
i
LỜI CAM ĐOAN
Tác giả xin cam đoan nội dung của luận án này là công trình nghiên cứu
của riêng tác giả dưới sự hướng dẫn của TS. Chử Mạnh Hưng, GS. TS. Nguyễn
Đức Hòa. Các số liệu và kết quả trong luận án này hoàn toàn trung thực và chưa
được tác giả khác công bố.
Hà Nội, ngày…… tháng……năm 2021
Giáo viên hướng dẫn
TS. Chử Mạnh Hưng
Tác giả
Nguyễn Hồng Hanh
GS. TS. Nguyễn Đức Hòa

ii
LỜI CẢM ƠN
Lời đầu tiên, tôi xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc tới tập thể giáo viên hướng
dẫn bao gồm TS. Chử Mạnh Hưng, GS. TS. Nguyễn Đức Hòa. Các Thầy đã đóng
góp các ý kiến khoa học quý báu cũng như tạo mọi điều kiện thuận lợi để tôi
hoàn thành luận án này.
Tôi xin gửi lời cảm ơn chân thành tới GS. TS. Nguyễn Văn Hiếu, PGS.TS.
Nguyễn Văn Duy; PGS.TS. Đặng Thị Thanh Lê, TS. Chu Thị Xuân và tập thể
cán bộ Phòng thí nghiệm nghiên cứu phát triển và ứng dụng Cảm biến nano đã
luôn nhiệt tình giúp đỡ, chia sẻ kinh nghiệm và gợi mở nhiều ý tưởng quan trọng
để tôi thực hiện các nghiên cứu của luận án này. Tôi cũng xin cảm ơn các nghiên
cứu sinh và học viên cao học của nhóm iSensors đã luôn đồng hành và hỗ trợ tôi
trong quá trình nghiên cứu.
Tôi xin chân thành cảm ơn Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu;
Phòng KT & CN Ảnh Nhiệt, Viện Vật lý Kỹ thuật, Viện KH-CN Quân Sự;
Phòng Đào tạo - Trường Đại học Bách khoa Hà Nội đã tạo điều kiện cho tôi
được học tập và nghiên cứu. Tôi xin cảm ơn Quỹ Đổi mới sáng tạo (VINIF) đã
tài trợ cho nghiên cứu này thông qua đề tài với mã số VINIF. 2019.DA10.
Cuối cùng, tôi xin gửi lời cảm ơn tới toàn thể gia đình, bạn bè và đồng
nghiệp đã luôn động viên và chia sẻ để tôi hoàn thành luận án này.
Tác giả
Nguyễn Hồng Hanh

iii
MỤC LỤC
LỜI CAM ĐOAN .................................................................................................. i
LỜI CẢM ƠN ....................................................................................................... ii
DANH MỤC CÁC KÍ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT ......................................... vi
DANH MỤC BẢNG BIỂU ................................................................................ vii
DANH MỤC HÌNH ẢNH ................................................................................. viii
GIỚI THIỆU CHUNG ......................................................................................... 1
1. Lý do chọn đề tài .............................................................................................. 1
2. Mục tiêu nghiên cứu ......................................................................................... 4
3. Đối tượng và phạm vi nghiên cứu ................................................................... 5
4. Phương pháp nghiên cứu ................................................................................. 5
5. Ý nghĩa của đề tài ............................................................................................. 6
6. Tính mới của đề tài .......................................................................................... 6
7. Cấu trúc của luận án ........................................................................................ 6
CHƯƠNG 1. TỔNG QUAN ................................................................................ 9
1.1. Tổng quan về cảm biến khí VOCs........................................................... 9
1.1.1. Các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (VOCs) và mối liên hệ với các bệnh
thường gặp ....................................................................................................... 9
1.1.2. Kỹ thuật phân tích hơi thở ................................................................... 13
1.1.3. Các loại vật liệu nhạy khí VOCs ứng dụng để chế tạo cảm biến ........ 16
1.2. Cảm biến khí VOCs sử dụng ô xít kim loại bán dẫn ........................... 18
1.3. Tình hình nghiên cứu cảm biến khí VOCs dựa trên vật liệu ô xít kim
loại bán dẫn ..................................................................................................... 19
1.4. Cơ chế nhạy khí của vật liệu ô xít kim loại bán dẫn với khí VOCs .......... 30
1.4.1. Đối với ô xít bán dẫn loại n ................................................................. 33
1.4.2. Đối với ô xít bán dẫn loại p ................................................................. 36
1.4.3. Cơ chế nhạy khí của cảm biến ô xít kim loại bán dẫn sử dụng phương
pháp biến tính bề mặt bằng kim loại ............................................................. 38
1.5. Vật liệu ô xít kim loại bán dẫn Zn2SnO4 ............................................... 43

