i
LỜI CAM ĐOAN
Tác gi xin cam đoan nội dung ca lun án này công trình nghiên cu
ca riêng tác gi dưới s hướng dn ca TS. Ch Mnh Hưng, GS. TS. Nguyn
Đức Hòa. Các s liu kết qu trong lun án này hoàn toàn trung thực chưa
được tác gi khác công b.
Hà Ni, ngày…… tháng……năm 2021
Giáo viên hưng dn
TS. Ch Mạnh Hưng
Tác gi
Nguyn Hng Hanh
GS. TS. Nguyn Đc Hòa
ii
LỜI CẢM ƠN
Li đu tiên, tôi xin bày t lòng biết ơn sâu sắc ti tp th giáo viên ng
dn bao gm TS. Ch Mạnh Hưng, GS. TS. Nguyễn Đức Hòa. Các Thầy đã đóng
góp các ý kiến khoa học quý báu cũng như to mọi điều kin thun lợi để tôi
hoàn thành lun án này.
Tôi xin gi li cảm ơn chân thành tới GS. TS. Nguyễn Văn Hiếu, PGS.TS.
Nguyn Văn Duy; PGS.TS. Đặng Th Thanh Lê, TS. Chu Th Xuân tp th
cán b Phòng thí nghim nghiên cu phát trin ng dng Cm biến nano đã
luôn nhiệt tình giúp đ, chia s kinh nghim và gi m nhiều ý tưởng quan trng
để tôi thc hin các nghiên cu ca luận án này. Tôi cũng xin cảm ơn các nghiên
cu sinh hc viên cao hc ca nhóm iSensors đã luôn đồng hành h tr tôi
trong quá trình nghiên cu.
Tôi xin chân thành cảm ơn Viện Đào tạo Quc tế v Khoa hc Vt liu;
Phòng KT & CN nh Nhit, Vin Vt K thut, Vin KH-CN Quân S;
Phòng Đào tạo - Trường Đi hc Bách khoa Ni đã tạo điu kin cho tôi
được hc tp nghiên cu. Tôi xin cảm ơn Qu Đổi mi sáng to (VINIF) đã
tài tr cho nghiên cứu này thông qua đề tài vi mã s VINIF. 2019.DA10.
Cui cùng, tôi xin gi li cảm ơn tới toàn th gia đình, bạn đồng
nghiệp đã luôn động viên và chia s để tôi hoàn thành lun án này.
Tác gi
Nguyn Hng Hanh
iii
MỤC LỤC
LỜI CAM ĐOAN .................................................................................................. i
LI CM ƠN ....................................................................................................... ii
DANH MC CÁC KÍ HIU VÀ CH VIT TT ......................................... vi
DANH MC BNG BIU ................................................................................ vii
DANH MC HÌNH NH ................................................................................. viii
GII THIU CHUNG ......................................................................................... 1
1. Lý do chn đ tài .............................................................................................. 1
2. Mc tiêu nghiên cu ......................................................................................... 4
3. Đối tưng và phm vi nghiên cu ................................................................... 5
4. Phương pháp nghiên cứu ................................................................................. 5
5. Ý nghĩa của đề tài ............................................................................................. 6
6. Tính mi của đ tài .......................................................................................... 6
7. Cu trúc ca lun án ........................................................................................ 6
CHƯƠNG 1. TỔNG QUAN ................................................................................ 9
1.1. Tng quan v cm biến khí VOCs........................................................... 9
1.1.1. Các hp cht hữu dễ bay hơi (VOCs) mối liên h vi các bnh
thưng gp ....................................................................................................... 9
1.1.2. K thuật phân tích hơi thở ................................................................... 13
1.1.3. Các loi vt liu nhy khí VOCs ng dụng để chế to cm biến ........ 16
1.2. Cm biến khí VOCs s dng ô xít kim loi bán dn ........................... 18
1.3. Tình hình nghiên cu cm biến khí VOCs da trên vt liu ô xít kim
loi bán dn ..................................................................................................... 19
1.4. Cơ chế nhy k ca vt liu ô xít kim loi bán dn vi k VOCs .......... 30
1.4.1. Đối vi ô xít bán dn loi n ................................................................. 33
1.4.2. Đối vi ô xít bán dn loi p ................................................................. 36
1.4.3. chế nhy khí ca cm biến ô xít kim loi bán dn s dụng phương
pháp biến tính b mt bng kim loi ............................................................. 38
1.5. Vt liu ô xít kim loi bán dn Zn2SnO4 ............................................... 43
