vit tt ............................................................................. xii
M! ð"U
Chương 1: T$NG QUAN
1.1. Xu hư!ng phát tri+n công ngh ch to IC ..............................................5
1.2. Phân loi linh kin ñin t nanô ...............................................................6
1.3. Nghiên cu v transistor trưng #ng nanô carbon
………………………
..7
1.4. Nhn xét ..................................................................................................... 11
Chương 2: TRANSISTOR TRƯNG NG NANÔ CARBON
2.1. ,ng nanô carbon ........................................................................................ 12
2.1.1. Gi!i thiu .......................................................................................... 12
2.1.2. Cu trúc nguyên t .......................................................................... 13
2.1.3. Công ngh ch to CNT .................................................................... 18
2.2. Transistor trưng #ng nanô carbon (CNTFET) ......................................... 19
2.2.1. Cu trúc ca CNTFET....................................................................... 19
2.2.2. Hot ñng ca CNTFET .................................................................. 23
2.2.3. So sánh MOS-CNTFET v!i Si-MOSFET ....................................... 26
2.2.4. Mt s# ng d(ng CNTFET .............................................................. 27