iv
1.5.1. Cấu trúc tinh thể của vật liệu Zn2SnO4................................................ 44
1.5.2. Tính chất điện của vật liệu Zn2SnO4 ................................................... 44
1.5.3. Phương pháp chế tạo vật liệu Zn2SnO4 ............................................... 46
1.5.4. Tình hình nghiên cứu sử dụng vật liệu Zn2SnO4 trong cảm biến khí . 48
1.6. Kết luận chương 1 ................................................................................... 51
CHƯƠNG 2. THỰC NGHIỆM ........................................................................ 52
2.1. Chế tạo vật liệu Zn2SnO4 với hình thái khác nhau bằng phương pháp
thủy nhiệt và quy trình chế tạo cảm biến dựa trên vật liệu Zn2SnO4 ........ 52
2.1.1. Thiết bị và hóa chất để chế tạo Zn2SnO4 ............................................. 52
2.1.2. Quy trình chế tạo Zn2SnO4 có các hình thái khác nhau bằng phương
pháp thủy nhiệt .............................................................................................. 53
2.1.3. Hình thái của điện cực cảm biến ......................................................... 56
2.1.4. Quy trình chế tạo cảm biến dựa trên vật liệu Zn2SnO4 ....................... 56
2.2. Quy trình biến tính hạt nano Platin lên bề mặt Zn2SnO4 bằng phương
pháp nhỏ trực tiếp và chế tạo cảm biến ........................................................ 57
2.2.1. Quy trình chế tạo hạt nano Platin bằng phương pháp polyol .............. 57
2.2.2. Quy trình biến tính hạt nano Platin lên bề mặt Zn2SnO4 và quy trình
chế tạo cảm biến dựa trên vật liệu biến tính .................................................. 58
2.3. Kỹ thuật phân tích hình thái và vi cấu trúc ......................................... 59
2.4. Khảo sát tính chất nhạy khí của cảm biến ........................................... 60
2.4.1. Phương pháp đo tĩnh ........................................................................... 60
2.4.2. Sơ đồ đo điện của cảm biến ................................................................. 61
2.4.3. Hệ đo tính chất nhạy khí của cảm biến ............................................... 61
2.5. Kết luận chương 2 ................................................................................... 63
CHƯƠNG 3. HÌNH THÁI, VI CẤU TRÚC VÀ TÍNH CHẤT NHẠY KHÍ
CỦA VẬT LIỆU Zn2SnO4 TỔNG HỢP BẰNG PHƯƠNG PHÁP THỦY
NHIỆT ................................................................................................................. 64
3.1. Các hình thái, vi cấu trúc, tính chất của vật liệu Zn2SnO4 ................. 65
3.1.1. Các hình thái của vật liệu Zn2SnO4 ..................................................... 65
3.1.2. Vi cấu trúc và tính chất của vật liệu Zn2SnO4 ..................................... 71

v
3.2. Khảo sát tính chất nhạy khí VOCs của cảm biến trên cơ sở vật liệu
Zn2SnO4 có cấu trúc hình thái khác nhau .................................................... 76
3.2.1. Khảo sát đặc trưng nhạy khí của các cảm biến với khí acetone .......... 78
3.2.2. Khảo sát đặc trưng nhạy khí của các cảm biến với khí ethanol .......... 84
3.2.3. Khảo sát đặc trưng nhạy khí của các cảm biến với khí methanol ....... 86
3.3. Kết luận chương 3 ................................................................................... 95
CHƯƠNG 4. NGHIÊN CỨU BIẾN TÍNH BỀ MẶT VẬT LIỆU Zn2SnO4
BẰNG HẠT NANO Pt NHẰM CẢI THIỆN KHẢ NĂNG NHẠY KHÍ
ACETONE CHO CẢM BIẾN........................................................................... 97
4.1. Hình thái, vi cấu trúc của hạt Platin ..................................................... 98
4.2. So sánh tính chất nhạy acetone của cảm biến bát diện rỗng bề mặt
dạng hạt và cảm biến bát diện rỗng bề mặt dạng tấm .............................. 100
4.3. Hình thái, vi cấu trúc của vật liệu Zn2SnO4 trước và sau khi biến tính
bề mặt bằng hạt Pt ........................................................................................ 103
4.4. Khảo sát tính chất nhạy khí ................................................................. 108
4.5. Kết luận chương 4 ................................................................................. 123
KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ CỦA LUẬN ÁN ............................................ 124
DANH MỤC CÔNG TRÌNH ĐÃ CÔNG BỐ CỦA LUẬN ÁN ................... 126
TÀI LIỆU THAM KHẢO ............................................................................... 128