iv
1.5.1. Cu trúc tinh th ca vt liu Zn2SnO4................................................ 44
1.5.2. Tính cht đin ca vt liu Zn2SnO4 ................................................... 44
1.5.3. Phương pháp chế to vt liu Zn2SnO4 ............................................... 46
1.5.4. Tình hình nghiên cu s dng vt liu Zn2SnO4 trong cm biến khí . 48
1.6. Kết luận chương 1 ................................................................................... 51
CHƯƠNG 2. THC NGHIM ........................................................................ 52
2.1. Chế to vt liu Zn2SnO4 vi hình thái khác nhau bằng phương pháp
thy nhit và quy trình chế to cm biến da trên vt liu Zn2SnO4 ........ 52
2.1.1. Thiết b và hóa cht đ chế to Zn2SnO4 ............................................. 52
2.1.2. Quy trình chế to Zn2SnO4 các hình thái khác nhau bằng phương
pháp thy nhit .............................................................................................. 53
2.1.3. Hình thái ca đin cc cm biến ......................................................... 56
2.1.4. Quy trình chế to cm biến da trên vt liu Zn2SnO4 ....................... 56
2.2. Quy trình biến tính ht nano Platin lên b mt Zn2SnO4 bằng phương
pháp nh trc tiếp và chế to cm biến ........................................................ 57
2.2.1. Quy trình chế to ht nano Platin bằng phương pháp polyol .............. 57
2.2.2. Quy trình biến tính ht nano Platin lên b mt Zn2SnO4 quy trình
chế to cm biến da trên vt liu biến tính .................................................. 58
2.3. K thut phân tích hình thái và vi cu trúc ......................................... 59
2.4. Kho sát tính cht nhy khí ca cm biến ........................................... 60
2.4.1. Phương pháp đo tĩnh ........................................................................... 60
2.4.2. Sơ đồ đo điện ca cm biến ................................................................. 61
2.4.3. H đo tính cht nhy khí ca cm biến ............................................... 61
2.5. Kết luận chương 2 ................................................................................... 63
CHƯƠNG 3. HÌNH THÁI, VI CẤU TRÚC TÍNH CHT NHY KHÍ
CA VT LIU Zn2SnO4 TNG HP BẰNG PHƯƠNG PHÁP THY
NHIT ................................................................................................................. 64
3.1. Các hình thái, vi cu trúc, tính cht ca vt liu Zn2SnO4 ................. 65
3.1.1. Các hình thái ca vt liu Zn2SnO4 ..................................................... 65
3.1.2. Vi cu trúc và tính cht ca vt liu Zn2SnO4 ..................................... 71
v
3.2. Kho sát tính cht nhy khí VOCs ca cm biến trên cơ sở vt liu
Zn2SnO4 có cu trúc hình thái khác nhau .................................................... 76
3.2.1. Khảo sát đặc trưng nhạy khí ca các cm biến vi khí acetone .......... 78
3.2.2. Khảo sát đặc trưng nhạy khí ca các cm biến vi khí ethanol .......... 84
3.2.3. Khảo sát đặc trưng nhạy khí ca các cm biến vi khí methanol ....... 86
3.3. Kết luận chương 3 ................................................................................... 95
CHƯƠNG 4. NGHIÊN CỨU BIN TÍNH B MT VT LIU Zn2SnO4
BNG HT NANO Pt NHM CI THIN KH NĂNG NHẠY KHÍ
ACETONE CHO CM BIN........................................................................... 97
4.1. Hình thái, vi cu trúc ca ht Platin ..................................................... 98
4.2. So sánh tính cht nhy acetone ca cm biến bát din rng b mt
dng ht và cm biến bát din rng b mt dng tm .............................. 100
4.3. Hình thái, vi cu trúc ca vt liu Zn2SnO4 trưc và sau khi biến tính
b mt bng ht Pt ........................................................................................ 103
4.4. Kho sát tính cht nhy khí ................................................................. 108
4.5. Kết luận chương 4 ................................................................................. 123
KT LUN VÀ KIN NGH CA LUN ÁN ............................................ 124
DANH MỤC CÔNG TRÌNH ĐÃ CÔNG B CA LUN ÁN ................... 126
TÀI LIU THAM KHO ............................................................................... 128